Производственные процессы, использующие технические и специальные газы, требуют особого внимания к безопасности, контролю и утилизации. ГК «Криосистемы» предлагает полный спектр оборудования, необходимого для поддержки непрерывной и безопасной работы:
1. Скрубберы (газоочистные установки)
Используются для нейтрализации вредных и токсичных выбросов. В ассортименте — мокрые, сухие, пиролизные и плазменные системы для газов: NH₃, HCl, SiH₄, PH₃ и др.
2. Газовые шкафы (gas cabinets)
Обеспечивают безопасную подачу и хранение баллонов со сжатыми или сжиженными газами. Комплектация: системы вентиляции, детекторы утечек, автоматические клапаны и блокировки. Соответствуют требованиям SEMI S2, ISO и ГОСТ.
3. Газовые линейки (manifolds)
Служат для распределения и переключения газовых потоков между источниками и точками потребления. Поддерживают двойное резервирование, автоматическое переключение, контроль давления и чистоты.
4. Системы инертирования и продувки
Предназначены для удаления остаточного газа перед обслуживанием или для создания защитной атмосферы.
5. Дополнительное оборудование
Редукторы, датчики давления, газовые фильтры, аварийные запорные системы — всё это подбирается индивидуально под проект.