Газовая система
Линии для аргона, углеродсодержащего газа, водорода, аммиака NH3 и смеси O2/He с индивидуальным контролем потока.
Проекты ГК «Криосистемы»
Работы на промышленных установках
Разработка, поставка, модернизация и запуск технологических вакуумных систем: CVD-установки, ионная имплантация, вакуумное осаждение, испытательные камеры и автоматизированные откачные системы.
CVD-синтез
Установка CVDLab 60_1100 для углеродных наноструктур при пониженном и повышенном давлении.
Ионная имплантация
Поставка и ввод оборудования для производственных и исследовательских задач.
Модернизация
Замена насосов, вакуумметрии, арматуры и адаптация к существующим системам.
Испытательные камеры
Серия камер 100-500 л с автоматическим и ручным управлением откачкой.
CVDLab 60_1100 для синтеза углеродных структур
Задача заказчика заключалась в синтезе нанотрубок и других углеродных структур из газовой фазы методом термического разложения поступающих газов. Установка CVDLab 60_1100 была сконфигурирована под работу при пониженном и повышенном давлении и полностью разработана и собрана в компании «Криосистемы».
Ключевые узлы установки
- Кварцевый реактор Ø60 мм длиной около 1100 мм.
- Пять входных линий подачи газа с индивидуальным контролем потока.
- Блок управления вакуумом и давлением с датчиками, дроссельным клапаном и пластинчато-роторным насосом.
- Двухзонная печь с PID-контролем нагрева и рабочей температурой процесса до 1100 °C.
Спецификация CVD-установки
Исходная спецификация сохранена в прикладном виде: заказчику важны контролируемая газовая среда, стабильная температура, управление давлением и возможность работы с образцами в зоне нагрева.
Вакуум и давление
Конвекционный датчик, контроллер, емкостной датчик до 10 Торр, автоматический дроссельный клапан и насос 200 л/мин.
Нагрев
Двухзонная печь, зона нагрева 2 x 220 мм, кратковременный нагрев до 1200 °C, точность поддержания температуры ±1 °C.
Работа с образцами
Водоохлаждаемые торцевые фланцы для загрузки образцов и ввода термопары в зону нагрева.
Конструкция
Печь размещена на стальной раме и может перемещаться вдоль реактора.
Измерение водяного пара
Байпасная линия с ручным управлением, измерительная камера и датчик концентрации водяного пара в газовой смеси.
Фото промышленной установки
Фотографии из исходного проекта показывают компоновку технологической установки, элементы вакуумной системы и рабочие узлы, которые участвуют в отладке процесса.
Другие работы на промышленных установках
Материал объединяет несколько направлений: поставку технологического оборудования, запуск лабораторных систем, модернизацию действующих установок и изготовление испытательных камер.
Ионный имплантер IMC-200
Для завершения полного цикла создания изделий электронной техники заказчику был предложен и поставлен ионный имплантер IMC-200 от Ion Beam Services для производственных задач и исследований.
Установка для лабораторий вузов
Система с двумя источниками термического испарения, магнетроном с мишенью 50 мм и LTE-источником для органических соединений. Управление выполнено через человеко-машинный интерфейс.
Модернизация вакуумных установок
Выполнялась замена диффузионных насосов, вакуумметрии, клапанов с пневмоприводом, установка криогенных насосов или ТМН и адаптация к существующим сетям.
Испытательные камеры 100-500 л
Для одного из предприятий Роскосмос была разработана и запущена серия установок для испытаний изделий на герметичность. Системы собирались и отлаживались в сервис-центре компании, а затем поставлялись заказчику в максимально собранном виде.
Камера 500 л
Система откачки включает два форвакуумных насоса Anest Iwata производительностью 250 и 500 л/мин, турбомолекулярный насос Shimadzu TMP-403, возможность подключения дополнительного ТМН малой производительности, азотную заливную ловушку и предохранительную разрывную мембрану.
Камера 200 л
Установка отличается меньшим объёмом камеры и производительностью откачки. Управление выполнено с сенсорного монитора: автоматический режим запускается одной командой, а ручной режим сохраняет доступ к элементам вакуумной системы с защитными блокировками.
Как начинается промышленный проект
Для таких задач важно заранее связать технологический процесс, требования к вакууму, газовой среде, безопасности и удобству эксплуатации.
Техническая задача
Фиксируются процесс, рабочие газы, диапазоны давления и температуры, требования к автоматизации.
Состав системы
Подбираются насосы, арматура, датчики, контроллеры, нагрев, охлаждение и средства безопасности.
Сборка и отладка
Оборудование собирается, проверяется и по возможности поставляется в максимально подготовленном виде.
Запуск у заказчика
Проводятся монтаж, пусконаладка, приемочные испытания и поддержка в период эксплуатации.
Нужна промышленная вакуумная система под технологический процесс?
Опишите задачу, рабочие режимы и ограничения площадки. Поможем подобрать состав оборудования и согласовать решение под техническое задание.