РАБОТЫ НА ПРОМЫШЛЕННЫХ УСТАНОВКАХ РАЗЛИЧНЫХ ВЕДОМСТВ
Установка CVD для ИНМЭ РАН
Задача Заказчика: Синтез нанотрубок и других углеродных структур из газовой фазы методом термического разложения поступающих газов
Производитель: Установка модели CVDLab 60_1100, сконфигурированная для синтеза углеродных наноструктур при пониженном/повышенном давлении была полностью разработана и собрана в компании “Криосистемы”
Спецификация:
1. Полный набор кварцевых компонентов:
- Рабочая труба (реактор) Ø60 мм х ~1100 мм
2. 5 входных линий подачи газа с индивидуальным контролем потока каждой линии для Аргона, Углерод-содержащего газа (типа Метана или Ацетилена), Водорода, Аммика NH3 и смеси О2/Не
3. Блок управления вакуумом и давлением:
- Конвекционный датчик
- Контроллер конвекционного датчика
- Емкостной датчик до давления 10 Торр
- Дроссельный клапан автоматического типа
- Пластинчато-роторный насос (200 л/мин)
4. Стадия нагрева:
- Двухзонная печь с внутренним температурным контролем
- Зона нагрева 2 х 220 мм
- Рабочая температура процесса до 1100⁰ С
- Максимальный нагрев (краткий) до 1200⁰ С
- Точность поддержания температуры ±1°С
- Термопара тип К (х 2)
- Дверь печи ручного открывания
- Мощность печи до 3 кВт
- Управление нагревом: PID контроль
- Однозонная печь находится на стальной раме
- Печь имеет функцию перемещения вдоль реактора
- Один водоохлаждаемый торцевой фланец с возможностью загрузки образцов
- Один водоохлаждаемый торцевой фланец с возможностью ввода термопары в зону нагрева
- Подложка с катализатором находится на кварцевом держателе 50 х 80 мм
- Байпасная линия с ручным управлением для измерения концентрации водяного пара в газовой смеси
- Измерительная камера и датчик
Фото установки
Ионный имплантер на средних токах и энергии до 200 кэВ
Заказчику для завершения создания полного цикла создания изделий электронной техники требовался ионный имплантер. Заказчику был предложен и поставлен Ионный имплантер модели IMC-200 от нашего партнера французской компании IBS.
Имплантер модели IMC-200, разработанный компанией «Ion Beam Services», предназначен для решения производственных задач и для проведения исследований при имплантации стандартных и/или редко применяемых примесей.
Установка для лабораторий ВУЗов
Установлены 2 источника термического испарения, магнетрон с мишенью 50 мм, LTE источник для работы с органическими соединениями, установка автоматизирована, все действия оператора идут через человекомашинный интерфейс.
В лаборатории заказчика система устанавливалась под ключ с монтажом чиллера, установки системы подачи рабочих газов.
Подготовка к отработке источников. Виден магнетрон, LTE источник термические источники, их экраны и заслонки демонтированы
Отработка технологии для заказчика и проверка установки в сервис центре Компании, тестирование магнетрона
И результат после ремонта и реконструкции:
В обоих примерах работ разбиралась и очищалась штатная ловушка установки, проводились ремонтные и регулировочные работы на затворе, очистка внутренних поверхностей и контроль герметичности всей установки.
Запуск в эксплуатацию установки [] осаждения резистивных покрытий
Запущена в эксплуатацию установка [] осаждения резистивных покрытий на образцы из поликора (48х60 мм). Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе два магнетрона диаметром мишени 100 мм и вращающийся подложкодержатель на 16 позиций образцов. Откачка полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и спирального насоса компании Anest Iwata.
|
|
|
|
| |||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
Run_4 | T (min) | Power (W) | P (mTorr) | Gas flow | RPM |
|
|
15 | xxxx | xxx | xxx | 30 | |
|
|
||||||
|
|
Res | 192,5 | 190,2 | 190,3 | 193,2 | |
| Rmax | 193,2 | Uniform:±0,83% | ||||
| Rmin | 190 |
Серия испытательных камер объемами от 100 до 500л для одного из предприятий Роскосмос
Нашей компанией были разработаны, изготовлены и запущены в эксплуатацию на территории заказчика установки для испытаний на герметичность различных изделий. Следующие типы установок вошли в эту серию:
КРИОСИСТЕМЫ
ЭТАПЫ СОТРУДНИЧЕСТВА
