Среда и обогрев
Согласуем температуру газа, свойства среды и условия, при которых в линии исключается нежелательная конденсация.
Компоненты газового тракта
Acequip — расходомеры, регуляторы и газовые клапаны
Тепловые приборы измерения и регулирования расхода, запорные и пропорциональные клапаны. Подбираем Acequip по газу, диапазону, уплотнениям и управлению, согласуем комплект с требованиями установки.
- ИзмерениеГаз, шкала и калибровка
- РегулированиеКлапан и доступный перепад
- Газовый трактУплотнения, фитинги и температура
- УправлениеПитание, сигналы и алгоритм
Acequip — марка Shenzhen Coastal Fluid Technology. В линейке представлены аналоговые и цифровые приборы, компактные исполнения и модели для увеличенных расходов. При выборе MFC одинаково важны измерительный диапазон, регулирующий клапан и материалы, контактирующие с газом.
Стандартные A1 / A2 / M1
Аналоговое и цифровое управление, LCD-индикация, малые расходы и компактное исполнение.
Выбор и особенности →Большие расходы B2 / C2 / D2
Отдельные типоразмеры для линий с увеличенной подачей газа.
Выбор и особенности →Металлические уплотнения
Металлическое и полностью металлическое исполнение; отдельные варианты EtherCAT.
Выбор и особенности →Нагреваемый газовый тракт
Высокотемпературные A2-FCTRNCH / A2-FCTRVCH.
Выбор и особенности →Газовые клапаны
Запорные 1000 / 2000 и пропорциональные 5000 / 6000 / 7000 / 7100.
Выбор и особенности →A1, A2 и M1: управление и компоновка
MFC поддерживает заданный расход, MFM выполняет измерение. Варианты с дисплеем, разными сигналами и уплотнениями выбирают внутри серии, сохраняя согласованность кода заказа.
| Серия / исполнение | Диапазоны шкал, N₂-эквивалент | Управление и особенности |
|---|---|---|
| A1, аналоговое 0–5 В | 10 SCCM — 30 SLM | Аналоговое задание и обратный сигнал 0–5 В. |
| A1, аналоговое 4–20 мА | Шкала по выбранному исполнению | Токовое задание и обратный сигнал; отличается от варианта 0–5 В. |
| A2, цифровое RS-485 | 2 SCCM — 50 SLM | RS-485, ASCII / Modbus RTU; аналоговые сигналы 0–5 В. |
| A2 с LCD / Micro Flow | Шкала под режим линии | Локальная индикация или исполнение для малых расходов. |
| M1, компактное | Шкала под режим линии | Компактная компоновка для ограниченного монтажного пространства. |
| Параметр | A1 0–5 В | A2 RS-485 |
|---|---|---|
| Погрешность | ≤ ±1% ВПИ | При расходе ≥25% ВПИ: ≤ ±1% заданного значения; ниже 25% ВПИ: ≤ ±0,25% ВПИ. |
| Время отклика | ≤1,5 с | ≤0,8 с |
| Регулирование одного газа | 2–100% ВПИ | 2–100% ВПИ |
| Максимальное рабочее давление | 0,48 МПа | 0,48 МПа |
| Рабочая температура | 5–45 °C | 5–45 °C |
| Подключение аналоговых сигналов | 9-контактный D-sub | 9-контактный D-sub; для RS-485 — два 6-контактных RJ-11. |
Значения относятся к указанным стандартным исполнениям. Для специального уплотнения, нагрева или давления используют характеристики соответствующего варианта.
B2, C2 и D2 для увеличенных расходов
| Серия | Позиция в линейке | Что проверить |
|---|---|---|
| B2 | Шкалы 50–150 SLM, N₂-эквивалент. | Требуемый перепад, размер фитинга и выбранный тип управления. |
| C2 | Серия увеличенного расхода между B2 и D2. | Шкалу конкретного исполнения и режим газовой линии. |
| D2 | Шкалы 300–2000 SLM, N₂-эквивалент. | Давления до и после прибора, пропускную способность арматуры и трубопровода. |
Уплотнения и цифровая связь
| Исполнение | Конструкция | Критерий выбора |
|---|---|---|
| Эластомерное | Уплотнения Viton; материалы газового тракта зависят от исполнения. | Совместимость с газом, температура и требования к герметичности. |
| Metal Seal, A2 FCM | Металлическое уплотнение; в конструкции присутствует PTFE. | Наличие полимера учитывают при выборе среды и требований к чистоте. |
| All-Metal Seal, A2 FCT | Полностью металлический газовый тракт. | Материалы, обработка поверхности и требуемая конфигурация подключения. |
| EtherCAT | Отдельное цифровое исполнение приборов. | Поддержка протокола, совместимость с ведущим устройством и карта обмена. |
Высокотемпературные A2-FCTRNCH / A2-FCTRVCH
Для нагреваемых газовых линий предусмотрены специальные исполнения A2. Температурный режим газового тракта, расположение электроники и подключение обогрева рассматривают отдельно от стандартных A1 / A2.
Монтаж и управление
Проверяем размещение нагреваемой части, соединения, кабели и допустимую температуру электроники.
Запорные и пропорциональные клапаны
Запорный клапан включает и отключает подачу. Пропорциональный изменяет проходное сечение по управляющему сигналу. Для самостоятельного клапана измерение расхода и обратная связь являются отдельными частями системы.
| Серия | Функция | Особенности подбора |
|---|---|---|
| 1000 | Электромагнитный запорный клапан. | Присоединения, среда, давление и состояние при снятии питания. |
| 2000 | Электромагнитный запорный клапан. | Исполнение соединений и требования к перекрытию потока. |
| 5000 / 6000 | Электромагнитные пропорциональные клапаны. | Расход при заданном перепаде, управляющий сигнал и материалы. |
| 7000 / 7100 | Пропорциональные клапаны с металлическим уплотнением. | Конструкция газового тракта, подключение и рабочие давления. |
Согласование оборудования с установкой
Давление и перепад
В запросе нужны входное и выходное давления во всём цикле. Расчёт учитывает потери в газовой линии и диапазон регулирования MFC.
Безопасное состояние
Согласуем нормально открытое или закрытое исполнение, запорную арматуру, продувку и реакции на потерю питания или связи.
Интерфейсы
Проверяем питание, распиновку, сигналы 0–5 В / 4–20 мА и цифровой протокол конкретного исполнения.
Многоканальный процесс
Подбираем приборы по каждой среде, состав панели и алгоритм задания потоков. Устройства D1 и Y2 рассматриваем по их функции индикации и контроля давления.
Техническая документация
Технические листы серий: характеристики, подключения и варианты исполнения. Комплектацию поставляемого прибора согласуем по выбранной шкале и условиям процесса.
A1, аналоговое 0–5 ВТехнический лист · DOCX · английскийA2, цифровое RS-485Технический лист · DOCX · английскийB2, большие расходыТехнический лист · DOCX · английскийD2, большие расходыТехнический лист · DOCX · английскийA2 Metal SealТехнический лист · DOCX · английскийКлапаны 5000Технический лист · DOCX · китайскийКлапаны 6000Технический лист · DOCX · китайскийКлапаны 7000Технический лист · DOCX · китайскийКлапаны 7100Технический лист · DOCX · китайскийКлапаны 1000Технический лист · DOCX · китайскийКлапаны 2000Технический лист · DOCX · китайский
Опыт Криосистем в газовых системах
В проектах Криосистем газовые линии работают вместе с технологической камерой, вакуумной системой и автоматикой. Эти задачи показывают, какие связи между компонентами важно учесть при подборе оборудования.
MOCVD-установка для осаждения MoS₂
В составе установки реализованы семь газовых линий. Пример согласования подачи газов с технологической камерой и управлением процессом.
Открыть проект →Лабораторная CVD-установка CVDLab
Пять линий подачи газа в исследовательской установке. Пример организации многокомпонентного газоснабжения технологического процесса.
Открыть проект →Что передать для подбора
Можно начать со схемы установки, перечня газов и режимов. Уточним недостающие условия и предложим состав компонентов.
| Параметр | Что указать |
|---|---|
| Газ и чистота | Название газа или состав смеси, примеси, требования к чистоте и совместимости материалов. |
| Расход | Минимальный, рабочий и максимальный расход по каждой линии; температура и давление приведения объёма. |
| Давления | Давление на входе, на выходе и его изменение в цикле. Для регулятора важен доступный перепад. |
| Температура | Температура газа, окружающей среды и необходимость обогрева газового тракта. |
| Режим | Измерение или поддержание расхода, дозирование, газовая смесь, импульсная или непрерывная работа. |
| Подключение | Тип и размер фитингов, материалы уплотнений, допустимая утечка, монтажное положение. |
| Управление | Число каналов, питание, аналоговые сигналы, цифровой протокол, контроллер установки и блокировки. |
| Комплект и документация | Кабели, источник питания, индикация, газовая панель; требования к испытаниям, монтажу и документации. |
Вопросы по выбору оборудования
Что выбрать: A1 или A2?
A1 подходит для аналогового управления в соответствующем сигнальном исполнении. A2 предусматривает цифровую связь RS-485 и дополнительные варианты. Выбор зависит от шкафа управления, точности и режима процесса.
Можно ли заменить 0–5 В на 4–20 мА без изменения комплекта?
Сигнал должен соответствовать прибору и входам/выходам контроллера. Нужны проверка исполнения, кабеля, распиновки и настроек.
Metal Seal и All-Metal Seal означают одно и то же?
Нет. В металлическом исполнении FCM присутствует PTFE, полностью металлическое FCT имеет иной состав газового тракта. Совместимость определяют по всем материалам.
Для чего нужен отдельный запорный клапан?
Он выполняет функцию отключения подачи газа. Регулирующий клапан MFC управляет расходом; требования к герметичному перекрытию и безопасности задают отдельно.
Какие данные нужны для подбора большого расхода?
Газ, расход, давления на входе и выходе, размер трубопровода, соединения и режим работы. Необходимую пропускную способность проверяют для всей линии.
Подобрать Acequip и состав газовой линии
Пришлите газ, расходы, давления, требования к материалам и управлению. Подберём серию и исполнение, согласуем арматуру и подключение к вашей установке.
Актуальные предложения и ключевые направления
