GPC3000
Контроллер дроссельного клапана: получает сигнал давления и формирует управляющее воздействие в выбранном режиме.
Газовые и вакуумные системы
Atovac — контроль расхода газа и давления
Регуляторы расхода, вакуумные датчики и контроллеры для технологических и исследовательских установок. Криосистемы подбирают компоненты Atovac и согласуют их работу в газовом и вакуумном контуре.
Atovac выпускает оборудование для измерения вакуума, дозирования газа и регулирования давления. Выбор начинается с функции: поддерживать расход в подающей линии, измерять давление или управлять давлением в камере. Для этих задач применяются разные измерители, контроллеры и исполнительные устройства.
Регуляторы AFC
AFC500, AFC600 и AFC770 — измерение массового расхода и поддержание заданной подачи газа.
Выбор и особенности →Контроллеры AMC / GMC
Питание, индикация и задание расхода для отдельных регуляторов и нескольких газовых линий.
Выбор и особенности →Регулирование давления
Контроллеры GPC и дроссельные клапаны APC / ATV для управления вакуумным трактом.
Выбор и особенности →Датчики и вакуумметры
Ёмкостные ACM, конвекционные и Пирани-датчики, ионизационные измерения.
Выбор и особенности →Газовые панели
MFC Control Box, AMCB и Gas Flow System — компоновка нескольких каналов и средств управления.
Выбор и особенности →Регуляторы расхода AFC500, AFC600 и AFC770
Регулятор массового расхода (MFC) измеряет поток и изменяет положение клапана по заданию. Для подбора учитывают шкалу, калибровочный газ, перепад давления и материалы газового тракта.
| Серия | Отличие | Подключение и подбор |
|---|---|---|
| AFC500 | Исполнение с газовым трактом из 316L и уплотнениями Viton. | Аналоговое задание и выход 0–5 В; питание ±15 В. Шкалу и газ выбирают для каждой линии. |
| AFC600 | Исполнение с газовым трактом из 316L и уплотнением PTFE. | Аналоговое задание и выход 0–5 В; питание ±15 В. Материал уплотнения согласуют со средой. |
| AFC770 | Регулятор для увеличенных расходов. | Доступны аналоговое управление и цифровые исполнения; сигнал, питание и фитинги фиксируют в комплектации. |
Питание и управление газовыми каналами
Электронный контроллер задаёт расход и обрабатывает сигнал подключённого MFC. Сам газ проходит через регулятор AFC. Это различие определяет состав комплекта, кабели и число каналов.
| Модель | Роль в системе | Особенности |
|---|---|---|
| AMC60 | Питание, задание и индикация расхода. | Локальное управление подключённым регулятором. |
| GMC220 | Двухканальный блок питания и управления. | Сигналы 0–5 В, LED-индикация, внешнее задание и команда включения/отключения потока. |
| GMC300D | Управление двумя MFC. | Сигналы 0–5 В, LED-индикация, интерфейс RS-232C и TTL-команды. |
| GMC1200 | Многоканальный контроль расхода и индикация. | Исполнения на 2, 4, 6 или 8 каналов; графический LCD, RS-232C, функции соотношения газов и суммирования. |
Контур регулирования давления в камере
Для поддержания давления в вакуумной камере нужны датчик, контроллер и исполнительный клапан. Изменение проводимости откачного тракта и регулирование подачи газа решают разные задачи и согласуются с режимом процесса.
APC200 и ATV
Дроссельные устройства APC200, ATV1000, ATV1000-B и ATV3000. Выбор определяется диаметром тракта, управлением и условиями работы.
Датчики давления и вакуумные измерения
| Серия / модель | Принцип и функция | При выборе |
|---|---|---|
| ACM200 | Ёмкостный датчик давления без термостабилизации чувствительного узла. | Выбранная шкала, температура среды и окружающего воздуха, фитинг и выходной сигнал. |
| ACM300 | Ёмкостный датчик с термостабилизацией узла при 45 °C. | Температура чувствительного узла не является допустимой температурой газа. |
| ACM350 | Ёмкостный датчик с термостабилизацией узла при 100 °C. | Температурные ограничения процесса и окружающей среды рассматривают отдельно. |
| EG301 / CG202 | Конвекционный и Пирани-датчик для вакуумных измерений. | Область давления, газовая зависимость показаний и подключение к индикации. |
| Ионизационный датчик 4336K | Измерение высокого вакуума. | Контроллер, режим включения, газовая нагрузка и условия эксплуатации. |
| GPD-5 / GVC2200 / CG2000 | Средства индикации и работы с подключёнными вакуумными датчиками. | Тип подключаемого датчика и состав измерительного комплекта. |
От компонента к газовой панели
Газовая система объединяет дозирование, запорную арматуру, питание, управление и соединения. В линейке Atovac представлены MFC Control Box, многоканальные блоки AMCB и газовые панели Gas Flow System.
Компоновка каналов
Подбираем число линий, шкалу каждого MFC, материалы и соединения. Учитываем размещение панели и доступ для обслуживания.
Согласование управления
Проверяем распиновку, питание, тип задания и обратного сигнала. Согласуем последовательность подачи, продувку и блокировки по техническому заданию.
Техническая документация
Технические листы серий: характеристики, подключения и варианты исполнения. Комплектацию поставляемого прибора согласуем по выбранной шкале и условиям процесса.
AFC500Технический лист · PDF · английскийAFC600Технический лист · PDF · английскийGMC1200Технический лист · PDF · английскийGMC220Технический лист · PDF · английскийGMC300DТехнический лист · PDF · английскийGPC3000Технический лист · PDF · английскийACM200Технический лист · PDF · английскийACM300Технический лист · PDF · английскийACM350Технический лист · PDF · английский
Опыт Криосистем в газовых системах
В проектах Криосистем газовые линии работают вместе с технологической камерой, вакуумной системой и автоматикой. Эти задачи показывают, какие связи между компонентами важно учесть при подборе оборудования.
MOCVD-установка для осаждения MoS₂
В составе установки реализованы семь газовых линий. Пример согласования подачи газов с технологической камерой и управлением процессом.
Открыть проект →Лабораторная CVD-установка CVDLab
Пять линий подачи газа в исследовательской установке. Пример организации многокомпонентного газоснабжения технологического процесса.
Открыть проект →Что передать для подбора
Можно начать со схемы установки, перечня газов и режимов. Уточним недостающие условия и предложим состав компонентов.
| Параметр | Что указать |
|---|---|
| Газ и чистота | Название газа или состав смеси, примеси, требования к чистоте и совместимости материалов. |
| Расход | Минимальный, рабочий и максимальный расход по каждой линии; температура и давление приведения объёма. |
| Давления | Давление на входе, на выходе и его изменение в цикле. Для регулятора важен доступный перепад. |
| Температура | Температура газа, окружающей среды и необходимость обогрева газового тракта. |
| Режим | Измерение или поддержание расхода, дозирование, газовая смесь, импульсная или непрерывная работа. |
| Подключение | Тип и размер фитингов, материалы уплотнений, допустимая утечка, монтажное положение. |
| Управление | Число каналов, питание, аналоговые сигналы, цифровой протокол, контроллер установки и блокировки. |
| Комплект и документация | Кабели, источник питания, индикация, газовая панель; требования к испытаниям, монтажу и документации. |
Вопросы по выбору оборудования
Регулятор AFC и контроллер GMC — это одно устройство?
Нет. AFC работает непосредственно с газовым потоком. GMC подаёт питание, отображает измерение и формирует задание для подключённых регуляторов; состав функций зависит от модели.
Можно ли собрать несколько газовых каналов?
Да, конфигурацию составляют из отдельных MFC, многоканального управления и арматуры. Для каждого канала задают газ, шкалу, давления и алгоритм работы.
45 или 100 °C у ACM — температура газа?
Это температура термостабилизации чувствительного узла моделей ACM300 и ACM350. Допустимые температуры газа и окружающей среды проверяют отдельно для выбранного датчика.
Достаточно ли MFC для регулирования давления в вакуумной камере?
MFC поддерживает расход в линии. Регулирование давления требует обратной связи по давлению и согласованного исполнительного устройства. Конфигурация зависит от схемы камеры и откачки.
Подобрать компоненты Atovac для вашей установки
Пришлите газы, расходы по каналам, давления и схему установки. Подберём регуляторы, датчики и средства управления, согласуем подключения и состав комплекта.
Актуальные предложения и ключевые направления
