ACU10FDR / ACU20FDR
Серии для малого перепада давления. Требуемый перепад, диапазон расхода и конфигурацию выбирают по исполнению.
Подбор и интеграция оборудования
Accuflow / ACCU — расход, давление и газовые системы
Измерение и регулирование газовых потоков, контроль давления и подготовка газовых смесей. Подбираем приборы Accuflow под режим процесса и объединяем их с арматурой, управлением и технологической установкой.
Accuflow / ACCU — изготовитель приборов ACU для контроля расхода, давления и подачи паров. Компактный MFC, промышленный расходомер и система испарения отличаются назначением и условиями выбора. Сначала определяем задачу, затем принцип измерения, типоразмер и средства управления.
Переменный перепад давления
ACU10FC, ACU20FC и ACU30FC — дифференциальные расходомеры и регуляторы.
Выбор и особенности →Тепловые серии
ACU10FA, ACU10FD и ACU20FD — аналоговые, цифровые и специальные исполнения.
Выбор и особенности →Малый перепад давления
ACU10FDR / 20FDR и ACU20FCR / 30FCR для задач с ограниченным перепадом.
Выбор и особенности →Контроль давления
Измерители, регуляторы и приборы связанного контроля расхода и давления.
Выбор и особенности →Подача паров
ACU20CEM: дозирование жидкости, газ-носитель и контролируемое испарение.
Выбор и особенности →Многоканальные системы
Газовые смеси, дозирование, пульты, программное обеспечение и связь с установкой.
Выбор и особенности →Дифференциальные расходомеры и регуляторы
Приборы определяют массовый расход по перепаду давления на измерительном элементе с учётом состояния газа. Для подбора важны выбранная шкала, газ, давление и необходимый перепад на приборе.
| Серия | Назначение | Ключевой выбор |
|---|---|---|
| ACU10FC | Измерение расхода или регулирование с клапаном; индикация расхода, давления и температуры. | Измерители LM / MM / BM и регуляторы LC / MC / BC; шкала и электрическое исполнение. |
| ACU20FC | Дифференциальные измерители и регуляторы газового потока. | Типоразмер, доступный перепад, интерфейс и компоновка. |
| ACU30FC | Серия дифференциальных приборов контроля расхода. | Диапазон выбранного исполнения, газ и сопряжение с установкой. |
Тепловые расходомеры и регуляторы
Тепловой принцип использует перенос тепла потоком газа. При изменении среды важны калибровка и свойства газа. В одной серии могут быть разные варианты питания, клапана, индикации и связи.
| Серия | Выбор исполнения | Что согласовать |
|---|---|---|
| ACU10FA | Аналоговое измерение и регулирование. | Шкалу, аналоговый сигнал, питание и газ. |
| ACU10FD | Цифровые исполнения тепловых приборов. | Интерфейс управления, индикацию, диапазон и соединения. |
| ACU20FD | Тепловая серия с отдельными вариантами клапана, уплотнения и цифровой связи. | Нормально открытый или закрытый клапан; металлическое уплотнение и EtherCAT — соответствующие исполнения. |
Когда доступный перепад давления ограничен
При малом давлении в линии часть перепада расходуется на трубопровод, фильтр, арматуру и сам прибор. Для устойчивого регулирования проверяют весь газовый тракт при минимальном и максимальном расходе.
Дифференциальные ACU20FCR / ACU30FCR
Приборы малого перепада в дифференциальной группе. Их характеристики рассматривают отдельно от тепловых FDR.
Специальные условия и промышленные измерения
| Задача | Серии | Условия подбора |
|---|---|---|
| Высокое давление | ACU20FD High Pressure | Рабочее давление на входе, давление на выходе и прочность всего комплекта соединений. |
| Высокая температура | ACU10FCH, ACU20FCH, ACU20FDH | Температура среды, обогрев, монтаж электроники и принцип измерения выбранной серии. |
| Промышленный газовый поток | ACU100I; ACU10F, ACU10FM, ACU10FB, ACU10F-G | Геометрия трубопровода, способ установки, диапазон скоростей или расхода и условия среды. |
Измерение и регулирование давления
ACU10P, ACU20P, ACU20PCD и ACU20PH относятся к группе приборов давления; ACU20FP объединяет задачи контроля расхода и давления. Выбор зависит от того, где требуется поддерживать давление: до прибора, после него или в подключённом объёме.
Датчик и регулятор
Измеритель выдаёт сигнал давления. Регулятор дополнительно управляет исполнительным элементом. Для замкнутого контура определяют точку измерения и направление регулирования.
Давление и расход
Одинаковое обозначение интерфейса не делает приборы взаимозаменяемыми. Согласуем измеряемую величину, шкалу, единицы, управляющий алгоритм и требования к линии.
Контролируемое испарение ACU20CEM
Подача паров требует согласованной работы жидкостного дозатора, газа-носителя и испарительного узла. Помимо расхода рассматривают свойства жидкости, температуру испарения и условия транспортировки смеси к процессу.
Комплект для процесса
Согласуем жидкость, газ-носитель, соотношение потоков, давление и тепловой режим испарения.
Газовый тракт после испарителя
Учитываем температуру линии, риск конденсации, материалы и подключение к технологической камере.
Управление отдельным прибором и газовой системой
В каталоге Accuflow есть многокомпонентные газосмесительные и дозирующие системы, панели XS / XP, средства подключения и программное обеспечение ACCU MFC V5.0. Состав управления выбирают вместе с приборами.
| Уровень | Что выбираем | Что проверяем |
|---|---|---|
| Газовая линия | MFM для измерения или MFC с регулирующим клапаном. | Газ, шкалу, давление, перепад и материал уплотнений. |
| Пульт / контроллер | Локальное задание, индикацию и число каналов. | Питание, разъёмы, распиновку и нагрузочную способность. |
| Автоматизация | Связь с ПК или контроллером установки. | Поддержку протокола выбранным исполнением, карту данных и алгоритм команд. |
| Газовая смесь | Число компонентов, расходы и последовательность работы. | Соотношение потоков, продувку, запорную арматуру и блокировки по ТЗ. |
Техническая документация
Технические листы серий: характеристики, подключения и варианты исполнения. Комплектацию поставляемого прибора согласуем по выбранной шкале и условиям процесса.
Опыт Криосистем в газовых системах
В проектах Криосистем газовые линии работают вместе с технологической камерой, вакуумной системой и автоматикой. Эти задачи показывают, какие связи между компонентами важно учесть при подборе оборудования.
MOCVD-установка для осаждения MoS₂
В составе установки реализованы семь газовых линий. Пример согласования подачи газов с технологической камерой и управлением процессом.
Открыть проект →Лабораторная CVD-установка CVDLab
Пять линий подачи газа в исследовательской установке. Пример организации многокомпонентного газоснабжения технологического процесса.
Открыть проект →Что передать для подбора
Можно начать со схемы установки, перечня газов и режимов. Уточним недостающие условия и предложим состав компонентов.
| Параметр | Что указать |
|---|---|
| Газ и чистота | Название газа или состав смеси, примеси, требования к чистоте и совместимости материалов. |
| Расход | Минимальный, рабочий и максимальный расход по каждой линии; температура и давление приведения объёма. |
| Давления | Давление на входе, на выходе и его изменение в цикле. Для регулятора важен доступный перепад. |
| Температура | Температура газа, окружающей среды и необходимость обогрева газового тракта. |
| Режим | Измерение или поддержание расхода, дозирование, газовая смесь, импульсная или непрерывная работа. |
| Подключение | Тип и размер фитингов, материалы уплотнений, допустимая утечка, монтажное положение. |
| Управление | Число каналов, питание, аналоговые сигналы, цифровой протокол, контроллер установки и блокировки. |
| Комплект и документация | Кабели, источник питания, индикация, газовая панель; требования к испытаниям, монтажу и документации. |
Вопросы по выбору оборудования
Чем отличаются MFM и MFC?
MFM измеряет расход. MFC дополнительно содержит регулирующий клапан и поддерживает заданный поток. Выбор определяется функцией газовой линии.
Можно ли выбрать прибор только по максимальному расходу?
Нужны также минимальный и рабочий расход, газ, давление на входе и выходе, температура и условия приведения объёма. Рабочая область конкретной шкалы должна охватывать процесс.
Все приборы ACU имеют одинаковые интерфейсы?
Нет. Аналоговые сигналы и цифровые протоколы зависят от серии и исполнения. При подборе согласуют питание, разъёмы, протокол и карту обмена.
Когда нужен прибор малого перепада?
Когда давление в линии ограничено и стандартный прибор не обеспечивает требуемый поток при доступном перепаде. Рассчитывают сопротивление всего газового тракта.
Можно ли объединить оборудование разных изготовителей?
Такую конфигурацию подбирают по совместимости среды, сигналов, питания, распиновки и протоколов. Совпадение названия интерфейса само по себе не подтверждает совместимость.
Подобрать Accuflow под ваш газовый процесс
Передайте состав газа, расходы, давления и требования к управлению. Сравним подходящие серии, согласуем исполнение и подготовим состав оборудования для вашей установки.
Актуальные предложения и ключевые направления
