Контроль процесса
Сигнал измеренного расхода сравнивается с заданием, PID-контур управляет встроенным клапаном. Внешняя программа задаёт режим и получает показания.
HORIBA STEC · Подбор и интеграция
Horiba SEC-Z500 — цифровые регуляторы расхода газа
Массовые регуляторы расхода газа с цифровым управлением, встроенным клапаном и настройкой газа и полной шкалы. Помогаем выбрать исполнение и согласовать прибор с газовым трактом, питанием и системой управления.
Модели SEC-Z500 MG
Для приборов с обозначением MG приведены типоразмеры и интерфейсы. Суффикс X в полном коде относится к отдельным исполнениям с собственной документацией.
| Модель | Типоразмер и шкалы N₂ | Управление |
|---|---|---|
| SEC-Z512MG | MR/MG: 01=30 SCCM; 1.5=55; 02=100; 2.5=175; 03=300; 3.5=550 SCCM; 04=1; 4.5=1,75; 05=3; 5.5=5,5; 06=10 SLM | RS-485 F-Net и аналоговые сигналы. |
| SEC-Z514MG | Те же шкалы типоразмера Z51×MG | DeviceNet. |
| SEC-Z522MG | MR/MG07=30 SLM; 08=50 SLM для N₂, H₂, Ar, O₂ | RS-485 F-Net и аналоговые сигналы. |
| SEC-Z524MG | Те же шкалы типоразмера Z52×MG | DeviceNet. |
Условия работы исполнений MG
| Параметр | Условия |
|---|---|
| Регулирование | 2–100% F.S. выбранной шкалы. |
| Клапан без питания | Открытый(O) или закрытый(C), по полному коду. |
| Отклик | Менее 1 с по критерию T98 в приведённом исполнении. |
| Точность верхней части шкалы | ±1% S.P. при 30–100% F.S.; S.P. — заданный расход. |
| Линейность / повторяемость | ±0,5% F.S. / ±0,2% F.S. |
| Перепад Z51×MG | 50–300 кПа; для MR/MG5.5 и 06 —100–300 кПа. |
| Перепад Z52×MG | MR/MG07: 200–300 кПа; 08: 200–300 кПа для клапана C, 250–300 кПа для O. |
| Максимальное рабочее давление | 450 кПа(изб.). |
| Испытательное давление | 1 МПа(изб.); отличается от рабочего предела. |
| Рабочая температура | 5–50 °C. |
| Материал газового тракта | SUS316L с обработкой поверхности; исполнение M с металлическими уплотнениями. |
| Внешняя герметичность | Менее 5×10⁻¹² Па·м³/с по He. |
| Соединения | 1/4″ VCR или IGS по исполнению. |
Питание и сигналы
| Исполнение | Сигналы | Питание |
|---|---|---|
| SEC-Z512MG / SEC-Z522MG | Задание и показание 0,1–5 В в рабочей области 2–100% F.S.; RS-485 F-Net | +15 В±5 %, 150 мА; −15 В±5 %, 150 мА. |
| SEC-Z514MG / SEC-Z524MG | Обмен DeviceNet | Номинально 24 В, диапазон 11–25 В; 3,5 ВА. |
Настройка и диагностика
ПО позволяет работать с допустимыми газами и шкалами, сохранять данные и выполнять диагностику. Совместимость ПО, кабеля и версии прибора проверяем по полному коду.
Исполнения SEC-Z500X и их документация
В семействе SEC-Z500X предусмотрены цифровые/аналоговые, DeviceNet и EtherCAT варианты. При выборе или замене приборов MG и MGX отдельно проверяем газ, шкалу, характеристики и электрическое подключение.
| Вариант | Для выбора |
|---|---|
| Digital / Analog | Аналоговое управление и RS-485 F-Net; лист содержит модельные диапазоны, питание и присоединения. |
| DeviceNet | Модели для подключения к сети DeviceNet со своими параметрами питания. |
| EtherCAT | Исполнения для EtherCAT; подключение и код прибора согласуются с сетью установки. |
Техническая документация
Спецификации, габаритные чертежи и руководства для выбора исполнения. Полное обозначение, калибровку и комплектацию согласуем при подборе.
Что передать для подбора
Можно начать с паспорта действующего прибора, схемы или перечня рабочих режимов. Проверим связь прибора с арматурой, питанием и управлением установки.
| Параметр | Что указать |
|---|---|
| Газ и калибровка | Газ или состав смеси, чистота, выбранная шкала и номер MR/MG. |
| Расход | Минимальный, рабочий и максимальный поток; единицы и условия приведения объёма. |
| Давление | Входное и выходное давление, доступный перепад, изменение давления в цикле. |
| Материалы | Смачиваемые материалы, уплотнения, требования к герметичности и чистоте. |
| Подключение | Фитинги, монтажная длина, положение, питание, разъём и распиновка. |
| Управление | Аналоговое задание или цифровая сеть, протокол, число каналов и управляющее устройство. |
| Замена | Полное обозначение и паспорт действующего прибора, фото шильдика и соединений. |
Вопросы по выбору и замене
MG и MGX взаимозаменяемы?
Одинаковая шкала не подтверждает взаимозаменяемость. Проверяем полный код, материалы, клапан, питание, сигналы, разъём и монтажную длину.
Почему рабочего давления недостаточно для подбора?
Регулирующий клапан работает при определённом перепаде. Нужны давление на входе и выходе, их изменения и выбранный расход.
Подберём SEC-Z500 или согласуем замену
Приложите паспорт и фото шильдика с полным кодом. Укажите газ, шкалу, рабочие давления, питание и интерфейс установки.
Актуальные предложения и ключевые направления
