Основные преимущества:

• Регулирование малых расходов, начиная от микро+литров,
• Высокая точность поддержания и измерения расходов низкокипящих и вязких жидкостей: H2O, ТЕОS, TiCl4 и многих других, используемых в полупроводниковых технологиях и других отраслях промышленности,
• Особо чистый,
• Калибровка,
• Быстрое время отклика во всем диапазоне измерения,
• Автоматический ПИД+контроль и программное обеспечение,
• Высокая точность (± 1% F.S.),
• Не подвержен воздействию температуры окружающей среды,
• Может использоваться для измерения жидкостей с низкой температурой кипения.

Принцип действия: 

Датчик регулятора расхода жидкости (РРЖ) серии LF/LV состоит из электронного охлаждающий элемент (элемент Пельтье), находящегося в контакте с капиллярной трубкой, а также нескольких температурных датчиков. При протекании жидкости датчик фиксирует рост температуры (ΔТ), соответствующий расходу и показывает значение в единицах расхода. В отличие от методов, где используется нагревание жидкости, метод измерения с охлаждением позволяет измерять расход жидкостей с низкой температурой кипения. Этот метод также позволяет избежать проблем связанных с помехами, возникающими вследствие испарения, и значительно повышает точность измерений.

Устройство и принцип работы РРЖ серии LV: 

РРЖ серии LV аналогичен регулятору серии LF, при этом в него дополнительно включен клапан с пьезоприводом и внутренний контрольный контур сравнения. Контроллеры этой серии сравнивают установленный сигнал расхода и сигнал расхода на выходе и автоматически контролируют проходное отверстие клапана так, чтобы оба сигнала были равны. Поскольку они используют систему контроля с обратной связью, расход жидкости не изменяется и стабилен, несмотря на влияние внешних факторов. Это позволяет проводить точный контроль расхода. Использование контрольного клапана с пьезоприводом, обладающего стабильностью и не выделяющим тепло, делает эти приборы идеальными для контроля жидкостей с низкой температурой кипения.