Одноколонные сканирующие электронные микроскопы
Автоэмиссионный СЭМ сверхвысокого разрешения
| Разрешение | 0,6 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 1,0 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ) | |
|---|---|---|
| Увеличение | от 1× до 2 500 000× на штатном мониторе | |
| Тип эмиттера | термополевой эмиттер Шоттки (автоэмиссионный) | |
| Ток электронного луча | от 1 пА до 20 нА | |
| Энергия электронного луча | от 0,02 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон | |
| Объективная линза | оптимизированная конструкция с уменьшением общих аберраций на 30% (хроматическая -12%, сферическая -20%)
технология двойного замедления пучка (Dual Beam Deceleration) для работы в режиме низковольтной электронной микроскопии |
|
| Диафрагма объективной линзы | изменяемая многоотверстная апертура с электромагнитной системой отклонения луча для переключения без механического движения | |
| Состав вакуумной системы | турбомолекулярный насос
форвакуумный механический безмасляный насос |
|
| Камера образцов | порты камеры образцов: 16 портов
двойная система визуализации (оптическая навигация + монитор камеры) |
|
| Столик образцов | пятиосевой механический эвцентрический столик, моторизованный по всем пяти осям
максимальный вес образца: 500 г |
|
| Диапазон перемещений | X (авто) | 0 – 110 мм |
| Y (авто) | 0 – 110 мм | |
| Z (авто) | 0 – 65 мм | |
| R (авто) | 360 градусов | |
| T (авто) | от -10° до +70° | |
| Детекторы (стандарт) | внутрилинзовый детектор электронов (In-lens)
детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) |
|
| Детекторы (опции) | выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED)
выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) |
|
|
Система энергодисперсионного микроанализа (опция) |
||
| Детектор | Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью.
• Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα |
|
| Программное обеспечение | • Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре;
• Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; |
|
|
Программное обеспечение микроскопа |
||
| Режим отображения | полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация | |
| Формат хранения изображений | TIFF, JPG, PNG, BMP | |
| Отображение изображения | 768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей | |
| Максимальный размер сохраняемого изображения | 48×32 тыс. пикселей | |
| Отображение сигналов | можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране | |
| Смешивание сигналов | каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением | |
| Скорость развёртки | четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования | |
| Функции линейного измерения | поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д., автоматическое распознавание краёв ширины линии (Auto Measure) | |
| Область аннотации изображения и данных | предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа | |
| Меню состояния | отображение различных рабочих параметров | |
| Функция автоматической настройки | автоматическая фокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая настройка «яркость-контраст» | |
| Функция навигации | оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры | |
| Вспомогательное оборудование | двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + монитор камеры)
система навигации по фотографии образца |
|
| Возможные опции | система анализа дифракции обратного рассеяния (EBSD), детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ (STEM), детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума (LVD), система волнодисперсионного микроанализа (WDS), система анализа катодолюминесценции (CL), модули нагрева/приложения мехнагрузок, модуль внутрикамерной атомно-силовой микроскопии, внутрикамерные микро- и наноманипуляторы, платформа активного виброподавления, комплект для разработки программного обеспечения (SDK) | |
| Операционная система | Windows | |
| Язык интерфейса | английский | |
Сканирующий электронный микроскоп HR5000X представляет собой флагманскую модель высокого разрешения с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений с максимальным разрешением в широком диапазоне ускоряющих напряжений от 0,02 кВ до 30 кВ. Конструкция микроскопа основана на оптимизированной электронно-оптической технологии, которая снижает общие аберрации на 30% и обеспечивает рекордные характеристики визуализации при увеличении до 2 500 000×.
Данная схема, включающая технологию «Dual Beam Deceleration», минимизирует хроматические и сферические аберрации объективной линзы, что позволяет достигать разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Эта возможность открывает прямой путь к исследованию наноструктурных материалов и полупроводниковых структур с минимальным радиационным повреждением. Стабильность и воспроизводимость работы гарантируется прецизионной системой стабилизации электронного пучка.
Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:
 |
 |
|
In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей |
|
Детектор вторичных электронов (SE) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности.
 |
 |
|
Детектор SE: объемная передача морфологии |
|
В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), детектор для режима сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СТЭМ) для анализа ультратонких срезов, детектор низкого вакуума (LVD) для работы с гидратированными образцами, а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).
 |
 |
|
Детектор BSED: контраст по атомному номеру |
|
 |
 |
|
STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы) |
|
Платформа HR5000X отличается высокой степенью автоматизации. 5-осевой механический эвцентрический предметный столик обеспечивает перемещение по осям X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм с наклоном от -10° до +70° и вращением 360°, что позволяет исследовать образцы сложной геометрии под оптимальным углом.
Для повышения эффективности работы опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов, которая минимизирует загрязнение вакуумной камеры. Управление микроскопом осуществляется через интуитивный интерфейс под операционной системой Windows, поддерживающий автоматическую фокусировку, стигматор и яркость/контраст.
ПО AutoMap
Микроскоп также поддерживает специализированное программное обеспечение для автоматического панорамирования (AutoMap) и анализа частиц и пор, что позволяет проводить масштабные морфометрические исследования.
В запросе укажите Автоэмиссионный СЭМ HR5000X. Укажите материал и размеры образца, требуемое разрешение, методы анализа и необходимость подготовки образцов.
