Одноколонные сканирующие электронные микроскопы
Аналитический FESEM с режимом низкого вакуума
| Разрешение | 1,5 нм при 30 кВ (сигнал ВЭ, режим низкого вакуума) | |
|---|---|---|
| Увеличение | от 1× до 2 500 000× на штатном мониторе | |
| Тип эмиттера | термополевой эмиттер Шоттки (автоэмиссионный) | |
| Ток электронного луча | от 1 пА до 20 нА | |
| Энергия электронного луча | от 0,02 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон | |
| Объективная линза | трёхступенчатая конструкция электромагнитной линзы
специально разработанная вакуумная камера объектива для минимизации длины свободного пробега электронов в режиме низкого вакуума |
|
| Диафрагма объективной линзы | многопозиционная, без ограничивающей давление апертуры в режиме низкого вакуума | |
| Состав вакуумной системы | турбомолекулярный насос
форвакуумный механический безмасляный насос |
|
| Камера образцов | порты камеры образцов: 16 портов
объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм |
|
| Столик образцов | пятиосевой механический эвцентрический столик, моторизованный по всем пяти осям
максимальный вес образца: 500 г |
|
| Диапазон перемещений | X (авто) | 0 – 110 мм |
| Y (авто) | 0 – 110 мм | |
| Z (авто) | 0 – 65 мм | |
| R (авто) | 360 градусов | |
| T (авто) | от -10° до +70° | |
| Детекторы (стандарт) | низковакуумный детектор вторичных электронов (LVD)
детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) |
|
| Детекторы (опции) | внутрилинзовый детектор электронов (In-lens)
выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) |
|
|
Система энергодисперсионного микроанализа (опция) |
||
| Детектор | Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью.
• Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα |
|
| Программное обеспечение | • Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре;
• Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; |
|
|
Программное обеспечение микроскопа |
||
| Режим отображения | полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация | |
| Формат хранения изображений | TIFF, JPG, PNG, BMP | |
| Отображение изображения | 768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей | |
| Максимальный размер сохраняемого изображения | 48×32 тыс. пикселей | |
| Отображение сигналов | можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране | |
| Смешивание сигналов | каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением | |
| Скорость развёртки | четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования | |
| Функции линейного измерения | поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д., автоматическое распознавание краёв ширины линии (Auto Measure, опция) | |
| Область аннотации изображения и данных | предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа | |
| Меню состояния | отображение различных рабочих параметров | |
| Функция автоматической настройки | автоматическая фокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая настройка «яркость-контраст» | |
| Функция навигации | оптическая навигация, по фотографии с ПЗС-камеры | |
| Вспомогательное оборудование | система навигации по фотографии образца
механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма / 8 дюймов (опция) |
|
| Возможные опции | внутрилинзовый детектор (In-lens), детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ (STEM), система волнодисперсионного микроанализа (WDS), система анализа катодолюминесценции (CL), модули нагрева/приложения мехнагрузок, модуль внутрикамерной атомно-силовой микроскопии, внутрикамерные микро- и наноманипуляторы, платформа активного виброподавления, комплект для разработки программного обеспечения (SDK), ПО для анализа частиц и пор, ПО для постобработки изображений, ПО Auto Measure | |
| Операционная система | Windows | |
| Язык интерфейса | английский | |
| Режим низкого вакуума | 10-180 Па без ограничивающей давление апертуры | |
Сканирующий электронный микроскоп HR4000 представляет собой аналитическую модель с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для всестороннего исследования микроструктуры материалов в широком диапазоне режимов работы. Трёхступенчатая конструкция электромагнитной линзы обеспечивает превосходную производительность в аналитических приложениях, включая EDS, EBSD и WDS.
Микроскоп стандартно оснащён режимом низкого вакуума и высокопроизводительным низковакуумным детектором вторичных электронов (LVD), что позволяет исследовать непроводящие и плохо проводящие образцы без проводящего покрытия. Диапазон давлений от 10 до 180 Па достигается без ограничивающей давление апертуры, а разрешение в режиме низкого вакуума составляет 1,5 нм при 30 кВ.
В режиме низкого вакуума вторичная электронная эмиссия с поверхности образца ионизирует молекулы воздуха, генерируя электроны, ионы и фотоны. Специально разработанная вакуумная камера объектива минимизирует длину свободного пробега электронов, а низковакуумный детектор (LVD) улавливает фотонные сигналы, полученные в процессе ионизации.
Схема работы режима низкого вакуума
Генерируемые ионы нейтрализуют зарядку поверхности образца, тем самым уменьшая эффект накопления заряда на диэлектрических материалах. Это открывает возможности для прямого исследования полимеров, керамики, биологических тканей и других непроводящих материалов без предварительной подготовки.
Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:
Детектор вторичных электронов (SE) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности в режиме высокого вакуума.
 |
 |
|
Детектор SE: объемная передача морфологии |
|
В стандартную конфигурацию входит выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).
 |
 |
|
Детектор BSED: контраст по атомному номеру |
|
Платформа HR4000 отличается высокой степенью автоматизации. Микроскоп поддерживает специализированное программное обеспечение для автоматического панорамирования и анализа частиц и пор, что позволяет проводить масштабные морфометрические исследования в материаловедении, геологии и экологии.
ПО для анализа частиц и пор
Опционально доступны программные модули для постобработки изображений, автоматического измерения ширины линий (Auto Measure), а также комплект разработки программного обеспечения (SDK) для интеграции в автоматизированные линии и создания специализированных сценариев управления.
В запросе укажите Автоэмиссионный СЭМ HR4000. Укажите материал и размеры образца, требуемое разрешение, методы анализа и необходимость подготовки образцов.
