Одноколонные сканирующие электронные микроскопы
Автоэмиссионный СЭМ с катодом Шоттки
| Разрешение | 0,8 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 1,2 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ) | |
|---|---|---|
| Увеличение | от 1× до 2 500 000× на штатном мониторе | |
| Тип эмиттера | термополевой эмиттер Шоттки | |
| Ток электронного луча | от 1 пА до 20 нА | |
| Энергия электронного луча | от 0,02 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон | |
| Объективная линза | линза использует скрещенные электромагнитное поле и тормозящее электростатическое поле для компенсации сферической аберрации и работы в режиме низковольтной электронной микроскопии
объективная линза термостабилизируемая с водяным охлаждением: обеспечивает стабильность изображения, уменьшая вероятный температурный дрейф |
|
| Диафрагма объективной линзы | шестипозиционная, оснащена электростатическим дефлектором для переключения без дополнительной ручной юстировки | |
| Состав вакуумной системы | турбомолекулярный насос
форвакуумный механический безмаслянный насос ионно-гетерный насос давление в электронной пушке: 9×10-8 Па; Давление в камере образцов: 5×10-4 Па |
|
| Камера образцов | порты камеры образцов:16 портов
объем камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм максимальный размер образца: диаметр 260 мм, высота: 53 мм |
|
| Столик образцов | пятиосевой столик, моторизованный по всем пяти осям
максимальный вес образца: 500 г |
|
| Диапазон перемещений | X (авто) | 0 – 110мм |
| Y (авто) | 0 – 110мм | |
| Z (авто) | 0 – 50 мм | |
| R (авто) | 360 градусов | |
| T (авто) | от -10° до +70° | |
| Детекторы | детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли
внутрилинзовый детектор детектор отражённых электронов детектор системы энергодисперсионного микроанализа |
|
|
Система энергодисперсионного микроанализа |
||
| Детектор | Кремнедрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью.
• Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα • Диапазон детектируемых элементов от B до Am • Встроенная безазотная система охлаждения Пельтье для работы без вибраций и готовность к эксплуатации в течение одной минуты после включения • Ручной ввод детектора в камеру • Площадь детектора: 30 мм2 |
|
| Программное обеспечение | • Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре;
• Контроль идентификация пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; • Сравнение полученных спектров; • Полностью автоматическое вычитание фона и деконволюция перекрывающихся линий спектра для обеспечения количественного анализа; • Автоматический расчет матричных поправок для обеспечения точного количественного анализа как легких, так и тяжелых элементов; • Определение количественного элементного состава в автоматическом режиме во всем диапазоне определяемых элементов (B-Am), как на основе пользовательских эталонов, так и безэталонным методом на основе заводских эталонов. Количественный анализ выполняется сразу после начала набора спектра и непрерывно обновляется до его окончания; • Анализ в произвольно выбранной на изображении точке; • Цветное элементное картирование; • Построение профиля распределения элементов по линии; • Автоматическое последовательное получение серий спектров от точек, расположенных произвольно по выбору оператора; • Анализ в точке, по прямоугольнику, по эллипсу, по полигональной фигуре; • Формирование и экспорт отчетов по результатам анализа |
|
|
Программное обеспечение микроскопа |
||
| Режим отображения | полноэкранный режим, разделенный экран | |
| Формат хранения изображений | TIFF, JPG, PNG, BMP | |
| Отображение изображения | 768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей | |
| Максимальный размер сохраняемого изображения | 48×32 тыс. пикселей | |
| Отображение сигналов | можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране | |
| Смешивание сигналов | каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением | |
| Скорость развёртки | четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования | |
| Функции линейного измерения | поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д. | |
| Область аннотации изображения и данных | предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа | |
| Меню состояния | отображение различных рабочих параметров | |
| Функция автоматической настройки | автоматическая фокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая настройка «яркость-контраст» и т.д. | |
| Функция навигации | по фотографии с ПЗС-камеры | |
| Вспомогательное оборудование | система контроля перемещения образца на базе ИК-камеры
система навигации по фотографии образца механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма трекбол/джойстик панель с физическими органами управления |
|
| Возможные опции | система анализа дифракции обратного рассеяния, детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ, детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума, система волнодисперсионного микроанализа, система анализа катодолюминесценции, модули нагрева/приложения мехнагрузок, модуль внутрикамерной атомносиловой микроскопии, внутрикамерные микро- и наноманипуляторы, платформа активного виброподавления, | |
Сканирующий электронный микроскоп HR5000 представляет собой высокотехнологичный прибор с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений с высочайшим разрешением в широком диапазоне ускоряющих напряжений. Конструкция микроскопа основана на электронно-оптической технологии, которая обеспечивает бесперекрестный путь луча и использует комбинированную электростатическую и электромагнитную объективную линзу.
Данная схема, включающая технологию «Super-Tunnel», минимизирует аберрации и пространственный заряд, что позволяет достигать разрешения 1.2 нм при низком напряжении 1 кВ. Эта возможность открывает прямой путь к исследованию непроводящих или полупроводящих образцов с минимальным радиационным повреждением. Стабильность и воспроизводимость работы объективной линзы гарантируется ее системой водяного охлаждения, поддерживающей постоянную температуру.
Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:
 |
 |
|
In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей |
|
Детектор вторичных электронов (SE) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности.
 |
 |
|
Детектор SE: объемная передача морфологии |
|
В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), детектор для режима сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СТЭМ) для анализа ультратонких срезов, а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).
 |
 |
|
Детектор BSED: контраст по атомному номеру |
|
 |
 |
|
STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы) |
|
Платформа HR5000 отличается высокой степенью автоматизации. Для повышения эффективности работы опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов, которая минимизирует загрязнение вакуумной камеры.
Автоматическая шлюзовая камера
Микроскоп также поддерживает специализированное программное обеспечение для автоматического панорамирования (AutoMap) и анализа частиц и пор, что позволяет проводить масштабные морфометрические исследования.
ПО AutoMap
В запросе укажите Автоэмиссионный СЭМ HR5000. Укажите материал и размеры образца, требуемое разрешение, методы анализа и необходимость подготовки образцов.
