Одноколонные сканирующие электронные микроскопы
Вольфрамовый СЭМ с электронно-оптической колонной
| Разрешение | 2,5 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 4 нм при 3 кВ (сигнал ВЭ), 5 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ) | |
|---|---|---|
| Увеличение | от 1× до 300 000× на штатном мониторе | |
| Тип эмиттера | вольфрамовая нить накала (термоэмиссионный) | |
| Ток электронного луча | от 1 пА до 20 нА | |
| Энергия электронного луча | от 0,1 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон | |
| Объективная линза | электронно-оптическая колонна с технологией «Супертуннель»
комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза для минимизации аберраций |
|
| Диафрагма объективной линзы | многопозиционная с автоматическим переключением | |
| Состав вакуумной системы | турбомолекулярный насос
форвакуумный механический безмасляный насос |
|
| Камера образцов | двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры)
объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм |
|
| Столик образцов | пятиосевой вакуум-совместимый моторизованный столик
максимальный вес образца: 500 г |
|
| Диапазон перемещений | XY (авто) | 0 – 125 мм |
| Z (авто) | 0 – 50 мм | |
| R (авто) | 360 градусов | |
| T (авто) | от -10° до +90° | |
| – | – | |
| Детекторы (стандарт) | внутрилинзовый электронный детектор (In-lens)
детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) |
|
| Детекторы (опции) | выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED)
энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) |
|
|
Система энергодисперсионного микроанализа (опция) |
||
| Детектор | Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью.
• Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα |
|
| Программное обеспечение | • Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре;
• Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; |
|
|
Программное обеспечение микроскопа |
||
| Режим отображения | полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация | |
| Формат хранения изображений | TIFF, JPG, PNG, BMP | |
| Отображение изображения | 768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей | |
| Максимальный размер сохраняемого изображения | 48×32 тыс. пикселей | |
| Отображение сигналов | можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране | |
| Смешивание сигналов | каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением | |
| Скорость развёртки | четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования | |
| Функции линейного измерения | поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д. | |
| Область аннотации изображения и данных | предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа | |
| Меню состояния | отображение различных рабочих параметров | |
| Функция автоматической настройки | автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор | |
| Функция навигации | оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры, трекбол (опционально) | |
| Вспомогательное оборудование | вертикально установленная камера для оптической навигации
система навигации по фотографии образца |
|
| Возможные опции | выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED), энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX), дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD), шлюз для обмена образцами, панель управления с трекболом | |
| Операционная система | Windows | |
| Язык интерфейса | английский | |
Сканирующий электронный микроскоп HR3300 представляет собой высокоразрешающий прибор с вольфрамовой нитью накала, предназначенный для получения изображений высокого разрешения в широком диапазоне ускоряющих напряжений.
Ключевая особенность HR3300 — сочетание классической надёжности вольфрамовой нити с современными технологиями визуализации. Электронно-оптическая колонна «Super-Tunnel» в сочетании с электростатической и электромагнитной составной объективной линзой позволяет достигать разрешения 2,5 нм при 15 кВ, 4 нм при 3 кВ и 5 нм при 1 кВ, что открывает возможности для низковольтного анализа непроводящих образцов.
Технология «Super-Tunnel» обеспечивает бесперекрестный путь электронного луча, минимизируя аберрации объективной линзы и эффект пространственного заряда. Комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза дополнительно снижает сферические и хроматические аберрации, что критично для работы при низких ускоряющих напряжениях.
Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:
 |
 |
|
In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей |
|
Детектор вторичных электронов (ETD, Эверхарта-Торнли) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности с высокой глубиной резкости.
 |
 |
|
Детектор ETD: объемная передача морфологии |
|
В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).
 |
 |
|
Детектор BSED: контраст по атомному номеру |
|
Платформа HR3300 отличается высокой степенью автоматизации. Улучшенные функции автоматической яркости и контрастности, автоматической фокусировки и автоматической коррекции астигматизма позволяют получать качественные изображения одним щелчком, что сокращает время обучения операторов и повышает производительность.
Интерфейс с автоматическими функциями настройки
5-осевой вакуум-совместимый моторизованный предметный столик обеспечивает перемещение по осям XY=125 мм, Z=50 мм с наклоном от -10° до +90° и вращением 360°. Увеличенный диапазон перемещения по оси XY позволяет исследовать крупногабаритные образцы без необходимости повторной загрузки.
Оптическая навигация с вертикально установленной камерой позволяет получать оптические изображения для интуитивного и точного позиционирования образца перед началом электронно-микроскопического исследования. Двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса.
Опционально предусмотрены автоматическая шлюзовая камера для образцов и панель управления с трекболом и поворотными регуляторами для повышения эргономичности работы оператора.
В запросе укажите Вольфрамовый СЭМ HR3300. Укажите материал и размеры образца, требуемое разрешение, методы анализа и необходимость подготовки образцов.
