Одноколонные сканирующие электронные микроскопы
Автоэмиссионный СЭМ с технологией Ultra Beam Deceleration
| Разрешение | 0,9 нм при 30 кВ (сигнал ВЭ), 1,0 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 1,8 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ) | |
|---|---|---|
| Разрешение (с технологией Ultra Beam Deceleration) | 0,8 нм при 15 кВ, 1,5 нм при 1 кВ | |
| Увеличение | от 1× до 1 000 000× на штатном мониторе | |
| Тип эмиттера | электронная пушка Шоттки с полевой эмиссией | |
| Ток электронного луча | от 1 пА до 20 нА | |
| Энергия электронного луча | от 0,2 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон | |
| Объективная линза | многодетекторная технология с внутрилинзовым детектором UD-BSE/UD-SE
опциональная технология сверхбыстрого замедления пучка (Ultra Beam Deceleration) для повышения разрешения при низких напряжениях |
|
| Диафрагма объективной линзы | многопозиционная с автоматическим переключением | |
| Состав вакуумной системы | турбомолекулярный насос
форвакуумный механический безмасляный насос |
|
| Камера образцов | двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры)
объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм |
|
| Столик образцов | пятиосевой механический эвцентрический столик, моторизованный по всем пяти осям
максимальный вес образца: 500 г |
|
| Диапазон перемещений | X (авто) | 0 – 110 мм |
| Y (авто) | 0 – 110 мм | |
| Z (авто) | 0 – 65 мм | |
| R (авто) | 360 градусов | |
| T (авто) | от -10° до +70° | |
| Детекторы (стандарт) | внутрилинзовый электронный детектор (UD-BSE/UD-SE)
детектор Эверхарта-Торнли (LD) с кристаллическим сцинтиллятором и фотоумножителями |
|
| Детекторы (опции) | выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED)
выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) |
|
|
Система энергодисперсионного микроанализа (опция) |
||
| Детектор | Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью.
• Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα |
|
| Программное обеспечение | • Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре;
• Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; |
|
|
Программное обеспечение микроскопа |
||
| Режим отображения | полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация | |
| Формат хранения изображений | TIFF, JPG, PNG, BMP | |
| Отображение изображения | 768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей | |
| Максимальный размер сохраняемого изображения | 48×32 тыс. пикселей | |
| Отображение сигналов | можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране | |
| Смешивание сигналов | каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением | |
| Скорость развёртки | четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования | |
| Функции линейного измерения | поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д. | |
| Область аннотации изображения и данных | предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа | |
| Меню состояния | отображение различных рабочих параметров | |
| Функция автоматической настройки | автоматическая регулировка яркости и контрастности, автофокусировка, автоматический стигматизатор, автоматическое выравнивание | |
| Функция навигации | оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры | |
| Вспомогательное оборудование | двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры)
система навигации по фотографии образца |
|
| Возможные опции | выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED), детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ (STEM), детектор низкого вакуума (LVD), энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX), дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD), шлюз для обмена образцами (4″/8″), панель управления с трекболом, технология Ultra Beam Deceleration | |
| Операционная система | Windows | |
| Язык интерфейса | английский | |
Сканирующий электронный микроскоп HR4000X представляет собой стабильную, универсальную и гибкую платформу с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений высокого разрешения для различных типов образцов. Микроскоп обеспечивает разрешение 1,8 нм при 1 кВ и легко справляется с задачами визуализации в широком диапазоне ускоряющих напряжений от 0,2 кВ до 30 кВ.
Ключевая особенность HR4000X — возможность модернизации с помощью технологии сверхбыстрого замедления пучка (Ultra Beam Deceleration) , которая дополнительно повышает разрешение при низких напряжениях до 1,5 нм при 1 кВ и 0,8 нм при 15 кВ.
Микроскоп использует многодетекторную технологию с внутрилинзовым электронным детектором (UD-BSE/UD-SE), способным одновременно обнаруживать сигналы вторичных и обратнорассеянных электронов, обеспечивая высокое разрешение и контраст на малых полях зрения.
Внутрилинзовый детектор UD-BSE/UD-SE
Электронный детектор (LD), установленный в камере, включает кристаллический сцинтиллятор и фотоумножители, обеспечивая повышенную чувствительность и эффективность сбора сигнала.
Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:
Детектор Эверхарта-Торнли (LD) с кристаллическим сцинтиллятором и фотоумножителями обеспечивает высокую чувствительность и стереоскопическую передачу морфологии поверхности.
В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру, детектор для режима СТЭМ для анализа ультратонких срезов, детектор низкого вакуума (LVD), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).
 |
 |
|
Детектор BSED: контраст по атомному номеру |
|
 |
 |
|
STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы) |
|
Платформа HR4000X отличается высокой степенью автоматизации. Графический пользовательский интерфейс включает функции автоматической регулировки яркости и контраста, автофокусировки, автостигматизации и автоматического выравнивания, что позволяет быстро получать изображения высокого разрешения даже операторам без глубокой квалификации.
Графический интерфейс с автоматическими функциями
5-осевой механический эвцентрический предметный столик обеспечивает перемещение по осям X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм с наклоном от -10° до +70° и вращением 360°. Двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса. Опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов (4″ / 8″), панель управления с трекболом и поворотными регуляторами, а также технология сверхбыстрого замедления луча для дальнейшего повышения разрешения при низких напряжениях.
В запросе укажите Автоэмиссионный СЭМ HR4000X. Укажите материал и размеры образца, требуемое разрешение, методы анализа и необходимость подготовки образцов.
