Магнетронное напыление
ESNtech Sigma
Шлюзовая загрузка и обработка партии без разгерметизации рабочей камеры.
- До 4 — магнетронов
- 420 × 420 мм — зона осаждения
Тонкоплёночные технологии
Вакуумные установки ESNtech для микроэлектроники и оптики
Нанесение функциональных и оптических покрытий, подготовка поверхности и ионно-лучевое травление. Выберите платформу по материалу, геометрии изделия и технологическому маршруту.
ESNtech — разработка и производство установок
Криосистемы — подбор, поставка, интеграция и сопровождение
6 платформдля разных технологических задач
PVD и PECVDфизическое и плазмохимическое осаждение
Ионный лучочистка и травление тонких плёнок
Шесть платформ — разные задачи
От серийного магнетронного напыления до прецизионных оптических покрытий. Сопоставьте метод, геометрию загрузки и средства контроля.
Магнетронное напыление
ESNtech Ypsilon
Источники внутри цилиндра из подложек и автоматический переворот для двухстороннего нанесения.
- 76 подложек — за цикл и одна позиция для свидетеля
- До 350 °C — нагрев подложек
Ионно-лучевое травление
ESNtech Eta
Направленная обработка плёнок линейными ионными источниками с охлаждением подложек.
- 48 подложек — за цикл
- 60 × 48 мм — размер подложки
Оптические покрытия
ESNtech Lambda
Электронно-лучевое и резистивное испарение с ионно-плазменным ассистированием.
- ±1 % — неравномерность на планетарном держателе
- 6 сенсоров — кварцевый контроль
Несколько методов осаждения
ESNtech Omicron
Платформа с выбором метода нанесения и переворотом держателей в одном вакуумном цикле.
- 3 метода — доступны в рамках серии
- 2 стороны — без вскрытия камеры
Плазмохимическое осаждение
ESNtech Delta PECVD
Алмазоподобные углеродные покрытия для защиты и просветления инфракрасной оптики.
- До Ø300 мм — диаметр изделий
- 1,5–2 мкм/ч — скорость нанесения
С какой установки начать выбор
| Установка | Задача | Метод | Ориентир для выбора |
|---|---|---|---|
| ESNtech Sigma | Тонкие плёнки для серийного производства | Магнетронное напыление со шлюзовой загрузкой | До 4 магнетронов; зона 420 × 420 мм; подложки толщиной до 2 мм. |
| ESNtech Ypsilon | Серийное нанесение с автоматическим переворотом | Магнетронное напыление | 76 подложек за цикл и позиция для свидетеля; нагрев до 350 °C. |
| ESNtech Eta | Направленное травление тонких плёнок | Ионно-лучевое травление | До 3 линейных источников; 48 подложек 60 × 48 мм за цикл. |
| ESNtech Lambda | Прецизионные оптические покрытия | Электронно-лучевое и резистивное испарение | ±1 % на планетарном держателе; кварцевый контроль на 6 сенсоров. |
| ESNtech Omicron | Универсальная платформа тонкоплёночного осаждения | До трёх методов нанесения | Испарение или распыление; купол, диск либо съёмные держатели. |
| ESNtech Delta PECVD | DLC-покрытия для инфракрасной оптики | Плазмохимическое осаждение DLC | Ge и Si; изделия до Ø300 мм; скорость нанесения 1,5–2 мкм/ч. |
Количество изделий за цикл сравнивают вместе с размером подложки, рецептом, нагревом и охлаждением. Значения для разных методов и изделий не являются прямым рейтингом производительности.
Что определяет конфигурацию
Покрытие и материал
Укажите материал подложки, наносимые слои, толщины и требования к оптическим либо электрическим свойствам. Для травления нужны материал удаляемого слоя, маска и глубина обработки.
Геометрия и партия
Размер, форма и число изделий определяют держатель и загрузку. Отдельно укажите плоские или выпуклые поверхности, допустимую толщину изделий и необходимость обработки двух сторон.
Подготовка и температура
Согласуйте очистку, нагрев, допустимую температуру и охлаждение. Эти этапы входят в маршрут обработки и влияют на длительность цикла.
Контроль и воспроизводимость
Задайте допуски и методику приёмки покрытия. Кварцевый, оптический и резистивный контроль решают разные задачи; состав системы определяется процессом.
От технического задания до запуска
Криосистемы сопровождают подбор и поставку. ESNtech разрабатывает и производит технологическое оборудование; конкретный объём работ фиксируется для проекта.
Технологическая задача
Обсуждаем изделие, структуру покрытия или травления, допуски и объём партии.
Конфигурация установки
Определяем источники, держатели, откачку, контроль, автоматику и состав документации.
Поставка и интеграция
Согласуем требования к площадке, состав поставки, монтаж и пусконаладочные работы.
Запуск и сопровождение
Обсуждаем обучение персонала, обслуживание и дальнейшую технологическую поддержку.
Вопросы перед подбором
Чем отличаются Sigma и Ypsilon?
Обе платформы используют магнетронное напыление. Sigma выделяется шлюзовой загрузкой и зоной осаждения 420 × 420 мм. В Ypsilon источники находятся внутри цилиндра из подложек, предусмотрены автоматический переворот и загрузка 76 подложек за цикл с отдельной позицией для свидетеля.
Как выбрать между Lambda и Omicron?
Lambda ориентирована на прецизионные оптические покрытия с кварцевым и спектральным контролем, купольным и планетарным держателями. Omicron — конфигурируемая серия: метод нанесения и сочетание источников выбираются под задачу.
Какая установка нужна для DLC на германии?
Delta PECVD предназначена для углеродных алмазоподобных покрытий на германии и кремнии. Для подбора укажите форму и диаметр деталей, спектральный диапазон, требования к пропусканию, отражению и стойкости.
Можно ли заказать установку под свой процесс?
ESNtech разрабатывает оборудование по техническому заданию. Направьте в Криосистемы описание изделия, требуемого покрытия или травления и параметры партии — обсудим конфигурацию и условия поставки.
Подберём установку под Ваш процесс
Пришлите техническое задание или описание изделия и технологической задачи. Поможем определить технологию, состав оборудования и требования к поставке, запуску и сопровождению.
Актуальные предложения и ключевые направления
