Подготовка поверхности
Травление в восстановительной H₂, нейтральной Ar и окислительной O₂ средах для удаления или восстановления оксидного слоя.
Плазмохимическое осаждение
ESNtech Delta PECVD — нанесение DLC-покрытий на оптику
Установка ионно-плазменной очистки и плазмохимического осаждения углеродных алмазоподобных покрытий на оптические детали из германия и кремния.
Производитель — ESNtech
Подбор, поставка и сопровождение — Криосистемы
До Ø300 ммдиаметр изделий
1,5–2 мкм/чскорость нанесения
Ge и Siматериалы подложек
DLC-покрытия для инфракрасной оптики
Delta PECVD сочетает ионно-плазменную подготовку поверхности и плазмохимическое осаждение углеродного алмазоподобного покрытия DLC. Обрабатываются плоские и выпуклые оптические детали из германия и кремния в зоне Ø500 мм.
Формируется однослойное DLC-покрытие типа a-C:H с высокой долей sp³-связей. Для германиевой оптики приведены оптические показатели одностороннего покрытия в диапазоне 8–12 мкм; их условия указаны в таблице. Скорость нанесения выбирает оператор, контроль ведётся по свидетелю в центре зоны.
Как организован процесс
Контроль покрытия
Автоматический оптический контроль по свидетелю в центре зоны нанесения.
Обслуживание камеры
Плазмохимическая очистка столика и оснастки от продуктов осаждения.
Параметры процесса и DLC-покрытия
| Материал подложек | Ge, Si |
|---|---|
| Твёрдость | 16 ГПа (микротвёрдость по Кнупу, нагрузка 20 гс) |
| Коэффициент преломления | 1,82–1,87 |
| Отражение DLC на германии | менее 1 % при одностороннем покрытии, диапазон 8–12 мкм |
| Пропускание DLC на германии | до 61 % при одностороннем покрытии, диапазон 8–12 мкм |
| Расчётная длина волны просветления | максимум пропускания на 10 мкм |
| Адгезия (скретч-тест, индентор Роквелла Ø 200 мкм) | 12,5 Н |
| Скорость нанесения | 1,5–2 мкм/ч, выбирается оператором |
| Производительность | до 4 процессов за 8-часовую смену с учётом межоперационного обслуживания |
| Зона обработки | Ø500 мм |
| Диаметр изделий | До Ø300 мм; плоские и выпуклые |
| Тип покрытия | Однослойное DLC, мягкий a-C:H |
Состав оборудования и рабочие режимы согласуются под изделие и процесс. Производительность зависит от загрузки, рецепта и межоперационного обслуживания.
Что указать в запросе
Для предварительного подбора рекомендуем указать:
- Материал, форма и диаметр оптических деталей
- Рабочий спектральный диапазон и требуемое пропускание/отражение
- Требования к стойкости покрытия и объём партии
- Требования к автоматизации, документации, монтажу и пусконаладке
Обсудим конфигурацию Delta PECVD
Пришлите техническое задание или описание изделия и технологической задачи. Поможем определить технологию, состав оборудования и требования к поставке, запуску и сопровождению.
Актуальные предложения и ключевые направления
