Шлюзовая загрузка
Рабочая камера сохраняется под вакуумом при загрузке партии.
Магнетронное напыление
ESNtech Sigma — установка магнетронного напыления
Магнетронная установка с предварительной ионно-лучевой очисткой и нагревом подложек. Шлюзовая загрузка позволяет загружать изделия без разгерметизации рабочей камеры на каждый цикл.
Производитель — ESNtech
Подбор, поставка и сопровождение — Криосистемы
До 4магнетронов
420 × 420 ммзона осаждения
До 350 °Cнагрев подложек
Тонкие плёнки для серийного производства
Sigma предназначена для серийного и мелкосерийного нанесения проводящих и функциональных слоёв. Предварительная ионно-лучевая очистка и нагрев включаются в технологический маршрут до напыления. Изделия располагаются близко к вертикали.
Шлюз отделяет загрузку от рабочей камеры: при смене партии её не требуется разгерметизировать. Управление ведётся с сенсорной панели по рецептам, с протоколами процессов и журналом аварий. Безмасляную откачку обеспечивают спиральный и турбомолекулярный насосы.
Как организован процесс
Подготовка поверхности
Ионно-лучевая очистка и нагрев подложек до 350 °C.
Автоматизация
Сенсорная панель, технологические рецепты, протоколы процессов и журнал аварий.
Разные геометрии изделий
Круглые, квадратные и прямоугольные подложки в пределах рабочей зоны.
Чистые помещения
Конструкция установки предназначена для работы в чистых помещениях.
Характеристики установки Sigma
| Технология | Магнетронное напыление металлов, оксидов (реактивный процесс), резистивных сплавов, полупроводников с ионно-лучевой очисткой |
|---|---|
| Размеры подложек | Допускаются различные конфигурации расположения разных подложек толщиной до 2 мм: диаметром 76, 100, 150, 200, 300, 400 мм; также наборы квадратных и прямоугольных изделий внутри зоны 420х420 мм |
| Нагрев подложек | до 350 °C |
| Предельный вакуум в рабочей камере | ≤ 1×10⁻⁴ Па |
| Вакуумная система | Безмасляная (спиральный + турбомолекулярный насосы) |
| Система управления | Встроенная сенсорная панель, управление по рецептам |
| Габариты (Д×Ш×В) | не более 2800×1400×2200 мм |
| Компонентная база | Gencoa, Pfeiffer, SMC, WAGO и др. |
| Количество магнетронов | до 4-х |
| Система контроля напыления | По времени, кварцевая система контроля толщины (Inficon), система контроля по свидетелю сопротивления |
| Загрузка подложек | Ручная, шлюзовая |
| Нанесение покрытия | Одностороннее; опционально двухстороннее с автоматическим переворотом |
| Примеры материалов мишеней | Металлы, полупроводники, резистивные сплавы |
| Производительность (пример) | 48 подложек 60 × 48 мм за цикл; 4–5 циклов с нагревом и охлаждением за 8-часовую смену |
| Зона осаждения | 420 × 420 мм |
Состав оборудования и рабочие режимы согласуются под изделие и процесс. Производительность зависит от загрузки, рецепта и межоперационного обслуживания.
Исполнение под технологическую задачу
- Двухстороннее нанесение с автоматическим переворотом — опционально.
- Возможно увеличение зоны осаждения при снижении требований к равномерности.
Что указать в запросе
Для предварительного подбора рекомендуем указать:
- Материалы мишеней и подложек
- Размеры, толщина изделий и размещение партии
- Требования к нагреву, контролю покрытия и одно-/двухстороннему нанесению
- Требования к автоматизации, документации, монтажу и пусконаладке
Обсудим конфигурацию Sigma
Пришлите техническое задание или описание изделия и технологической задачи. Поможем определить технологию, состав оборудования и требования к поставке, запуску и сопровождению.
Актуальные предложения и ключевые направления
