Два держателя в базовой комплектации
Купольный держатель Ø670 мм и планетарный держатель.
Оптические покрытия
ESNtech Lambda — установка нанесения оптических покрытий
Вакуумная установка для нанесения оптических покрытий электронно-лучевым и резистивным испарением с ионной очисткой и ассистированием.
Производитель — ESNtech
Подбор, поставка и сопровождение — Криосистемы
±1 %неравномерность на планетарном держателе
6 сенсоровкварцевый контроль
До +300 °Cнагрев подложек
Прецизионные оптические покрытия
Lambda предназначена для просветляющих, зеркальных, поляризующих и интерференционных покрытий, в том числе на крупногабаритных оптических деталях. Электронно-лучевое и резистивное испарение сочетаются с ионной очисткой и ассистированием.
Купольный держатель Ø670 мм и планетарный держатель входят в базовую комплектацию. Кварцевый контроль отслеживает толщину, а спектральный оптический контроль работает на пропускание или отражение в реальном времени. Предусмотрены керамические нагреватели, защита от запыления и модульная конструкция.
Как организован процесс
Контроль в реальном времени
Кварцевый контроль на 6 сенсоров и спектральный оптический контроль на пропускание или отражение.
Равномерность нанесения
±1 % на планетарном держателе и ±1,5 % на купольном.
Управление процессом
Автоматизированная работа по технологическим рецептам.
Характеристики установки Lambda
| Базовая камера | D-образная, условный диаметр 760 мм |
|---|---|
| Технология | Электронно-лучевое и резистивное испарение, ионная очистка и ассистирование |
| Материалы покрытий | ZnS, MgF₂, TiO₂, SiO₂, ZrO₂, Si, Ge, Al и др. |
| Предельный вакуум | < 1×10⁻⁴ Па |
| Макс. температура нагрева подложек | +300 °C |
| Держатели подложек | Купольный Ø670 мм и планетарный (в базовой комплектации) |
| Неравномерность нанесения | ±1 % (планетарный), ±1,5 % (купольный) |
| Контроль толщины | Кварцевый (6 сенсоров) и спектральный оптический в реальном времени на пропускание или отражение |
| Вакуумная система | Безмасляная с криопанелью (опционально) |
| Система управления | Автоматизированное управление по рецептам |
| Компонентная база | Ferrotec, Pfeiffer, SMC, WAGO и др. |
Состав оборудования и рабочие режимы согласуются под изделие и процесс. Производительность зависит от загрузки, рецепта и межоперационного обслуживания.
Исполнение под технологическую задачу
- Безмасляная вакуумная система с опциональной криопанелью.
- Другие размеры камеры — под технологическую задачу; размер исполнения требует согласования.
Что указать в запросе
Для предварительного подбора рекомендуем указать:
- Материал, диаметр и форма оптических деталей
- Расчётная структура покрытия и спектральные требования
- Допуск по равномерности, объём партии и требования к контролю
- Требования к автоматизации, документации, монтажу и пусконаладке
Обсудим конфигурацию Lambda
Пришлите техническое задание или описание изделия и технологической задачи. Поможем определить технологию, состав оборудования и требования к поставке, запуску и сопровождению.
Актуальные предложения и ключевые направления
