Схема «снизу-вверх»
Нанесение на вращающийся купол, диск или съёмные подложкодержатели.
Несколько методов осаждения
ESNtech Omicron — серия вакуумных установок нанесения покрытий
Серия вакуумных установок для формирования функциональных слоёв. Электронно-лучевое испарение, термическое испарение и магнетронное распыление доступны в рамках серии; конфигурация определяется задачей.
Производитель — ESNtech
Подбор, поставка и сопровождение — Криосистемы
3 методадоступны в рамках серии
2 стороныбез вскрытия камеры
До 45 кВтпотребляемая мощность
Универсальная платформа тонкоплёночного осаждения
Omicron — серия для формирования функциональных слоёв в электронике. Нанесение идёт по схеме «снизу-вверх» на вращающийся купол, диск или съёмные подложкодержатели. В рамках серии доступны электронно-лучевое испарение, термическое испарение и магнетронное распыление.
Метод или сочетание методов выбирается под технологию; наличие трёх методов в серии не означает одновременную установку всех источников в каждой машине. Перед нанесением применяются ионно-лучевая или ионно-плазменная очистка и нагрев. Переворот держателей позволяет обрабатывать две стороны без вскрытия камеры.
Как организован процесс
Подготовка поверхности
Ионно-лучевая или ионно-плазменная очистка и нагрев перед нанесением.
Двухсторонняя обработка
Механизм переворота держателей без вскрытия камеры.
Термические операции
Дегазация и вакуумная термическая обработка во время или после осаждения.
Оптический контроль
Контроль покрытия по детали или свидетелю.
Параметры и конфигурация серии Omicron
| Подготовка подложек | Ионно-лучевая очистка, нагрев |
|---|---|
| Нанесение слоёв | Электронно-лучевое испарение, термическое испарение, магнетронное распыление |
| Дополнительные технологии | Подача потенциала смещения на подложки, ионно-плазменное ассистирование, ионно-лучевое травление |
| Высоковакуумная откачка | Турбомолекулярный или криогенный насос |
| Форвакуумная откачка | Сухой механический насос |
| Электропитание | 380/220 В, 50/60 Гц |
| Потребляемая мощность, не более | 45 кВт |
| Габариты (Д×Ш×В), не более | 1300×1700×2170 мм |
| Масса, не более | 2000 кг |
| Типы держателей | Купол, диск или съёмные держатели с переворотом в одном вакуумном цикле |
Состав оборудования и рабочие режимы согласуются под изделие и процесс. Производительность зависит от загрузки, рецепта и межоперационного обслуживания.
Исполнение под технологическую задачу
- Метод осаждения и сочетание технологических источников подбираются под процесс.
- Подача потенциала смещения на подложки, ионно-плазменное ассистирование, ионно-лучевое травление.
- Высоковакуумная откачка турбомолекулярным или криогенным насосом.
Подготовка и контроль покрытия
Нагрев и термообработка
Нагрев применяется для дегазации и вакуумной термообработки покрытий во время или после осаждения. Камера оснащается системой охлаждения и нагрева.
Толщина и скорость осаждения
Набор кварцевых резонаторов используется для контроля толщины и скорости нанесения. Состав средств контроля и режим работы задаются выбранной технологией.
Что указать в запросе
Для предварительного подбора рекомендуем указать:
- Материалы подложек и наносимых слоёв
- Выбранный метод или сочетание методов осаждения
- Габариты изделий, двухсторонняя обработка и требования к терморежиму
- Требования к автоматизации, документации, монтажу и пусконаладке
Обсудим конфигурацию Omicron
Пришлите техническое задание или описание изделия и технологической задачи. Поможем определить технологию, состав оборудования и требования к поставке, запуску и сопровождению.
Актуальные предложения и ключевые направления
