Атомно-силовые микроскопы

uSTEP300

Единая платформа для неразрушающего контроля пластин диаметром до 300мм.

Ключевые параметры

Стабильность температуры при изменении окружающей температуры на 1°С: < 0.05 °С
Скорость позиционирования: 4 мм/с
Полоса частот: > 200 Гц
Эффективность подавления вибраций: – 40 дБ при частоте 70 Гц

Технические характеристики

XY-позиционер для перемещения образца	Разрешение датчиков позиционирования	25 нм
XY-позиционер для перемещения образца	Скорость позиционирования	4 мм/с
Столик для крепления образца с системой вакуумного удержания	Размеры образца	ø 25 – 300 мм ø 1 – 12’’
Пьезосканер с моторизированным подводом сканирующей головки к образцу	Поле сканирования	60 × 60 × 7 мкм
Оптическая система регистрации колебаний кантилевера	Длина волны излучения лазера	650 нм / 830 нм
	Фотодетектор	Четырехсекционный
Оптическая сканирующая головка	Объективы	10х, 50х
Возможность добавления системы регистрации спектров комбинационного рассеяния	«Раман-зонд» Источник возбуждающего излучения с λ = 405/532/633/785 нм Монохроматор с фокусным расстоянием 600 мм, спектральное разрешение ≤ 1 см-1 ПЗС камера
Пассивная виброизоляция	Материал	Габбро-диабаз
Пассивная виброизоляция	Полоса частот	> 200 Гц
*Активная виброизоляция**	Полоса частот	1 – 200 Гц
*Активная виброизоляция**	Эффективность подавления вибраций	– 40 дБ при частоте 70 Гц
Термостабилизация	Активная стабилизация температуры	ПИД-регуляция
Термостабилизация	Стабильность температуры при изменении окружающей температуры на 1°С	< 0.05 °С

* – в зависимости от комплектации поставки активная виброзащита может быть представлена платформой Park Systems Accurion Vario Basic 90 или Herzan AVI-200XL.

Измерительная схема и анализ поверхности

Профилометр uSTEP 300 — универсальная платформа с взаимодополняющими функциональными модулями, позволяющими совместить три разных типа профилометров в одном приборе. Таким образом, на базе uSTEP 300 могут быть реализованы как зондовые, так и бесконтактные способы анализа шероховатости, электрических и физико-химических свойств поверхности больших образцов (диаметр до 300 мм), и шероховатостью до 2.7 Å. uSTEP 300 оснащен подвижным столиком с точностью перемещения вплоть до 25 нм в латеральной плоскости, что позволяет получать трехмерные карты в автоматическом режиме в заданных областях.

конструкция профилометра uSTEP 300 позволяет работать с образцами толщиной до 20 мм и диаметром от 25 до 300 мм. Вакуумная фиксация пластин и встроенная виброизоляция на пневматических опорах снижают влияние механических вибраций.

Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ. Для дополнительного снижения вибрационного воздействия система может быть оснащена модулем активной виброзащиты, работающим в диапазоне частот 1–200 Гц с временем отклика порядка 0.5 мс.

Особенности и преимущества uSTEP 300

Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа.
Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 Å.
Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм.
Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм.
Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ.
Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле.
Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности.
Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости.
Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом.