Атомно-силовые микроскопы
NTEGRA Prima – НаноЛаборатория, поддерживающая все основные методики АСМ и СТМ. Может быть сконфигурирована для проведения узкоспециализированных исследований.
|
Сканирующая Зондовая Микроскопия
|
|||
|---|---|---|---|
| На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая) | |||
| Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/ | |||
|
Технические характеристики
|
Тип сканирования
|
||
| Сканирование образцом | Сканирование зондом* | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение – 5 мкм минимальное перемещение – 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | 0.15% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | ±1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
NTEGRA Prima- это многофункциональный АСМ для выполнения наиболее типичных задач в области сканирующей зондовой микроскопии. Устройство способно выполнять более 40 методик измерений, что позволяет анализировать физико-химические свойства поверхности с высокой точностью и разрешением. Можно проводить эксперименты на воздухе, а также в жидкостях и в контролируемой среде.
Слева-направо: скан 2нм х 2нм со сканером 1мкм; 3нм х 3нм со сканером 100мкм
Электроника нового поколения обеспечивает работу в высокочастотных (до 5 МГц) режимах. Эта функция является основной для работы с высокочастотными АСМ методами.
В NTEGRA Prima реализовано несколько типов сканирования: сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. В связи с этим система подходит для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомно-молекулярный уровень), а также для больших образцов и диапазона сканирования до 100x100x10 мкм.
Встроенные трехосевые датчики управления с обратной связью отслеживают реальное смещение сканера и компенсируют неизбежные недостатки пьезокерамики, такие как нелинейность, ползучесть и гистерезис. Датчики имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с замкнутым контуром управления на очень маленьких полях (до 10×10 нм). Это особенно ценно для проведения режимов наноманипуляции и литографии. NTEGRA Prima имеет встроенную оптическую систему с разрешением 1 мкм, которая позволяет получать изображения процесса сканирования в режиме реального времени.
Изображение углеродных нанотрубок на кремниевой подложке. Слева-направо: топография, распределение тока и жесткости. Размер скана 1мкм х 1мкм
Применение нерезонансной методики RNMA для картирования одновременно с топографией адгезионных свойств (слева) и модуля Юнга (справа). Образец полистирол в полибутадиене, размер изображения 5мкм х 5 мкм.
|
|
|
Оборудование поверено и внесено в Государственный реестр средств измерений (Госреестр СИ), номер записи 84445-22.
В запросе укажите NTEGRA PRIMA. Укажите материал и размеры образца, диапазон высот, измеряемые свойства и необходимость автоматического сканирования.
