Атомно-силовые микроскопы
NTEGRA Aura – АСМ для измерений морфологии, электрофизических и магнитных характеристик материалов в вакууме и контролируемой атмосфере.
|
Сканирующая Зондовая Микроскопия
|
|||
|---|---|---|---|
| Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/ | |||
|
Технические характеристики
|
Тип сканирования
|
||
| Сканирование образцом | Сканирование зондом* | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение – 5 мкм минимальное перемещение – 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | 0.15% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | ±1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
NTEGRA Aura – это Сканирующий Зондовый Микроскоп для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется минимально.
Таким образом, NTEGRA Aura представляет собой оптимальное соотношение затрат и качества: по сравнению с высоковакуумными комплексами, существенно меньшим оказывается время, необходимое для достижения необходимого уровня вакуума — вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! При этом весь комплекс оказывается компактным, относительно простым в эксплуатации и обслуживании.
Как представитель платформы NTEGRA, NTEGRA Aura оснащена емкостными датчиками обратной связи по всем трем координатным осям, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. За счет открытой архитектуры функциональность NTEGRA Aura может быть существенно расширена. Например, установкой нагревательного столика для образца до до 150 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С.
|
|
|
Оборудование поверено и внесено в Государственный реестр средств измерений (Госреестр СИ), номер записи 84445-22.
В запросе укажите NTEGRA AURA. Укажите материал и размеры образца, диапазон высот, измеряемые свойства и необходимость автоматического сканирования.
