Затворы для отсечки участков вакуумной системы и исполнения с управляемым положением шибера. Подбор по рабочему давлению, размеру прохода, типу соединений, приводу и тепловой нагрузке.
Круглые и прямоугольные затворы, компактные и крупногабаритные исполнения, регулирование положения и водяное охлаждение. Выберите направление по задаче вашей установки.
Шиберный затвор перекрывает проход между участками системы. Его устанавливают между камерой и откачной линией, в технологических трактах и узлах, которым требуется периодическая изоляция для обслуживания или смены режима.
Отсечное исполнение работает в положениях «открыт / закрыт». Регулируемые затворы позволяют задавать промежуточное положение шибера; возможность дросселирования должна быть предусмотрена конструкцией и системой управления.
Рабочий вакуум, натекание, допустимый перепад и температура определяются корпусом, уплотнениями и приводом. Наличие CF-фланца само по себе не делает весь затвор пригодным для любого сверхвысоковакуумного процесса.
Сначала определяют функцию затвора и условия работы, затем размер, фланцы, привод и состав управления. Комплектацию и рабочие пределы согласуют для точного обозначения изделия.
Круглые затворы для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных задач. Каталожные размеры DN63–630; крупногабаритные исполнения — вплоть до DN1320.
Регулируемые затворы с управлением положением шибера. Подходят для задач, где требуется задавать степень открытия, а не только отсекать участок.
Компактная серия с соединениями KF/CF и ручным или пневматическим приводом. В каталожных исполнениях DN25–50 высота достигает примерно 327 мм.
Исполнения DN1600–3000 с электроприводом для крупных вакуумных установок. Конструкция и монтаж учитывают массу узла и нагрузку на присоединения.
Охлаждаемые HV-затворы для нагруженных теплом узлов, в том числе вакуумных печей. Предусмотрены ручные и пневматические исполнения.
Затворы с прямоугольным проходом для технологических установок, включая полупроводниковые процессы. Размер проёма и расположение привода согласуют с компоновкой оборудования.
Сопоставьте главную задачу с конструкцией. Температурные пределы, герметичность и допустимые перепады уточняют по модели и выбранному уплотнению.
Таблицу можно прокрутить вправо. При работе с клавиатуры используйте стрелки.
| Серия | Когда выбирать | Что проверить |
|---|---|---|
| UHV | Изоляция узлов, требующих высокого или сверхвысокого вакуума; DN63–630 и крупные исполнения до DN1320. | Материалы, уплотнение, натекание, прогрев и доступные присоединения. |
| Шаговый привод | Задание промежуточного положения шибера для регулирования. | Драйвер/контроллер, обратная связь, повторяемость и допустимость дросселирования. |
| Компактные UHV | Ограниченное место для установки, небольшое проходное сечение, KF/CF. | Монтажные размеры, доступ к приводу и сервисное пространство. |
| Крупные HV | Большой круглый проход DN1600–3000 в крупной вакуумной системе. | Масса, опоры, перепад на шибере, скорость перемещения и монтажная ориентация. |
| Охлаждаемые HV | Повышенная тепловая нагрузка на вакуумный узел. | Тепловой баланс, параметры воды, температурные ограничения и блокировки. |
| Прямоугольные | Прямоугольный проём и компоновка технологической камеры. | Размер прохода, сопряжение, механизм перемещения, требования к частицам. |
Рабочий диапазон вакуума и допустимый перепад при открывании — разные параметры. До команды на движение проверяют давление с обеих сторон шибера и необходимость выравнивания.
Натекание через закрытый затвор оценивают отдельно от наружной герметичности корпуса и фланцев.
Рабочая температура, допустимый прогрев и условия в открытом или закрытом положении могут различаться. Проверяют наиболее чувствительные детали: уплотнения, привод и датчики.
Водяное охлаждение не означает, что затвор допустимо нагревать до температуры печи. Параметры охлаждения входят в спецификацию.
Для автоматизации согласуют питание или пневмогаз, сигналы положения, время срабатывания и алгоритм при потере ресурсов. Промежуточное положение требует соответствующего регулируемого исполнения.
Количество импульсов управления двигателем не равно точности положения шибера или точности регулирования давления.
Предусматривают доступ к крепежу, приводу и обслуживаемым уплотнениям. Для крупных затворов рассчитывают опоры и исключают недопустимые нагрузки от трубопровода.
Нужны согласованная ориентация, чистая сборка, периодичность осмотров и порядок подготовки узла к ремонту.
Для новой системы приложите схему вакуумного тракта. Для замены — маркировку установленного изделия, его чертёж и параметры управления.
| Данные | Что указать |
|---|---|
| Задача | Отсечка, изоляция для обслуживания или регулирование; место затвора в системе. |
| Давление | Рабочий и предельный вакуум, давление с обеих сторон, перепад при открывании и закрывании. |
| Среда | Газы, пары, агрессивные компоненты, частицы и возможность конденсации. |
| Проход | Номинальный диаметр либо ширина и высота прямоугольного проёма. |
| Фланцы | Тип и размер присоединений, ответные детали, монтажная длина и чертёж. |
| Натекание | Допустимые значения для корпуса и закрытого шибера, пробный газ и метод проверки. |
| Нагрев | Рабочая температура, прогрев, тепловая нагрузка и доступные параметры охлаждающей воды. |
| Привод | Ручное или автоматическое управление, питание/пневмогаз, сигналы положения и блокировки. |
| Режим | Частота циклов, время срабатывания, допустимость промежуточных положений и поведение при отказе. |
| Монтаж | Ориентация, место для привода и демонтажа, масса, опоры и допустимые нагрузки. |
| Документы | Паспорт, инструкция, чертежи, протоколы испытаний, состав запасных частей и сроки поставки. |
Отсечной затвор предназначен для открытия и перекрытия прохода. Регулируемое исполнение позволяет задавать положение шибера между крайними точками. Возможность длительной работы в промежуточном положении и алгоритм регулирования подтверждают по конструкции и документации.
Нужно соблюдать предел для выбранной модели и направления перепада. Превышение создаёт дополнительную нагрузку на шибер и привод. При необходимости предусматривают выравнивание давления и блокировку команды открытия.
Нужно проверить весь затвор: внутренние уплотнения, материалы, натекание, газовыделение и возможность прогрева. Фланец определяет только присоединение. Требуемые условия фиксируют в спецификации точного исполнения.
Это ориентир для отдельных каталожных исполнений, а не монтажный размер всех компактных затворов. При выборе проверяют полный чертёж, тип привода, фланцы и пространство для обслуживания.
Тепловая нагрузка, допустимые температуры деталей, температура и доступный расход воды, требования к её качеству, давление и схема подключения. Дополнительно согласуют контроль подачи воды и действия при потере охлаждения.
Проверяют проход, фланцы, монтажную длину, ориентацию, привод и сигналы управления. Совпадение номинального диаметра не гарантирует взаимозаменяемость. Приложите обозначение и чертёж установленного узла.
Передайте рабочие параметры или данные заменяемого узла. Инженер поможет выбрать серию, согласовать присоединения, привод и документы для поставки.
Схему линии, давление и перепад, размер прохода, тип фланцев, среду, температуру и требования к приводу. Для замены — фото маркировки и чертёж.
