Точное управление положением заслонки
Затворы этой серии рассчитаны на задачи, в которых требуется точное пошаговое управление положением заслонки в условиях ультравысокого вакуума.
Оборудование востребовано в прецизионных технологических процессах, включая ионное травление, напыление, ALD и UHV-исследования.
Затворы совместимы с внешними контроллерами и могут работать в составе автоматизированных вакуумных комплексов.