SBC-12

SBC-12 – это бюджетное решение в линейке устройств для нанесения покрытий методом ионного напыления. Ионное напыление – это процесс кинетического выбивания атомов с поверхности твердой мишени за счёт передачи импульсов от ионов к атомам мишени при бомбардировке её поверхности ионами.

Устройство представляет из себя компактную настольную магнетронную систему напыления, имеющую стеклянную процессорную камеру, в которой располагается образец. Возможная рабочая среда камеры – аргон или смесь воздуха аргона (баллоны со смесью поставляются отдельно). SBC-12 имеет весь необходимый функционал, предназначенный для работы с образцами размером до 40мм. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Система блокировки вакуума рассчитана на значение 20 Па, при достижении которого система производит сброс линии давления с помощью установленного напускного клапана.

Система предназначена для предварительной подготовки непроводящих образцов к СЭМ сканированию (сканирование электронным микроскопом). Процесс пробоподготовки поверхности образца необходим для того, чтобы улучшить качество получаемых СЭМ изображений. Перед проведением сканирования, образец покрывают тонкой проводящей металлической пленкой для усиления вторичного электронного сигнала, получаемого с SE детектора СЭМ. Тонкий напыленный слой позволяет устранить заряд на поверхности образца, уменьшить вероятность термического повреждение образца при воздействии на него электронным пучком. Выход вторичных электронов с образца особенно хорошо достигается при использовании золота в качестве распыляемого материала.