Молекулярная откачка
Быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа направленный импульс. Статорные ступени направляют поток к выпуску. Результат зависит от газа, частоты вращения и давления на выходе.
Высокий вакуум · подбор системы
Подбираем турбомолекулярные насосы KYKY для аналитических приборов, исследовательских камер и технологических установок. Сопоставляем газовую нагрузку, рабочее давление, фланцы и условия монтажа, затем согласуем насос, контроллер и форвакуумную ступень как единый комплект.

Выберите направление, затем сопоставьте точные модели и условия подключения.
Диапазоны служат ориентиром внутри представленной линейки. Это не сравнительный рейтинг технологий и не характеристика всех насосов KYKY.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали.
| Направление | Скорость по N₂ | Задача | Ключевые условия |
|---|---|---|---|
| Приборные FF | 20–295 л/с | Компактные аналитические и научные приборы | Габариты, питание, вибрации, лёгкие газы |
| С масляной смазкой | 150–4500 л/с | Технологические и исследовательские установки | Система смазки, ориентация, обслуживание |
| С консистентной смазкой | 110–2000 л/с | Камеры, напыление, встраивание в комплексы | Исполнение подшипника, охлаждение, газовая нагрузка |
| Магнитный подвес CXF | 1280–3260 л/с | Процессы с требованиями к чистоте рабочей опоры | Контроллер подвеса, вода, продувка и магнитное окружение |
Турбомолекулярный насос создаёт высокий вакуум на стороне камеры, а форвакуумный насос отводит газ с его выхода.
Быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа направленный импульс. Статорные ступени направляют поток к выпуску. Результат зависит от газа, частоты вращения и давления на выходе.
Предельное давление насоса и рабочее давление установки — разные характеристики. Газовыделение материалов, натекание, технологический поток и проводимость соединений определяют результат в камере.
| Что согласовать | Инженерный смысл |
|---|---|
| Газ и режим процесса | N₂, Ar, He, H₂, смеси, пары; непрерывная подача или импульсная нагрузка. Скорости откачки и степени сжатия сравнивают для одного газа. |
| Давление и газовая нагрузка | Рабочее и требуемое базовое давление, объём камеры, поток газа, частота открытия и время восстановления вакуума. |
| Вакуумные соединения | Размер и тип входного фланца, уплотнение, длина и сечение тракта. Узкая подводящая линия ограничивает эффективную скорость откачки. |
| Форвакуумная ступень | Давление на выпуске ТМН и скорость предварительного насоса при реальной нагрузке; требование к отсутствию масла в системе. |
| Охлаждение и размещение | Воздух или вода, температура помещения, монтажное положение, вибрации, внешнее магнитное поле и доступ для обслуживания. |
| Управление и комплект | Исполнение контроллера, источник питания, кабели, сигналы готовности и аварии, блокировки, клапаны и измерение давления. |
Для масс-спектрометрии, электронной микроскопии и анализа поверхности важны габариты, стабильность вакуума, вибрации и работа с лёгкими газами. Приборная серия рассматривается вместе с компоновкой прибора.
Для напыления, нанесения покрытий и других процессов с газовой подачей оценивают поток при рабочем давлении, теплоотвод и состояние газа на выпуске. Химическую совместимость задают для конкретного исполнения.
При замене действующего ТМН сопоставляем полный индекс модели, фланец, контроллер, кабель, охлаждение и алгоритм запуска. Одинаковая номинальная скорость не означает взаимозаменяемость.
Получаем ТЗ, схему камеры и сведения о газах, нагрузке, давлении и действующем оборудовании.
Выбираем тип опоры и модель, проверяем фланцы, форвакуум, охлаждение и управление.
Согласуем контроллер, питание, кабели, арматуру, документацию и условия заказа.
Обсуждаем монтаж, пусконаладочные работы, обучение и сервис в объёме проекта.
Приборные насосы выделены по задаче встраивания. Остальные группы различаются устройством опоры ротора: жидкая масляная смазка, консистентная смазка или магнитный подвес. Наличие встроенного контроллера и тип охлаждения относятся к конкретной модели.
Для предварительного выбора — только если газ действительно азот. Для гелия и водорода также важна степень сжатия, для технологической подачи — допустимая газовая нагрузка и охлаждение. Проводимость тракта учитывают отдельно.
Да. ТМН работает с предварительным разрежением на выпуске. Форвакуумную ступень подбирают по рабочему потоку, допустимому давлению на выходе ТМН и требованиям процесса к чистоте.
Монтажное положение зависит от конструкции опоры и конкретного исполнения. Для ряда приборных и консистентно смазываемых моделей изготовитель допускает произвольный угол; переносить это условие на весь каталог нельзя.
Тип опоры не определяет химическую стойкость всех деталей. Согласуются состав и температура газа, покрытия, защитная продувка, конденсация и рабочие ограничения выбранного исполнения.
Пришлите полное обозначение и фотографии насоса, контроллера и соединений. Помимо скорости откачки сравниваются фланцы, габариты, форвакуум, охлаждение и электрическая совместимость.
Инженерный подбор · комплектация · сопровождение
Пришлите ТЗ или параметры действующей установки. Подготовим подбор модели и состава оборудования с учётом газа, давления, монтажа и управления.