Встраивание в ограниченный объём
Компактное исполнение и интегрированные решения управления уменьшают число внешних узлов. Вместе с насосом согласуют питание, охлаждение, монтажный фланец и доступ к разъёмам.
KYKY · компактная серия FF
Турбомолекулярные насосы KYKY для научных и аналитических приборов
Компактные турбомолекулярные насосы FF для масс-спектрометров, электронных микроскопов, исследовательских камер и других приборных систем. Четыре модели отличаются скоростью откачки по рабочему газу, входным фланцем и требованиями к форвакууму.
20–295 л/сСкорость откачки по N₂
DN40–DN100Входные фланцы по модели
24 В DCВарианты прямого питания
4 моделиС отдельными параметрами по газам
Сравнение моделей и подробные характеристики
Скорость откачки указана для N₂, He, H₂ и Ar отдельно. Индекс модели не заменяет значение скорости: например, FF-100/300 — 295 л/с по азоту.
Прокрутите таблицу по горизонтали; нажмите на модель, чтобы раскрыть её параметры.
| Модель | N₂, л/с | He, л/с | H₂, л/с | Ar, л/с | Входной фланец |
|---|---|---|---|---|---|
| FF-40/25 | 20 | 18 | 11 | 25 | DN40 ISO-KF |
| FF-63/80 | 82 | 87 | 58 | 44 | DN63 CF / DN63 ISO-K |
| FF-100/150 | 140 | 130 | 75 | 145 | DN100 CF / DN100 ISO-K |
| FF-100/300 | 295 | 250 | 200 | 305 | DN100 CF / DN100 ISO-K |
FF-40/25N₂: 20 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN40 ISO-KF |
|---|---|
| Выходной фланец | DN16 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 20He: 18H₂: 11Ar: 25 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁶He: 6×10²H₂: 10²Ar: 10⁶ |
| Предельное давление, Па | ≤ 5×10⁻⁴ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 500 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 1000 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 23He: 18H₂: 12Ar: 28 |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Время запуска, мин | ≤3 |
| Охлаждение | Воздух |
| Расход воды, л/мин | — |
| Температура воды, °C | — |
| Питание | 24 В DC / 220 В AC — по составу привода |
| Максимальная мощность, Вт | 70 |
| Контроллер / блок управления | TD-25/TCP-100/TC-100 |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 0.5–1 |
| Масса, кг | 3 |
FF-63/80N₂: 82 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN63 CF / DN63 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN16 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 82He: 87H₂: 58Ar: 44 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10³H₂: 10³Ar: 10⁸ |
| Предельное давление, Па | CF: 8×10⁻⁷ / ISO-K: 7×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 200 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 650 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 35He: 30H₂: 19Ar: 38 |
| Частота вращения, об/мин | 72000 |
| Время запуска, мин | ≤3 |
| Охлаждение | Вода или воздух |
| Расход воды, л/мин | 1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 24 В DC / 220 В AC — по составу привода |
| Максимальная мощность, Вт | 90 |
| Контроллер / блок управления | TD-80/TCP-100/TC-100 |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 0.5–2 |
| Масса, кг | 4.8 (ISO-K) 6.5 (CF) |
FF-100/150N₂: 140 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN100 CF / DN100 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 140He: 130H₂: 75Ar: 145 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁷He: 6×10³H₂: 10³Ar: 10⁷ |
| Предельное давление, Па | CF: 2×10⁻⁷ / ISO-K: 2×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 220 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 500 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 135He: 80H₂: 52Ar: 143 |
| Частота вращения, об/мин | 51000 |
| Время запуска, мин | ≤3 |
| Охлаждение | Вода или воздух |
| Расход воды, л/мин | 1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 24 В DC / 220 В AC — по составу привода |
| Максимальная мощность, Вт | 90 |
| Контроллер / блок управления | TD-150/TCP-100/TC-100 |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 2 |
| Масса, кг | 6.0 (ISO-K) 8.6 (CF) |
FF-100/300N₂: 295 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN100 CF / DN100 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 295He: 250H₂: 200Ar: 305 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁶H₂: 10⁵Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 5×10⁻⁷ / ISO-K: 2.5×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 500 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 700 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 120He: 50 |
| Частота вращения, об/мин | 51000 |
| Время запуска, мин | ≤4 |
| Охлаждение | Вода или воздух |
| Расход воды, л/мин | 1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 24 В DC / 220 В AC — по составу привода |
| Максимальная мощность, Вт | 220 |
| Контроллер / блок управления | TD-300/TCP-240/TC-100 |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 1–3 |
| Масса, кг | 8.5 (ISO-K) 11 (CF) |
Компактная откачка для приборного вакуума
Откачка разных газов
Для аналитики недостаточно номинала по азоту: водород и гелий имеют другие скорости откачки и коэффициенты сжатия. Газовый состав учитывают вместе с требуемым фоновым давлением.
Что согласовать при встраивании в прибор
| Что согласовать | Инженерный смысл |
|---|---|
| Вакуумная камера | Рабочее давление, объём, газовыделение материалов, натекание, количество и размер откачиваемых объёмов. |
| Вход и выпуск | FF-40/25: вход DN40 ISO-KF; FF-63/80: DN63 CF или ISO-K; модели FF-100: DN100 CF или ISO-K. Выпуск DN16 или DN25 ISO-KF зависит от модели. |
| Предварительная откачка | Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса различается: 0,5–1 л/с для FF-40/25, 0,5–2 для FF-63/80, 2 для FF-100/150, 1–3 для FF-100/300. |
| Питание и управление | Для приборных исполнений предусмотрена работа от 24 В DC. Вариант сетевого источника, драйвера и сигнальных подключений выбирают по точной модели и комплектации. |
| Теплоотвод | FF-40/25 использует воздушное охлаждение; для остальных трёх моделей предусмотрены водяное или воздушное исполнения. Условия водоснабжения приведены в характеристиках. |
| Механическая интеграция | Проверяют установочное пространство, массу выбранного фланцевого исполнения, допустимую ориентацию, крепление и требования прибора к вибрациям. |
Приборные задачи, для которых выбирают серию FF
Масс-спектрометрия
Подбор по газовой нагрузке источника ионов, составу остаточного газа и допустимому фону. При нескольких вакуумных объёмах схему откачки рассматривают целиком.
Электронная микроскопия и анализ поверхности
Учитывают требуемое давление в аналитическом объёме, вибрации и раздельные режимы запуска насоса и прибора.
Исследовательские и напылительные камеры
Оценивают подачу газа, частоту разгерметизации, проводимость подводящего тракта и восстановление вакуума после цикла.
Как читать характеристики приборной серии
- Предельное давление приведено для соответствующего фланца и уплотнения; оно не является обещанием давления в собранном приборе.
- Давление непрерывной работы на выпуске и максимальное давление форвакуума — разные пределы, их нельзя заменять друг другом.
- Газовая нагрузка в sccm и скорость откачки в л/с описывают разные величины.
- Насос, драйвер, источник питания и кабель согласуются как комплект. Совпадение разъёма само по себе не подтверждает совместимость.
- Параметры исполнений DFF и моделей с индексом E не подставляют вместо характеристик указанных здесь FF.
Данные для подбора и OEM-интеграции
- Тип прибора, рабочее давление и требования к остаточному газу.
- Состав и расход газов, объём камеры и режимы газовой подачи.
- Чертёж монтажного места, фланец и доступное пространство.
- Имеющийся форвакуумный насос и схема выпуска.
- Питание, охлаждение, управляющие сигналы и последовательность запуска.
- Для замены — полный индекс, контроллер и фотографии подключений.
Вопросы по подбору и эксплуатации
FF-63/80 и DFF-63/80 — один насос?
Нет. Это разные обозначения и конструкции. Характеристики DFF нельзя переносить на FF, даже при одинаковом размере входного фланца.
Какой насос выбрать для гелия?
Сравниваются скорость откачки по He, коэффициент сжатия и давление на выпуске при заданном потоке. Затем проверяется, обеспечивает ли выбранная система нужное давление в приборе.
Можно ли запитать насос от 24 В DC?
Изготовитель предусматривает такие конфигурации приборной серии. Требования к источнику, драйверу и соединениям фиксируются для выбранной модели; сетевой блок питания относится к отдельной комплектации.
Нужно ли водяное охлаждение?
FF-40/25 имеет воздушное охлаждение. Для остальных моделей есть варианты с воздухом или водой; выбор зависит от исполнения, газовой нагрузки и условий размещения.
Можно ли сравнивать время запуска с временем откачки камеры?
Нет. Запуск характеризует выход ротора на режим. Откачка камеры дополнительно зависит от её объёма, газовыделения, предварительной откачки и проводимости соединений.
Что входит в подбор замены?
Проверка модели, фланца, габаритов, массы, форвакуумной ступени, охлаждения, контроллера и кабелей. Для аналитического прибора также учитывают требования к фоновому газу и вибрациям.
Инженерный подбор · комплектация · сопровождение
Подберём насос для вашей приборной схемы
Пришлите параметры вакуума, газовую нагрузку и чертёж монтажного места. Согласуем модель FF, охлаждение, питание и состав комплекта для интеграции.
Актуальные предложения и ключевые направления
