Смазка удерживается в подшипниковом узле
Консистентный материал состоит из базового масла, загустителя и присадок. В опоре он обеспечивает смазывание высокоскоростного подшипника без системы циркуляции жидкого масла.
KYKY FF · смазываемые подшипниковые опоры
Турбомолекулярные насосы KYKY с консистентной смазкой
Насосы FF с консистентной смазкой подшипников для высоковакуумных камер и технологических систем. В группе представлены компактный FF-100/110, исполнения DN160 и DN200, а также FF-250/2000. Подбор учитывает газ, давление на выпуске, охлаждение и монтажную схему.
110–2000 л/сСкорость откачки по N₂
DN100–DN250Входные фланцы линейки
Вода / воздухВариант определяется исполнением
FFПолный индекс для заказа и замены
Оборудование линейки
Сравнение моделей и подробные характеристики
Серия включает FF-100/110 со скоростью 110 л/с по азоту, поэтому диапазон всей группы начинается с 110 л/с. Буквы F и N входят в полное обозначение исполнения.
Прокрутите таблицу по горизонтали; нажмите на модель, чтобы раскрыть её параметры.
| Модель | N₂, л/с | He, л/с | H₂, л/с | Ar, л/с | Входной фланец |
|---|---|---|---|---|---|
| FF-100/110 | 110 | 100 | 50 | 100 | DN100 CF / DN100 ISO-K |
| FF-160/700 | 700 | 580 | 260 | 680 | DN160 CF / DN160 ISO-K |
| FF-160/700F | 700 | 580 | 260 | 680 | DN160 CF / DN160 ISO-K |
| FF-160/700N | 700 | 580 | 260 | 680 | DN160 CF / ISO-K |
| FF-200/1300 | 1300 | 1000 | 480 | 1250 | DN200 CF / DN200 ISO-K |
| FF-200/1300F | 1300 | 1000 | 480 | 1250 | DN200 CF / DN200 ISO-K |
| FF-200/1300N | 1300 | 1000 | 480 | 1250 | DN200 CF / ISO-K |
| FF-250/2000 | 2000 | 1600 | 740 | 1900 | DN250 CF / DN250 ISO-K |
FF-100/110N₂: 110 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN100 CF / DN100 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 110He: 100H₂: 50Ar: 100 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10²H₂: 5×10²Ar: 10⁸ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 200 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 300 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 300He: 240H₂: 180Ar: 110 |
| Частота вращения, об/мин | 42300 |
| Время запуска, мин | ≤3 |
| Охлаждение | Вода; воздух при температуре среды 5–32 °C |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 220 В AC ±22 В |
| Максимальная мощность, Вт | ≤300 |
| Контроллер / блок управления | FD-110B |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 2 |
| Масса, кг | 8 |
FF-160/700N₂: 700 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / DN160 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 700He: 580H₂: 260Ar: 680 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁷H₂: 6×10⁶Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁸ / ISO-K: 6×10⁻⁷ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 300 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 550 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 1400He: 1000H₂: 800Ar: 550 |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4–8 |
| Масса, кг | 19 (LF) 20.5 (CF) |
FF-160/700FN₂: 700 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / DN160 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 700He: 580H₂: 260Ar: 680 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁷H₂: 6×10⁶Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁸ / ISO-K: 6×10⁻⁷ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 300 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 550 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 1400He: 1000H₂: 800Ar: 550 |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода или воздух |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4–8 |
| Масса, кг | 23 (LF)24.5 (CF) |
FF-160/700NN₂: 700 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 700He: 580H₂: 260Ar: 680 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁷H₂: 10⁵Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁸ / ISO-K: 6×10⁻⁷ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 300 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | 550 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1000H₂: 800Ar: 550 |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 220 В AC ±22 В |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4 ~ 8 |
| Масса, кг | 19 (LF) / 20.5 (CF) |
FF-200/1300N₂: 1300 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / DN200 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1300He: 1000H₂: 480Ar: 1250 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 6×10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 600 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 2500He: 1850H₂: 1450Ar: 950 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 29 (LF) 31 (CF) |
FF-200/1300FN₂: 1300 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / DN200 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1300He: 1000H₂: 480Ar: 1250 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 6×10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 600 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 2500He: 1850H₂: 1450Ar: 950 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода или воздух |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 33 (LF) 35 (CF) |
FF-200/1300NN₂: 1300 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1300He: 1000H₂: 480Ar: 1250 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | 600 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1850H₂: 1450Ar: 950 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 29 (LF) / 31 (CF) |
FF-250/2000N₂: 2000 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 CF / DN250 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN50 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 2000He: 1600H₂: 740Ar: 1900 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10⁴H₂: 6×10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 200 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 650 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 3200He: 2400H₂: 1850Ar: 1200 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 32 (LF) 35 (CF) |
Консистентная смазка в узле ротора
Откачной тракт остаётся частью общей системы
Тип смазки опоры не делает всю установку автоматически безмасляной. Для чувствительных процессов учитывают форвакуумный насос, материалы, пары и возможный обратный перенос загрязнений.
Как различаются исполнения FF
| Что согласовать | Инженерный смысл |
|---|---|
| FF-100/110 | Компактный вариант с входом DN100 CF/ISO-K, выпуском DN25 и скоростью 110 л/с по N₂. Контроллер FD-110B подбирается вместе с насосом. |
| FF-160/700 и /700F | Оба исполнения имеют 700 л/с по N₂; вариант F отличается условиями охлаждения и массой. Вход DN160, выпуск DN40. |
| FF-200/1300 и /1300F | Скорость по N₂ — 1300 л/с; вариант F допускает воздушное или водяное охлаждение. Масса и условия размещения различаются. |
| FF-250/2000 | Скорость по N₂ — 2000 л/с; вход DN250, выпуск DN50, водяное охлаждение и отдельный подбор форвакуумной ступени. |
| Исполнения N | FF-160/700N и FF-200/1300N согласуются по полному обозначению. Питание и параметры базовой модели не подставляются автоматически. |
| Ориентация | Для перечисленных базовых моделей и F-исполнений изготовитель предусматривает монтаж под произвольным углом. Требования к креплению, подключению воды и сервисному доступу сохраняются. |
Что влияет на устойчивый рабочий режим
- Газовая нагрузка определяется отдельно для N₂, He, H₂ и Ar; сравнение только по азоту не заменяет подбор для лёгких газов.
- В непрерывном режиме учитывают допустимое давление на выпуске ТМН и работу форвакуумного насоса под нагрузкой.
- Водяное или воздушное охлаждение выбирают по модели и условиям размещения. Разрешённый для одного F-исполнения вариант не распространяется на остальные.
- Консистентная смазка не означает неограниченный ресурс. Обслуживание назначают по руководству и реальному режиму эксплуатации.
- Наличие частиц, конденсируемых паров и агрессивных компонентов требует отдельного согласования защиты насоса.
Применения и условия подбора
Напыление и вакуумная металлизация
Для нанесения покрытий оценивают технологический поток, газ, теплоотвод и защиту от частиц. Важны параметры всей вакуумной цепочки.
Полупроводники, ITO и Low-E покрытия
Состав газов, продукты реакции, конденсация и требования к чистоте определяют исполнение и защитные меры. Тип подшипника не заменяет проверку химической совместимости.
Научные камеры и контроль утечек
Учитывают требуемое базовое давление, откачку гелия, вибрации и режимы открытия камеры. Для ускорительных и плазменных систем отдельно задают среду и магнитное окружение.
Исходные данные для инженерного подбора
- Назначение процесса, состав и расход газов.
- Рабочее и базовое давление, объём и фланец камеры.
- Непрерывный или циклический режим, частота разгерметизации.
- Форвакуумный насос и схема выпуска.
- Ориентация, охлаждение, питание и управление.
- Для замены — индекс модели, контроллер, кабели и фотографии соединений.
Вопросы по подбору и эксплуатации
Почему диапазон начинается со 110 л/с?
В представленной группе есть FF-100/110 со скоростью 110 л/с по N₂. Значение 700 л/с относится к подгруппе FF-160/700, а не ко всей линейке.
Консистентная смазка означает отсутствие масла?
Нет. Она содержит базовое масло, удерживаемое загустителем. Это другой способ смазывания подшипника, а не подтверждение отсутствия масла во всех узлах вакуумной системы.
Чем отличаются версии F?
Для показанных FF-160/700F и FF-200/1300F предусмотрено воздушное или водяное охлаждение; также различается масса. Остальные условия проверяются по полному обозначению.
Можно ли работать без форвакуумной ступени?
Нет. Предварительный насос обеспечивает допустимое давление на выпуске ТМН. Его выбирают для технологического потока с учётом режима и допустимого загрязнения.
Как часто обслуживают подшипники?
Регламент определяется конкретной моделью и условиями эксплуатации. Универсальный срок в годах для всех насосов и процессов не назначается.
Для гелия достаточно выбрать более высокую скорость по азоту?
Нет. Нужны скорость по He, степень сжатия гелия и допустимый форвакуум при заданной нагрузке. Размер входа и проводимость линии также влияют на результат.
Инженерный подбор · комплектация · сопровождение
Подберём FF под газовую нагрузку и компоновку
Пришлите параметры процесса и монтажную схему. Сопоставим модели, охлаждение, форвакуумную ступень и управление, затем согласуем состав поставки.
Актуальные предложения и ключевые направления
