Смазка и теплоотвод опоры
Жидкая смазка снижает трение в подшипниковом узле. Тип масла, уровень, порядок замены и положение насоса задаются руководством конкретного исполнения.
KYKY · жидкая смазка опоры ротора
Турбомолекулярные насосы с масляной смазкой KYKY
Турбомолекулярные насосы F и FF с масляной смазкой подшипников для высоковакуумных установок. Линейка включает компактный F-100/150 и крупные исполнения с входом DN400. Модель выбирают по газу, нагрузке, охлаждению и условиям эксплуатации опоры.
150–4500 л/сДиапазон по N₂ представленных моделей
DN100–DN400Размеры входных фланцев
F / FFПолный индекс важен при подборе
Вода / воздухРежим охлаждения зависит от модели
Оборудование линейки
Сравнение моделей и подробные характеристики
Сравните скорости для своего газа и присоединение к камере. Исполнения C, F, N и G показаны отдельно: свойства базовой модели не делают их автоматически взаимозаменяемыми.
Прокрутите таблицу по горизонтали; нажмите на модель, чтобы раскрыть её параметры.
| Модель | N₂, л/с | He, л/с | H₂, л/с | Ar, л/с | Входной фланец |
|---|---|---|---|---|---|
| F-100/150 | 150 | 100 | 50 | 130 | DN100 CF / DN100 ISO-K |
| FF-160/620 | 600 | 380 | 240 | 580 | DN160 CF / DN160 ISO-K |
| FF-160/620C | 600 | 380 | 240 | 580 | DN160 CF / ISO-K |
| FF-160/620F | 600 | 380 | 240 | 580 | DN160 CF / ISO-K |
| FF-160/620N | 600 | 380 | 240 | 580 | DN160 CF / ISO-K |
| FF-200/1200 | 1200 | 750 | 480 | 1160 | DN200 CF / DN200 ISO-K |
| FF-200/1200C | 1200 | 750 | 480 | 1160 | DN200 CF / ISO-K |
| FF-200/1200G | 900 | 560 | 360 | 870 | DN200 CF / ISO-K |
| F-200/1200N | 1200 | 750 | 480 | 1160 | DN200 CF / ISO-K |
| F-250/1500 | 1500 | 1100 | 550 | 1350 | DN250 CF / DN250 ISO-K |
| F-250/1500N | 1500 | 1100 | 550 | 1350 | DN250 CF / ISO-K |
| FF-250/1600G | 1600 | 1550 | 1000 | 640 | DN250 CF / DN250 ISO-K |
| F-400/3500B | 3500 | 2750 | 1300 | 3300 | DN400 ISO-K |
| F-400/4500 | 4500 | 3200 | 2000 | 4200 | DN400 ISO-K |
F-100/150N₂: 150 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN100 CF / DN100 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 150He: 100H₂: 50Ar: 130 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁶He: 10²H₂: 5×10²Ar: 10⁶ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 200 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 300 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 300He: 240H₂: 180Ar: 110 |
| Частота вращения, об/мин | 42300 |
| Время запуска, мин | ≤3 |
| Охлаждение | Вода; воздух при температуре среды 5–32 °C |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤300 |
| Контроллер / блок управления | FD-110A |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 2 |
| Масса, кг | 8 |
FF-160/620N₂: 600 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / DN160 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 600He: 380H₂: 240Ar: 580 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 6×10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 350 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 1200He: 880H₂: 700Ar: 450 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4–8 |
| Масса, кг | 29 (LF) 30.5 (CF) |
FF-160/620CN₂: 600 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 600He: 380H₂: 240Ar: 580 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁵H₂: 10⁴Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁸ / ISO-K: 6×10⁻⁷ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | 350 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 880H₂: 700Ar: 450 |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4~8 |
| Масса, кг | 29 (LF) / 30.5 (CF) |
FF-160/620FN₂: 600 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 600He: 380H₂: 240Ar: 580 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | 350 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 880H₂: 700Ar: 450 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода/воздух |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4~8 |
| Масса, кг | 29 (LF) / 30.5 (CF) |
FF-160/620NN₂: 600 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN160 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 600He: 380H₂: 240Ar: 580 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 240 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | 350 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 880H₂: 700Ar: 450 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 220 В AC ±22 В |
| Максимальная мощность, Вт | ≤500 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 4~8 |
| Масса, кг | 29 (LF) / 30.5 (CF) |
FF-200/1200N₂: 1200 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / DN200 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1200He: 750H₂: 480Ar: 1160 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 6×10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 400 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 500 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 2300He: 1700H₂: 1350Ar: 870 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 39 (LF) 41 (CF) |
FF-200/1200CN₂: 1200 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1200He: 750H₂: 480Ar: 1160 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 400 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1700H₂: 1350Ar: 870 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 39 (LF) / 41 (CF) |
FF-200/1200GN₂: 900 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 900He: 560H₂: 360Ar: 870 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 400 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1700H₂: 1350Ar: 870 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 39 (LF) / 41 (CF) |
F-200/1200NN₂: 1200 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1200He: 750H₂: 480Ar: 1160 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁹He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁹ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 400 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1700H₂: 1350Ar: 870 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Питание | 220 В AC ±22 В |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 39 (LF) / 41 (CF) |
F-250/1500N₂: 1500 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 CF / DN250 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN50 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1500He: 1100H₂: 550Ar: 1350 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10⁴H₂: 5×10³Ar: 10⁸ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 300 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 450 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 2400He: 1800H₂: 1400Ar: 900 |
| Частота вращения, об/мин | 21000 |
| Время запуска, мин | ≤8 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 60 (LF) 63 (CF) |
F-250/1500NN₂: 1500 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 CF / ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN50 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1500He: 1100H₂: 550Ar: 1350 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10⁴H₂: 10³Ar: 10⁸ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 300 |
| Газовая нагрузка, sccm | He: 1800H₂: 1400Ar: 900 |
| Частота вращения, об/мин | 21000 |
| Время запуска, мин | ≤8 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 60 (LF) / 63 (CF) |
FF-250/1600GN₂: 1600 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 CF / DN250 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN50 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1600He: 1550H₂: 1000Ar: 640 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸H₂: 5×10³ |
| Предельное давление, Па | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 200 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 650 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 2500He: 1850H₂: 1450Ar: 950 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤750 |
| Контроллер / блок управления | TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 15 |
| Масса, кг | 47 (LF) 50 (CF) |
F-400/3500BN₂: 3500 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN400 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN100 |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 3500He: 2750H₂: 1300Ar: 3300 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 10⁸He: 10³H₂: 5×10²Ar: 10⁸ |
| Предельное давление, Па | 2×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 100 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 300 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 5500He: 4000H₂: 3200Ar: 2100 |
| Частота вращения, об/мин | 13500 |
| Время запуска, мин | ≤18 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤1100 |
| Контроллер / блок управления | FD-III, TCDP-III |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 30 |
| Масса, кг | 130 |
F-400/4500N₂: 4500 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN400 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN100 |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 4500He: 3200H₂: 2000Ar: 4200 |
| Коэффициент сжатия | N₂: 5×10⁷He: 10³H₂: 5×10²Ar: 5×10⁷ |
| Предельное давление, Па | 2×10⁻⁶ |
| Непрерывный предел на выпуске, Па | 100 |
| Максимальное давление форвакуума, Па | N₂: 300 |
| Газовая нагрузка, sccm | N₂: 5500He: 4000H₂: 3200Ar: 2100 |
| Частота вращения, об/мин | 15300 |
| Время запуска, мин | ≤10 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | ≥1 |
| Температура воды, °C | ≤25 |
| Максимальная мощность, Вт | ≤1100 |
| Контроллер / блок управления | FD-III |
| Рекомендуемый форнасос, л/с | 30 |
| Масса, кг | 118 |
Масляная смазка относится к подшипникам
Газ откачивает турбомолекулярная ступень. Масло обслуживает опору вращающегося ротора и не является рабочей жидкостью откачки, как в маслозаполненном пластинчато-роторном насосе.
Чистота всей вакуумной системы
Потенциальные загрязнения оценивают для всей цепочки: камеры, ТМН, форвакуумного насоса и выпускного тракта. Для чувствительного процесса отдельно согласуют допустимые пары и защиту от обратного потока.
Условия длительной работы
| Что согласовать | Инженерный смысл |
|---|---|
| Монтажное положение | Подбирают с учётом системы смазки. Возможность произвольной ориентации консистентно смазываемых насосов не переносится на эту группу. |
| Газовая подача | Проверяют непрерывный режим на выпуске ТМН и газовую нагрузку по нужному газу. Кратковременный максимум не заменяет непрерывный рабочий предел. |
| Охлаждение | Большинство представленных моделей использует воду. Для F-100/150 допускается воздушное охлаждение при температуре среды 5–32 °C; вариант FF-160/620F подбирают отдельно. |
| Предварительная откачка | Форвакуумная ступень должна сохранять допустимое давление на выпуске при технологическом потоке. Подбор ведут по рабочей точке, а не только по паспортному номиналу. |
| Обслуживание | Согласуют доступ к смазочному узлу, расходные материалы, контроль состояния и остановочный цикл. Единый межсервисный интервал для всех моделей не назначается. |
| Защита установки | Предусматривают последовательность клапанов, контроль давления и охлаждения, блокировки запуска и регламент напуска после останова. |
Применение в технологических и исследовательских установках
Нанесение покрытий
Для вакуумной металлизации и напыления выбирают скорость по рабочему газу, допустимый поток, размер входа и теплоотвод. При образовании частиц согласуют защиту откачного тракта.
Исследовательские камеры
Подбор включает базовое давление, газовыделение материалов камеры, цикличность работы и требования к углеводородному фону.
Модернизация действующей системы
При замене учитывают не только диапазон скорости, но и полный индекс F/FF, тип фланца, питание контроллера, кабель, охлаждение и условия смазки.
Полный индекс модели — часть технического задания
Обозначения FF-160/620C, FF-160/620F, FF-160/620N, FF-200/1200C, FF-200/1200G, F-200/1200N и F-250/1500N рассматриваются как отдельные исполнения. При заказе фиксируются характеристики именно выбранного индекса, фланец и состав управления.
- Не определяйте тип смазки только по буквам F или FF: серия и конструкция проверяются совместно.
- Не переносите питание одного контроллера на весь перечень совместимых блоков.
- Температуру процесса, пыль и химический состав газа согласуйте отдельно от номинальной скорости.
Что нужно для подбора или замены
- Рабочее давление, состав и расход газов, непрерывность процесса.
- Размер камеры, схема тракта, входной фланец и допустимое монтажное положение.
- Модель форвакуумного насоса и давление на выпуске под нагрузкой.
- Доступное водяное или воздушное охлаждение.
- Для замены — шильдик, контроллер, питание, кабели и схема управления.
- Требования к чистоте, документации и сервисному сопровождению.
Вопросы по подбору и эксплуатации
Это маслозаполненные насосы?
Речь о масляной смазке подшипников ротора. Принцип откачки — турбомолекулярный; его не следует смешивать с принципом работы маслозаполненной форвакуумной ступени.
Можно ли установить насос под любым углом?
Для маслосмазываемой опоры монтаж зависит от устройства смазки. Допустимое положение устанавливают по документации точной модели и учитывают при проектировании камеры.
Почему для F-400/3500B указано 3500 л/с?
Это скорость откачки азота для данного исполнения. Значения для гелия, водорода и аргона приведены отдельно; индекс модели не заменяет газовую характеристику.
Подойдут ли насосы для пыльного или агрессивного процесса?
Такой выбор требует согласования среды, частиц, температур, покрытий и защиты тракта. Масляная смазка сама по себе не подтверждает химическую стойкость или допустимую пылевую нагрузку.
Как назначается обслуживание?
По руководству модели, состоянию смазки и режиму эксплуатации. В составе проекта согласуют регламент, расходные материалы, доступ к узлам и безопасную остановку.
Можно ли оставить прежний контроллер при замене?
Только после проверки совместимости полного обозначения насоса, привода и кабеля. Совпадение диапазона скорости или разъёма не является достаточным основанием.
Инженерный подбор · комплектация · сопровождение
Подберём исполнение и условия его работы
Передайте параметры процесса или данные заменяемого насоса. Согласуем модель, смазку, охлаждение, форвакуум и управление, затем подготовим состав поставки.
Актуальные предложения и ключевые направления
