Бесконтактная рабочая опора
Положение ротора регулируется электромагнитной системой. В штатном режиме отсутствует контакт в рабочей опоре, а требования к управлению подвесом становятся частью конструкции насоса.
KYKY CXF · бесконтактная опора ротора
Турбомолекулярные насосы KYKY с магнитной подвеской
Серия CXF использует магнитный подвес для удержания ротора без контакта с рабочей опорой в штатном режиме. Шесть моделей с входом DN200, DN250 и DN320 подбираются по газовой нагрузке, фланцу, охлаждению и требованиям вакуумного процесса.
1280–3260 л/сСкорость откачки по N₂
DN200–DN320Входные присоединения
ВодяноеОхлаждение представленных моделей
CXFDСогласованный контроллер серии
Сравнение моделей и подробные характеристики
По N₂ сравниваются значения 1280, 1400, 2150, 2360, 2950 и 3260 л/с. Для He, H₂ и Ar используются собственные характеристики — газовые колонки не взаимозаменяемы.
Прокрутите таблицу по горизонтали; нажмите на модель, чтобы раскрыть её параметры.
| Модель | N₂, л/с | He, л/с | H₂, л/с | Ar, л/с | Входной фланец |
|---|---|---|---|---|---|
| CXF-200/1401 | 1280 | 880 | 560 | 1100 | DN200 ISO-F — стандарт; DN200 CF — опция; DN200 LF — заказное исполнение |
| CXF-200/1402 | 1400 | 1100 | 820 | 1300 | DN200 ISO-F — стандарт; DN200 CF — опция; DN200 LF — заказное исполнение |
| CXF-250/2301 | 2150 | 1500 | 850 | 1900 | DN250 ISO-F — стандарт; DN250 CF — опция; DN250 LF — заказное исполнение |
| CXF-250/2302 | 2360 | 1980 | 1250 | 2260 | DN250 ISO-F — стандарт; DN250 CF — опция; DN250 LF — заказное исполнение |
| CXF-320/3001 | 2950 | 2300 | 1100 | 2750 | DN320 ISO-F — стандарт |
| CXF-320/3002 | 3260 | 2550 | 1730 | 2900 | DN320 ISO-F — стандарт |
CXF-200/1401N₂: 1280 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 ISO-F — стандарт; DN200 CF — опция; DN200 LF — заказное исполнение |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1280Ar: 1100He: 880H₂: 560 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 1100 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 20 |
| Частота вращения, об/мин | 30000 |
| Время запуска, мин | ≤6 |
| Время останова, мин | ≤8 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 2 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1001 |
| Масса, кг | 51 |
CXF-200/1402N₂: 1400 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN200 ISO-F — стандарт; DN200 CF — опция; DN200 LF — заказное исполнение |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 1400Ar: 1300He: 1100H₂: 820 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 1200 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 20 |
| Частота вращения, об/мин | 33000 |
| Время запуска, мин | ≤7 |
| Время останова, мин | ≤9 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 2 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1001 |
| Масса, кг | 51 |
CXF-250/2301N₂: 2150 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 ISO-F — стандарт; DN250 CF — опция; DN250 LF — заказное исполнение |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 2150Ar: 1900He: 1500H₂: 850 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 1300 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 50 |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Время запуска, мин | ≤8 |
| Время останова, мин | ≤11 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 3 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1601 |
| Масса, кг | 60 |
CXF-250/2302N₂: 2360 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN250 ISO-F — стандарт; DN250 CF — опция; DN250 LF — заказное исполнение |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 2360Ar: 2260He: 1980H₂: 1250 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 1500 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 50 |
| Частота вращения, об/мин | 30000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Время останова, мин | ≤12 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 3 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1601 |
| Масса, кг | 60 |
CXF-320/3001N₂: 2950 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN320 ISO-F — стандарт |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 2950Ar: 2750He: 2300H₂: 1100 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 2100 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 50 |
| Частота вращения, об/мин | 21000 |
| Время запуска, мин | ≤9 |
| Время останова, мин | ≤12 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 3 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1601 |
| Масса, кг | 76 |
CXF-320/3002N₂: 3260 л/с · полные параметры
| Входной фланец | DN320 ISO-F — стандарт |
|---|---|
| Выходной фланец | KF40 ISO-KF |
| Скорость откачки, л/с | N₂: 3260Ar: 2900He: 2550H₂: 1730 |
| Коэффициент сжатия | N₂: >10⁸Ar: >10⁸He: >10⁴H₂: >10³ |
| Предельное давление, Па | 10⁻⁷ (эластомерное уплотнение) |
| Макс. кратковременный входной расход, sccm | 2400 |
| Вход защитного газа | KF10 — опция |
| Рекомендуемая продувка, sccm | 50 |
| Частота вращения, об/мин | 24000 |
| Время запуска, мин | ≤10 |
| Время останова, мин | ≤14 |
| Охлаждение | Вода |
| Расход воды, л/мин | 3 |
| Температура воды, °C | 20±5 |
| Питание | 220 В AC ±10%, 50 Гц / 110 В AC ±10%, 60 Гц |
| Контроллер / блок управления | CXFD-1601 |
| Масса, кг | 76 |
Что даёт магнитный подвес
Вакуум без смазки рабочей опоры
В рабочем подвесе нет масляного или консистентного смазочного узла. Чистота камеры при этом зависит и от материалов системы, газов, форвакуумной ступени и режима процесса.
Фланцы, охлаждение и управление
| Что согласовать | Инженерный смысл |
|---|---|
| Входной фланец | Для DN200 и DN250 указан ISO-F как стандартный вариант, CF как опция, LF как заказное исполнение. Модели DN320 представлены с ISO-F. |
| Выпуск | KF40 для шести рассматриваемых моделей; выпускной тракт рассчитывают вместе с форвакуумной ступенью. |
| Вода | CXF-200/1401 и /1402: 2 л/мин; модели DN250 и DN320: 3 л/мин. Рекомендуемая температура воды — 20 ±5 °C. |
| Контроллер | Для CXF-200/1401 и /1402 — CXFD-1001; для приведённых DN250 и DN320 — CXFD-1601. Совместимость уточняется для точного исполнения комплекта. |
| Защитная продувка | Вход KF10 — опция. Рекомендуемые расходы для рассматриваемой группы: 20 sccm для DN200 и 50 sccm для DN250/DN320; газ и необходимость продувки задаются процессом. |
| Магнитное окружение | Внешнее магнитное поле и близость магнитов учитывают при размещении. Допустимые радиальные и осевые компоненты задаются документацией конкретного исполнения. |
Газовый расход и давление: разные условия выбора
Показатели 1100–2400 sccm описывают максимальный кратковременный входной расход рассматриваемых моделей. Они не являются давлением форвакуума в паскалях и не заменяют расчёт непрерывной нагрузки.
- Для длительной газовой подачи согласуются расход, состав газа, охлаждение и давление на выпуске.
- Предельное давление 10⁻⁷ Па относится к указанному эластомерному уплотнению. Требования к другому уплотнению задают в спецификации.
- CF-фланец сам по себе не подтверждает достижение заданного сверхвысокого вакуума во всей установке.
- Порядок запуска, остановки и действий при потере питания согласуется с документацией контроллера и схемой блокировок установки.
Где применяют CXF
Чистые вакуумные процессы
Для камер, чувствительных к смазочным материалам, магнитный подвес рассматривают вместе с чистотой форвакуума, материалов и технологического газа.
Нанесение покрытий и газовая подача
Подбор ведут по рабочему потоку и давлению, теплоотводу и режиму продувки. Стойкость к реакционным газам относится к конкретному исполнению.
Исследовательские комплексы
Помимо вакуума оценивают вибрации, внешнее магнитное поле, установочное пространство и согласованную работу насоса с автоматикой эксперимента.
Данные для подбора магнитно подвешенного насоса
- Состав газов, расход в непрерывном и импульсном режимах.
- Рабочее и базовое давление, фланец, объём и материал камеры.
- Характеристики форвакуумной ступени и выпускного тракта.
- Доступная вода: расход, температура и схема охлаждения.
- Химическая среда, необходимость защитного газа и требования к уплотнению.
- Монтажное положение, внешнее магнитное поле, питание и сигналы автоматизации.
Вопросы по подбору и эксплуатации
Означает ли магнитный подвес полное отсутствие обслуживания?
Нет. Контроллер, охлаждение, защитные узлы, загрязнение проточной части и состояние подключений требуют контроля по руководству исполнения. Бесконтактная рабочая опора не отменяет регламент всей системы.
Откачивает ли CXF агрессивные газы без ограничений?
Химическая совместимость зависит от материалов и исполнения, состава и температуры газа, продувки и риска конденсации. Она согласуется отдельно для процесса.
Что означает расход 1300 sccm у CXF-250/2301?
Это максимальный кратковременный входной расход в характеристике модели. Его нельзя записывать как давление на выпуске в Па или использовать как гарантированный непрерывный поток.
Почему важен точный контроллер CXFD?
Контроллер обеспечивает работу привода и магнитного подвеса. Его выбирают по модели и версии комплекта; произвольная замена на контроллер другой серии недопустима.
Можно ли работать рядом с магнитной системой?
Проверяются напряжённость поля в месте установки, направление его компонентов и ограничения руководства насоса. Этот вопрос согласуют до монтажа вместе с компоновкой и экранированием.
Когда нужна продувка?
Решение зависит от процесса и исполнения насоса. Опциональный вход, газ, расход и последовательность подачи согласуют совместно с защитой насоса и выпускной системой.
Инженерный подбор · комплектация · сопровождение
Согласуем CXF с процессом и автоматикой
Пришлите газовый состав, режимы подачи, фланец и условия охлаждения. Подберём модель, контроллер, уплотнение и необходимую защитную продувку.
Актуальные предложения и ключевые направления
