ISO/CF160–250
- FF160/800 / FFD160/800
- FF200/1400 / FFD200/1400
- FF250/2000 / FFD250/2000
Yuchi Vacuum · серии FF и FFD
Турбомолекулярные насосы Yuchi Vacuum серии FF
Составные турбомолекулярные насосы с интегральным ротором и молекулярно-вязкостной ступенью со спиральными канавками. В линейке — стандартные FF и безмасляные исполнения FFD.
Четыре группы типоразмеров объединяют 24 исполнения. Выбор определяют газовая нагрузка, входной фланец, положение насоса и способ охлаждения; полные характеристики доступны для каждой группы.
12 пар FF / FFD24 исполнения с различиями по смазке и допустимой ориентации
800–5000 л/сНоминальные скорости линейки · характеристику проверяют для рабочего газа
4 группыISO/CF160–250, ISO/CF320, VG350 и ISO/CF400
Различия FF и FFD
Исполнение выбирают вместе с монтажной схемой. Одинаковые входной фланец и номинальная скорость внутри пары не отменяют различий по смазке и положению насоса.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Исполнение | Смазка | Ориентация |
|---|---|---|
| FF | 150 мл | Вертикальное |
| FFD | Безмасляное исполнение | Любой угол |
Модельный ряд
Выберите группу типоразмеров
Каждая группа ведёт к своим полным характеристикам. Обозначение фланца и номинальная скорость приведены в сравнении ниже.
ISO/CF320
- FF320/3200 / FFD320/3200
- FF320/3400 / FFD320/3400
- FF320/3800 / FFD320/3800
VG350
- FF350/3500 / FFD350/3500
- FF350/4200 / FFD350/4200
- FF350/4600 / FFD350/4600
ISO/CF400
- FF400/4000 / FFD400/4000
- FF400/4500 / FFD400/4500
- FF400/5000 / FFD400/5000
Сравнение моделей FF / FFD
Для каждой пары показаны номинальная скорость, входной фланец и способ охлаждения. При расчёте системы учитывают рабочий газ, его расход, степень сжатия и форвакуумный режим.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Модели | Номинальная скорость | Входной фланец | Охлаждение |
|---|---|---|---|
| FF160/800 FFD160/800 | 800 л/с | ISO160/CF160 | Жидкостное или воздушное |
| FF200/1400 FFD200/1400 | 1400 л/с | ISO200/CF200 | Жидкостное или воздушное |
| FF250/2000 FFD250/2000 | 2000 л/с | ISO250/CF250 | Жидкостное или воздушное |
| FF320/3200 FFD320/3200 | 3200 л/с | ISO320/CF320 | Жидкостное |
| FF320/3400 FFD320/3400 | 3400 л/с | ISO320/CF320 | Жидкостное |
| FF320/3800 FFD320/3800 | 3800 л/с | ISO320/CF320 | Жидкостное |
| FF350/3500 FFD350/3500 | 3500 л/с | VG350 | Жидкостное |
| FF350/4200 FFD350/4200 | 4200 л/с | VG350 | Жидкостное |
| FF350/4600 FFD350/4600 | 4600 л/с | VG350 | Жидкостное |
| FF400/4000 FFD400/4000 | 4000 л/с | ISO400/CF400 | Жидкостное |
| FF400/4500 FFD400/4500 | 4500 л/с | ISO400/CF400 | Жидкостное |
| FF400/5000 FFD400/5000 | 5000 л/с | ISO400/CF400 | Жидкостное |
Интегральная конструкция
Две ступени откачки в одном насосе
Турбомолекулярная ступень передаёт молекулам газа импульс вращающимися лопатками. Молекулярно-вязкостная ступень со спиральными канавками продолжает перенос газа в сторону форвакуумного выпуска.
Интегральный ротор объединяет рабочие элементы. Балансировка и точность изготовления важны для работы вращающегося узла, а допустимый режим зависит от газовой и тепловой нагрузки.
Для применения на вакуумной камере вместе проверяют насос, форнасос, охлаждение, управление и последовательность напуска. Защиту от частиц и продуктов осаждения рассматривают по условиям процесса.
Что проверить до подключения
Механика и тепловой режим
- Точное обозначение входного фланца: ISO, CF или VG.
- Уплотнение, крепёж, ориентация и допустимые нагрузки на присоединение.
- Наличие места для насоса, кабелей и водяных линий.
- Воздушное или жидкостное охлаждение в соответствии с группой и исполнением.
Газ и управление
- Состав, расход, рабочее давление и длительность газовой нагрузки.
- Форвакуумная ступень, сопротивление линии и допустимое давление на выпуске.
- Совместимые контроллер, кабели, питание и интерфейсы.
- Блокировки, порядок запуска, остановки и безопасного напуска.
Подбор для новой камеры и замены насоса
Описать процесс
Укажите газы, требуемое давление, расход и цикл. Для покрытий дополнительно важны продукты осаждения и тепловая нагрузка.
Определить присоединение
Передайте фланец, чертёж и ориентацию установки. Для замены приложите фото шильдика действующего насоса и контроллера.
Согласовать комплект
Выберем типоразмер и исполнение FF/FFD, рассмотрим привод, форнасос, охлаждение и документацию в составе предложения.
Вопросы о насосах FF и FFD
Чем FF отличается от FFD?
Для стандартных FF указаны 150 мл смазки и вертикальная установка. FFD — безмасляное исполнение, допускающее установку под любым углом. При подборе также проверяют контроллер, кабели и монтажную документацию.
Почему одинаковая скорость не гарантирует замену?
Совместимость зависит от рабочего газа, фланца, габаритов, уплотнения, ориентации, контроллера, кабелей и охлаждения. Требования к форвакуумной ступени и режиму запуска также должны совпадать с условиями установки.
Все ли модели имеют воздушное охлаждение?
Нет. Для группы ISO/CF160–250 указано жидкостное или воздушное охлаждение. Для групп ISO/CF320, VG350 и ISO/CF400 — жидкостное. Состав охлаждающего комплекта согласуют для конкретной модели.
Означает ли первая часть индекса один и тот же тип фланца?
Нет. В линейке встречаются ISO, CF и VG. Например, группа FF350 / FFD350 использует VG350. При замене сверяют полное обозначение, ответный фланец, уплотнение и монтажный чертёж.
Как выбрать форвакуумный насос для FF / FFD?
Нужны состав и расход газа, рабочая точка, допустимое давление на выпуске и сопротивление линии. Форнасос выбирают совместно с турбомолекулярной ступенью и требованиями к чистоте процесса.
Что входит в комплект поставки?
Комплект фиксируют в спецификации: точная модель, контроллер и кабели, охлаждение, присоединения и документация. Форнасос, клапаны и вакуумметры рассматривают по задаче; их наличие в комплекте не предполагается автоматически.
Другие серии и подбор вакуумной системы
Серия FF / FFD
Турбомолекулярная и молекулярно-вязкостная ступени в одном насосе. Четыре группы типоразмеров, варианты установки FF и FFD.
Сравнить FF и FFD →
Серия MDP
Интегральный ротор и ступень Холвека. Три номинальные скорости: 600, 1200 и 1800 л/с; стандартные и D-исполнения.
Сравнить модели MDP →
Серия YCTM
Магнитный подвес по пяти степеням свободы. Скорости по N₂ и H₂, входные фланцы и рабочие подключения для пяти исполнений.
Сравнить модели YCTM →Инженерный подбор и комплектация
Подобрать FF или FFD под вашу задачу
Пришлите рабочий газ, расход, давление, фланец и положение насоса. Для замены нужны модель и данные контроллера. Обсудим исполнение, охлаждение, форвакуумную ступень и коммерческое предложение.
Актуальные предложения и ключевые направления
