Подключение к камере
- MDP600 / MDP600D: ISO160/CF150.
- MDP1200 / MDP1200D: ISO200/CF200.
- MDP1800 / MDP1800D: ISO250/CF250.
- Выпуск KF40 подключают к форвакуумной линии с учётом её проводимости.
Yuchi Vacuum · интегральный ротор
Турбомолекулярные насосы Yuchi Vacuum серии MDP
Насосы со ступенью Холвека и номинальной скоростью 600, 1200 или 1800 л/с. Каждому типоразмеру соответствует стандартная модель и безмасляное D-исполнение с установкой под любым углом.
В серии шесть моделей: MDP600, MDP600D, MDP1200, MDP1200D, MDP1800 и MDP1800D. При выборе важны смазка, положение насоса, тип уплотнения и условия охлаждения.
600 / 1200 / 1800 л/сТри номинальные скорости откачки · два исполнения каждого типоразмера
Ступень ХолвекаМолекулярно-вязкостная ступень совместно с турбомолекулярной
KF40Выпуск всех шести моделей · входной фланец зависит от типоразмера
Что меняется в D-исполнении
Суффикс D определяет требования к монтажу и смазке. При одинаковой номинальной скорости эти условия нужно согласовать до выбора насоса.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Исполнение | Модели | Смазка | Ориентация |
|---|---|---|---|
| MDP | MDP600 · MDP1200 · MDP1800 | 150 мл | Вертикальное |
| MDP D | MDP600D · MDP1200D · MDP1800D | Безмасляное исполнение | Любой угол |
Технические характеристики MDP
Предельное давление приведено отдельно для металлического и витонового уплотнений. Для расчёта процесса скорость откачки проверяют по рабочему газу и условиям измерения.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Параметр / модель | MDP600 | MDP600D | MDP1200 | MDP1200D | MDP1800 | MDP1800D |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Входной фланец | ISO160/CF150 | ISO160/CF150 | ISO200/CF200 | ISO200/CF200 | ISO250/CF250 | ISO250/CF250 |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
| Скорость откачки | 600 л/с | 600 л/с | 1200 л/с | 1200 л/с | 1800 л/с | 1800 л/с |
| Предельное давление (Металлическое уплотнение) | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление (Витоновое уплотнение) | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па |
| Степень сжатия N₂ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ |
| Степень сжатия H₂ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ |
| Скорость вращения | 24000 об/мин | 24000 об/мин | 24000 об/мин | 24000 об/мин | 24000 об/мин | 24000 об/мин |
| Время запуска | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин |
| Смазка | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный |
| Ориентация/установка | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол |
| Охлаждение | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное |
| Расход охлаждающей жидкости | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч |
| Температура охлаждающей жидкости | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C |
| Вес | 29.7 кг | 29.7 кг | 44.5 кг | 44.5 кг | 44.5 кг | 44.5 кг |
Схема откачки
Турбомолекулярная ступень и ступень Холвека
Геометрия лопаток ротора и молекулярно-вязкостная ступень Холвека определяют газовую характеристику насоса. Газ проходит через насос к форвакуумной линии, где его удаляет согласованный форнасос.
Интегральная конструкция ротора объединяет рабочие элементы в одном узле. При выборе режима учитывают состав газа, нагрузку, температуру и допустимое давление на выпуске.
Наличие частиц, паров и продуктов осаждения указывают в техническом задании. Допустимость такой среды и необходимые защитные меры согласуют для конкретного исполнения.
Модельный ряд MDP
Монтаж и охлаждение
Для серии предусмотрены жидкостное или воздушное охлаждение. Способ охлаждения согласуют с тепловой нагрузкой и комплектацией насоса.
Тепловой режим
- Для водяного контура указан расход 90 л/ч.
- Температура охлаждающей жидкости — ниже 24 °C.
- Наличие водяных подключений или вентилятора проверяют в составе комплекта.
- Давление, качество воды и условия контроля охлаждения согласуют по руководству.
ISO- и CF-фланцы различаются конструкцией и уплотнением. При замене сверяют монтажный чертёж, ответную часть камеры, тип прокладки и фактическое обозначение фланца.
Данные для подбора и замены MDP
Режим процесса
Газ или смесь, расход, рабочее давление, объём камеры и длительность цикла. Отдельно укажите пары, частицы и температурную нагрузку.
Присоединение и исполнение
Фланец, тип уплотнения, ориентация, доступное место, способ охлаждения. Для действующей установки нужны фото шильдика и монтажный чертёж.
Комплект управления
Насос, совместимые контроллер и кабель, питание, форвакуумная ступень, датчики, клапаны и последовательность блокировок.
Вопросы о серии MDP
В чём отличие MDP600 от MDP600D?
Обе модели имеют номинальную скорость 600 л/с. Для MDP600 указаны 150 мл смазки и вертикальная установка; MDP600D — безмасляное исполнение с установкой под любым углом. Аналогичное разделение есть у типоразмеров 1200 и 1800.
Как тип уплотнения влияет на предельное давление?
Для всех шести моделей указано 5×10⁻⁷ Па с металлическим уплотнением и 5×10⁻⁶ Па с витоновым. Достижимое давление в камере дополнительно зависит от герметичности, газовыделения и подготовки системы.
Можно ли сравнить скорость MDP по водороду с YCTM?
Для сравнения нужны скорости по одному и тому же газу при сопоставимых условиях. Степень сжатия по H₂ и номинальная скорость откачки — разные параметры; степень сжатия не заменяет газовую характеристику скорости.
Какое охлаждение требуется?
Для MDP предусмотрено жидкостное или воздушное охлаждение. Для водяного контура в таблице указаны 90 л/ч и температура ниже 24 °C. Допустимую нагрузку и состав охлаждающего комплекта согласуют для выбранного режима.
Можно ли откачивать запылённый газ?
Нужно указать размер и количество частиц, состав газа и режим процесса. Допустимость среды, защитные элементы и регламент обслуживания проверяют для точного исполнения. Принадлежность к серии MDP не даёт универсального допуска на любую запылённость.
Что нужно для замены установленного MDP?
Передайте полную модель, фото шильдика и контроллера, тип фланца и уплотнения, ориентацию и параметры процесса. Отдельно сверяют питание, кабели, охлаждение и форвакуумную ступень.
Сравнить с другими сериями Yuchi Vacuum
Серия FF / FFD
Турбомолекулярная и молекулярно-вязкостная ступени в одном насосе. Четыре группы типоразмеров, варианты установки FF и FFD.
Сравнить FF и FFD →Серия MDP
Интегральный ротор и ступень Холвека. Три номинальные скорости: 600, 1200 и 1800 л/с; стандартные и D-исполнения.
Сравнить модели MDP →
Серия YCTM
Магнитный подвес по пяти степеням свободы. Скорости по N₂ и H₂, входные фланцы и рабочие подключения для пяти исполнений.
Сравнить модели YCTM →Подбор по условиям эксплуатации
Подобрать модель и исполнение MDP
Пришлите газовую нагрузку, давление, фланец, ориентацию и способ охлаждения. Для замены укажите насос и контроллер. Согласуем исполнение, необходимые подключения и состав коммерческого предложения.
Актуальные предложения и ключевые направления
