Чистота вакуума
Магнитный подвес устраняет необходимость масляной смазки рабочих опор ротора. На чистоту всей системы также влияют форнасос, уплотнения, материалы камеры и подготовка поверхностей.
Yuchi Vacuum · магнитный подвес
Турбомолекулярные насосы Yuchi Vacuum серии YCTM
Высоковакуумные насосы с активным магнитным подвесом ротора по пяти степеням свободы. Для полупроводниковых процессов, исследований поверхности и установок с требованиями к чистоте вакуума.
В линейке представлены YCTM2201, YCTM2203, YCTM2701, YCTM3301 и YCTM4501. Выбор включает газовую характеристику, входной фланец, охлаждение, продувку и совместимый контроллер.
2200–4500 л/сСкорость откачки по N₂ у пяти представленных исполнений
1800–3000 л/сСкорость откачки по H₂ · учитывается отдельно при работе с лёгкими газами
Магнитный подвесКонтроль положения ротора по пяти степеням свободы
Как работает магнитный подвес
Система управления отслеживает положение ротора и корректирует его смещение в реальном времени. При штатной работе ротор удерживается магнитным полем без механического контакта с опорными подшипниками.
Требования к вибрации
Бесконтактное удержание ротора подходит для задач с чувствительными измерениями. При интеграции учитывают вибрацию камеры, жёсткость крепления и работу остального оборудования.
Ориентация установки
Представленные исполнения допускают монтаж под любым углом. Фланец и крепёж рассчитывают с учётом нагрузок; положение кабелей, воды и продувки проверяют по монтажной документации.
Пять исполнений
Технические характеристики YCTM
Сравните скорости по N₂ и H₂, входные фланцы и частоту вращения. YCTM2201 и YCTM2203 имеют одинаковую номинальную скорость, но различаются частотой вращения и массой.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Параметр / модель | YCTM2201 | YCTM2203 | YCTM2701 | YCTM3301 | YCTM4501 |
|---|---|---|---|---|---|
| Входной фланец | ISO250/CF250 | ISO250/CF250 | ISO250/CF250 | ISO320/CF320 | ISO400/CF400 |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
| Скорость откачки N₂ | 2200 л/с | 2200 л/с | 2700 л/с | 3300 л/с | 4500 л/с |
| Скорость откачки H₂ | 1800 л/с | 1800 л/с | 2000 л/с | 2300 л/с | 3000 л/с |
| Предельное давление | 1×10⁻⁷ Па | 1×10⁻⁷ Па | 1×10⁻⁷ Па | 1×10⁻⁷ Па | 1×10⁻⁷ Па |
| Максимальное давление на выходе (предварительная ступень) | 2 Торр | 2 Торр | 2 Торр | 2 Торр | 2 Торр |
| Степень сжатия N₂ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ |
| Степень сжатия H₂ | 1×10³ | 1×10³ | 1×10³ | 1×10³ | 1×10³ |
| Скорость вращения | 27000 об/мин | 22800 об/мин | 27000 об/мин | 27000 об/мин | 24000 об/мин |
| Ориентация/установка | Любой угол | Любой угол | Любой угол | Любой угол | Любой угол |
| Метод охлаждения | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное |
| Охлаждающая жидкость - соединение | ISO-Rc 1/4 | ISO-Rc 1/4 | ISO-Rc 1/4 | ISO-Rc 1/4 | ISO-Rc 1/4 |
| Охлаждающая жидкость - расход | 3 л/мин | 3 л/мин | 3 л/мин | 3 л/мин | 3 л/мин |
| Продувка N₂ - соединение | KF10 | KF10 | KF10 | KF10 | KF10 |
| Продувка N₂ - расход | 50±10 см³/мин | 50±10 см³/мин | 50±10 см³/мин | 50±10 см³/мин | 50±10 см³/мин |
| Антикоррозийное покрытие | опционально | опционально | опционально | опционально | опционально |
| Температура нагрева (функция TMS) | 60–90 °C | 60–90 °C | 60–90 °C | 60–90 °C | 60–90 °C |
| Вес | 60 кг | 85 кг | 85 кг | 80 кг | 85 кг |
Исполнения насосов YCTM
Охлаждение, продувка и защита от среды
Водяное охлаждение и контроль теплового режима согласуют с газовой нагрузкой. Защитные функции и материалы исполнения выбирают по составу процесса.
Рабочие подключения
- Выпуск KF40 — к согласованной форвакуумной ступени.
- Жидкостное охлаждение: 3 л/мин, соединение ISO-Rc 1/4.
- Продувка N₂: 50±10 см³/мин, соединение KF10.
- Максимальное давление на выпуске — 2 Торр; рабочий режим проверяют по газовой нагрузке.
Покрытие и температурный режим
Антикоррозийное покрытие указано как опция. Оно не заменяет проверку химической совместимости с газами, парами и продуктами реакции.
Для функции температурного управления TMS указан диапазон 60–90 °C. Необходимость нагрева, продувки и защитного исполнения согласуют вместе с технологическим процессом и комплектацией насоса.
Работа с коррозионной или осаждающейся средой требует согласованного исполнения. Продувка, нагрев и покрытие не означают универсальную совместимость с любым технологическим газом.
Контроллер и последовательность работы
Запуск
Форвакуумная ступень, охлаждение и разрешающие сигналы должны соответствовать руководству. Контроллер управляет подвесом, разгоном и выходом на рабочую частоту.
Рабочий режим
Согласуют измерение давления, контроль температуры, индикацию состояния и связь с автоматикой установки. Газовую нагрузку проверяют для выбранного исполнения.
Остановка и защита
Порядок торможения, напуска и действий при потере питания задают по руководству насоса и контроллера. Эти условия учитывают в проекте блокировок камеры.
Что передать для подбора YCTM
Параметры процесса
- Рабочий газ, состав смеси и расход с условиями приведения.
- Рабочее и требуемое предельное давление.
- Непрерывный или циклический режим, температура, наличие паров и продуктов осаждения.
- Требования к чистоте вакуума и вибрации.
Условия интеграции
- Фланец и чертёж камеры, место и ориентация установки.
- Модель форнасоса и параметры форвакуумной линии.
- Охлаждающая вода, продувочный газ и питание.
- Контроллер, кабели, интерфейсы и перечень блокировок.
При замене важны полное обозначение YCTM и поколение контроллера. Номинальная скорость и размер фланца сами по себе не подтверждают совместимость нового насоса с существующим приводом.
Вопросы о серии YCTM
Все ли YCTM имеют одинаковую скорость по азоту и водороду?
Нет. Для представленных моделей скорости по N₂ и H₂ указаны в отдельных строках таблицы. Например, у YCTM2701 они составляют соответственно 2700 и 2000 л/с. Расчёт по другому газу требует его характеристики.
Чем различаются YCTM2201 и YCTM2203?
При одинаковой скорости 2200 л/с по N₂ частота вращения составляет соответственно 27000 и 22800 об/мин, масса — 60 и 85 кг. При замене дополнительно сверяют контроллер, кабели, монтаж и исполнение насоса.
Можно ли устанавливать YCTM горизонтально?
Для перечисленных исполнений указана установка под любым углом. Окончательное положение, крепление и подключение коммуникаций проверяют по монтажному руководству и конструкции камеры.
Входит ли антикоррозийное покрытие в стандартную комплектацию?
В таблице покрытие указано как опциональное. Необходимость покрытия, продувки и температурного управления определяют по составу среды и согласуют в спецификации.
Можно ли использовать существующий контроллер другого YCTM?
Совместимость проверяют по полным обозначениям насоса, контроллера и кабеля. Принадлежность к серии YCTM и совпадение номинальной скорости не являются достаточным основанием для подключения.
Что требуется для непрерывной работы?
Нужно согласовать допустимую газовую нагрузку, охлаждение, продувку, форвакуумную ступень и блокировки. Последовательность запуска и остановки задают по руководству выбранного исполнения.
Другие серии Yuchi Vacuum
Серия FF / FFD
Турбомолекулярная и молекулярно-вязкостная ступени в одном насосе. Четыре группы типоразмеров, варианты установки FF и FFD.
Сравнить FF и FFD →
Серия MDP
Интегральный ротор и ступень Холвека. Три номинальные скорости: 600, 1200 и 1800 л/с; стандартные и D-исполнения.
Сравнить модели MDP →Серия YCTM
Магнитный подвес по пяти степеням свободы. Скорости по N₂ и H₂, входные фланцы и рабочие подключения для пяти исполнений.
Сравнить модели YCTM →Инженерный подбор
Согласовать исполнение YCTM для вашей установки
Передайте газовую нагрузку, рабочее давление, фланец и параметры охлаждения. Для замены приложите шильдики насоса и контроллера. Обсудим конфигурацию, подключение и коммерческое предложение.
Актуальные предложения и ключевые направления
