Основываясь на традиционных турбомолекулярных насосах, насосы на магнитной левитации используют систему управления и мониторинга ротора с магнитной левитацией по пяти степеням свободы, что позволяет выполнять автоматическую коррекцию смещения ротора в режиме реального времени. Интеграция высокопроизводительной технологии интегрированного ротора и технологии самобалансировки обеспечивает стабильную работу насосов без вибраций в течение продолжительных периодов, что значительно повышает их надёжность и стабильность. Эти насосы могут быть установлены под любым углом. 

Мотор оснащён функцией самогенерации от маховика, что позволяет автоматически отключаться в случае неожиданного отключения питания, исключая необходимость в использовании аккумуляторной системы. Кроме того, после строгих испытаний и с встроенным мониторингом и поддержкой различных протоколов связи гарантируется, что при неконтролируемом падении ротора на полной скорости не происходит серьёзных повреждений. Насосы оборудованы конструкцией, поглощающей энергию, чтобы минимизировать повреждения от удара в случае аварии.

Особенности продукта:

В производстве полупроводников и исследовании поверхностных наук существует критическая потребность в чистой высоковакуумной среде и высокой надёжности работы при длительных непрерывных операциях. Безмасляная и чистая технология производства наших систем на магнитной левитации прекрасно соответствует этим строгим требованиям. Кроме того, для агрессивных сред, склонных к коррозии или осаждению, наши турбомолекулярные насосы разработаны с антикоррозийными покрытиями, инфузиями защитных газов и пекарными структурами для ключевых компонентов, что повышает их долговечность и производительность в суровых условиях.