Стандартные FF
Для моделей этой группы указаны 150 мл смазки и вертикальная установка. Тип и регламент обслуживания смазочного узла проверяют по руководству полного исполнения.
Yuchi Vacuum · группа FF / FFD
Турбомолекулярные насосы Yuchi FF350 и FFD350
Насосы с входным фланцем VG350 и номинальными скоростями 3500, 4200 и 4600 л/с. В группе представлены три пары стандартных FF и безмасляных FFD с разными требованиями к ориентации.
Подбираем насос и комплект подключения по рабочему газу, давлению, фланцу камеры и режиму эксплуатации.
3500–4600 л/сНоминальная скорость откачки · три пары моделей
VG350Входные присоединения представленных исполнений
KF40Выпуск к согласованной форвакуумной ступени
Выбор исполнения
Сравнение моделей FF350 и FFD350
Выбор начинается с присоединения VG350 и газовой нагрузки. Три номинальные скорости связаны с разной частотой вращения, при этом масса всех представленных исполнений составляет 100 кг.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Модели FF / FFD | Номинальная скорость | Входной фланец | Частота вращения | Масса |
|---|---|---|---|---|
| FF350/3500 FFD350/3500 | 3500 л/с | VG350 | 18 000 об/мин | 100 кг |
| FF350/4200 FFD350/4200 | 4200 л/с | VG350 | 21 000 об/мин | 100 кг |
| FF350/4600 FFD350/4600 | 4600 л/с | VG350 | 24 000 об/мин | 100 кг |
Ключевое присоединительное условие этой группы — VG350. При замене насоса передайте чертёж фланца камеры, тип уплотнения и схему крепления вместе с обозначением действующего контроллера.
Полные технические характеристики
Для шести исполнений отдельно показаны входной фланец, предельное давление с разными уплотнениями, смазка и ориентация. Номинальную скорость для расчёта системы сопоставляют с характеристикой рабочего газа.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Параметр / модель | FF350/3500 | FFD350/3500 | FF350/4200 | FFD350/4200 | FF350/4600 | FFD350/4600 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Входной фланец | VG350 | VG350 | VG350 | VG350 | VG350 | VG350 |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
| Скорость откачки | 3500 л/с | 3500 л/с | 4200 л/с | 4200 л/с | 4600 л/с | 4600 л/с |
| Предельное давление (металлическое уплотнение) | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление (витоновое уплотнение) | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па | 5×10⁻⁶ Па |
| Степень сжатия N₂ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ |
| Степень сжатия H₂ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ |
| Скорость вращения | 18 000 об/мин | 18 000 об/мин | 21 000 об/мин | 21 000 об/мин | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин |
| Время запуска | <20 мин | <20 мин | <20 мин | <20 мин | <20 мин | <20 мин |
| Смазка | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный |
| Ориентация/установка | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол |
| Охлаждение | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное | Жидкостное |
| Расход охлаждающей жидкости | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч |
| Температура охлаждающей жидкости | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C |
| Масса | 100 кг | 100 кг | 100 кг | 100 кг | 100 кг | 100 кг |
Смазка и ориентация: FF и FFD
Внутри каждой пары номинальная скорость одинакова. Различия исполнения определяют условия установки и обслуживания.
Безмасляные FFD
Для FFD указано безмасляное исполнение и установка под любым углом. Это не отменяет требований к подшипникам, обслуживанию, креплению и подключению коммуникаций.
Присоединение и охлаждение
Камера и форвакуумная линия
Вход — VG350, выпуск — KF40. Обозначение VG350 следует сохранять при согласовании присоединения: его нельзя автоматически заменить обозначением ISO350 или CF350. Геометрию и уплотнение проверяют по монтажному чертежу.
При подборе форнасоса учитывают состав и расход газа, допустимое давление на выпуске и сопротивление линии. Присоединение KF40 само по себе не задаёт требуемую производительность форнасоса.
Тепловой режим
Все исполнения группы имеют жидкостное охлаждение. Параметры водяного контура проверяют до выбора режима газовой нагрузки и последовательности запуска установки.
- Расход охлаждающей жидкости — 90 л/ч.
- Температура охлаждающей жидкости — ниже 24 °C.
- Давление, качество воды, подключения и контроль охлаждения согласуют по руководству исполнения.
Что передать для подбора и замены
Газ и рабочая точка
Состав газа или смеси, расход с условиями приведения, рабочее и требуемое предельное давление, непрерывный или циклический режим.
Монтаж и коммуникации
Фланец, уплотнение, чертёж камеры, положение насоса и доступное место. Укажите параметры охлаждения и действующий форнасос.
Насос и управление
Полные обозначения насоса, контроллера и кабелей. Для замены приложите фото шильдиков; согласуем комплект, подключение и документацию.
Другие группы насосов FF / FFD
Сравните типоразмеры и входные присоединения либо вернитесь к общему обзору серии FF / FFD.
FF/FFD 160, 200 и 250
800–2000 л/с · ISO / CF160, 200, 250
- FF160/800 / FFD160/800
- FF200/1400 / FFD200/1400
- FF250/2000 / FFD250/2000
FF320 и FFD320
3200–3800 л/с · ISO320 / CF320
- FF320/3200 / FFD320/3200
- FF320/3400 / FFD320/3400
- FF320/3800 / FFD320/3800
FF400 и FFD400
4000–5000 л/с · ISO400 / CF400
- FF400/4000 / FFD400/4000
- FF400/4500 / FFD400/4500
- FF400/5000 / FFD400/5000
Вопросы о FF350 и FFD350
Чем VG350 отличается от обозначений ISO и CF?
VG350 — указанное для этой группы входное присоединение. Его совместимость с камерой подтверждают по монтажному чертежу, геометрии и уплотнению. Совпадение числа 350 не означает взаимозаменяемость с ISO- или CF-фланцем.
Какая частота вращения у моделей FF350 / FFD350?
Для пары 3500 л/с указаны 18000 об/мин, для 4200 л/с — 21000 об/мин, для 4600 л/с — 24000 об/мин. Контроллер и кабели подбирают для полного обозначения модели.
В чём различие FF350 и FFD350?
У стандартных FF350 указаны 150 мл смазки и вертикальная установка. FFD350 — безмасляное исполнение с установкой под любым углом. Номинальная скорость внутри соответствующей пары одинакова.
Какие сведения нужны для замены установленного насоса?
Нужны шильдики насоса и контроллера, чертёж VG350, ориентация, схема крепления, состав и расход газа, давление процесса и параметры охлаждения. Отдельно проверяют форвакуумную ступень и блокировки.
Подбор по техническому заданию
Подобрать FF350 и FFD350 для вашей установки
Пришлите состав и расход газа, рабочее давление, фланец и ориентацию насоса. Для замены приложите данные насоса и контроллера. Обсудим исполнение, охлаждение и комплект подключения.
Актуальные предложения и ключевые направления
