Стандартные FF
Для моделей этой группы указаны 150 мл смазки и вертикальная установка. Тип и регламент обслуживания смазочного узла проверяют по руководству полного исполнения.
Yuchi Vacuum · группа FF / FFD
Турбомолекулярные насосы Yuchi FF и FFD 160, 200 и 250
Три типоразмера с номинальными скоростями 800, 1400 и 2000 л/с. В каждой паре FF и FFD различаются смазкой и допустимой ориентацией; входной фланец выбирают вместе с типоразмером.
Подбираем насос и комплект подключения по рабочему газу, давлению, фланцу камеры и режиму эксплуатации.
800–2000 л/сНоминальная скорость откачки · три пары моделей
ISO / CF160, 200, 250Входные присоединения представленных исполнений
KF40Выпуск к согласованной форвакуумной ступени
Выбор исполнения
Сравнение моделей FF/FFD 160, 200 и 250
Сначала определите требуемый фланец камеры и номинальную скорость, затем выберите стандартное или D-исполнение. Все три пары работают с выпуском KF40.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Модели FF / FFD | Номинальная скорость | Входной фланец | Частота вращения | Масса |
|---|---|---|---|---|
| FF160/800 FFD160/800 | 800 л/с | ISO160/CF160 | 24 000 об/мин | FF: 31 кг FFD: 29.7 кг |
| FF200/1400 FFD200/1400 | 1400 л/с | ISO200/CF200 | 24 000 об/мин | FF: 44.5 кг FFD: 43.2 кг |
| FF250/2000 FFD250/2000 | 2000 л/с | ISO250/CF250 | 24 000 об/мин | FF: 44.5 кг FFD: 43.2 кг |
У трёх типоразмеров различаются входной фланец, скорость откачки и масса. При замене проверьте свободное место, ответный фланец, положение насоса и совместимость контроллера; одинаковый выпуск KF40 не определяет взаимозаменяемость.
Полные технические характеристики
Для шести исполнений отдельно показаны входной фланец, предельное давление с разными уплотнениями, смазка и ориентация. Номинальную скорость для расчёта системы сопоставляют с характеристикой рабочего газа.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Параметр / модель | FF160/800 | FFD160/800 | FF200/1400 | FFD200/1400 | FF250/2000 | FFD250/2000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Входной фланец | ISO160/CF160 | ISO160/CF160 | ISO200/CF200 | ISO200/CF200 | ISO250/CF250 | ISO250/CF250 |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
| Скорость откачки | 800 л/с | 800 л/с | 1400 л/с | 1400 л/с | 2000 л/с | 2000 л/с |
| Предельное давление (металлическое уплотнение) | 5×10⁻⁸ Па | 5×10⁻⁸ Па | 5×10⁻⁸ Па | 5×10⁻⁸ Па | 5×10⁻⁸ Па | 5×10⁻⁸ Па |
| Предельное давление (витоновое уплотнение) | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па | 5×10⁻⁷ Па |
| Степень сжатия N₂ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ |
| Степень сжатия H₂ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ | 1×10⁵ |
| Скорость вращения | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин | 24 000 об/мин |
| Время запуска | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин | <10 мин |
| Смазка | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный | 150 мл | Безмасляный |
| Ориентация/установка | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол | Вертикальное | Любой угол |
| Охлаждение | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное | Жидкостное или воздушное |
| Расход охлаждающей жидкости | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч | 90 л/ч |
| Температура охлаждающей жидкости | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C | <24 °C |
| Масса | 31 кг | 29.7 кг | 44.5 кг | 43.2 кг | 44.5 кг | 43.2 кг |
Смазка и ориентация: FF и FFD
Внутри каждой пары номинальная скорость одинакова. Различия исполнения определяют условия установки и обслуживания.
Безмасляные FFD
Для FFD указано безмасляное исполнение и установка под любым углом. Это не отменяет требований к подшипникам, обслуживанию, креплению и подключению коммуникаций.
Присоединение и охлаждение
Камера и форвакуумная линия
Для FF160/800 и FFD160/800 указан ISO160/CF160; для пары 200/1400 — ISO200/CF200; для 250/2000 — ISO250/CF250. ISO- и CF-исполнения выбирают по ответной части камеры и требуемому уплотнению.
При подборе форнасоса учитывают состав и расход газа, допустимое давление на выпуске и сопротивление линии. Присоединение KF40 само по себе не задаёт требуемую производительность форнасоса.
Тепловой режим
Предусмотрено жидкостное или воздушное охлаждение. Способ охлаждения и наличие вентилятора либо водяных подключений согласуют с комплектацией и газовой нагрузкой.
- Расход охлаждающей жидкости — 90 л/ч.
- Температура охлаждающей жидкости — ниже 24 °C.
- Давление, качество воды, подключения и контроль охлаждения согласуют по руководству исполнения.
Что передать для подбора и замены
Газ и рабочая точка
Состав газа или смеси, расход с условиями приведения, рабочее и требуемое предельное давление, непрерывный или циклический режим.
Монтаж и коммуникации
Фланец, уплотнение, чертёж камеры, положение насоса и доступное место. Укажите параметры охлаждения и действующий форнасос.
Насос и управление
Полные обозначения насоса, контроллера и кабелей. Для замены приложите фото шильдиков; согласуем комплект, подключение и документацию.
Другие группы насосов FF / FFD
Сравните типоразмеры и входные присоединения либо вернитесь к общему обзору серии FF / FFD.
FF320 и FFD320
3200–3800 л/с · ISO320 / CF320
- FF320/3200 / FFD320/3200
- FF320/3400 / FFD320/3400
- FF320/3800 / FFD320/3800
FF350 и FFD350
3500–4600 л/с · VG350
- FF350/3500 / FFD350/3500
- FF350/4200 / FFD350/4200
- FF350/4600 / FFD350/4600
FF400 и FFD400
4000–5000 л/с · ISO400 / CF400
- FF400/4000 / FFD400/4000
- FF400/4500 / FFD400/4500
- FF400/5000 / FFD400/5000
Вопросы о FF/FFD 160, 200 и 250
Чем отличаются типоразмеры 160, 200 и 250?
Они имеют номинальные скорости 800, 1400 и 2000 л/с и соответствующие входные фланцы ISO/CF160, 200 и 250. Частота вращения у представленных моделей — 24000 об/мин; масса зависит от типоразмера и исполнения и приведена в полной таблице.
Что выбрать: FF или FFD?
Для стандартного FF указаны 150 мл смазки и вертикальная установка. FFD — безмасляное исполнение, допускающее установку под любым углом. Регламент обслуживания, крепление и подключения проверяют по руководству точной модели.
Можно ли выбрать воздушное охлаждение?
Для этой группы указано жидкостное или воздушное охлаждение. Допустимую тепловую нагрузку и состав охлаждающего комплекта согласуют для конкретного режима работы.
Почему приведены два значения предельного давления?
В таблице разделены металлическое и витоновое уплотнения: 5×10⁻⁸ и 5×10⁻⁷ Па соответственно. Это параметры насоса при соответствующих условиях; давление в камере также зависит от газовыделения, герметичности и проводимости соединений.
Подбор по техническому заданию
Подобрать FF/FFD 160, 200 и 250 для вашей установки
Пришлите состав и расход газа, рабочее давление, фланец и ориентацию насоса. Для замены приложите данные насоса и контроллера. Обсудим исполнение, охлаждение и комплект подключения.
Актуальные предложения и ключевые направления
