Стилусный профилометр JS10С

Стилусный профилометр JS10С — это высокоточный зондовый измеритель, предназначенный для 2D-сканирования образцов с высоким разрешением, а также измерения напряжения в пленках и других тонких образцах. Модель подходит для измерения профиля поверхности полупроводниковых пластин в контактном режиме в микроэлектронике (контроль шероховатости, измерение краевых эффектов и др.). Прибор можно использовать как при работе в исследовательских лабораториях, так и для образовательных учреждений. Устройство подойдёт также для проведения измерений в высокоточной механике, анализа изделий после металлообработки и других задач.

Зондовый профилометр JS10С обладает функцией бесшовного сканирования поверхности (размер до 55 мм). Ручной столик позволяет размещать пластины и другие образцы диаметром до 150 мм. Встроенная высокоточная система контроля нажатия стилуса обеспечивает превосходную линейность и максимально возможное вертикальное разрешение до 0.05 нм. Отличие напольной системы JS100C от модели JS10C заключается в наличие автоматизированного столика образцов, функции 3D сканирования и анализа топографии, наличия виброоснования на базе гранитной плиты и расширенных портов доступа для управления системой. Ближайшие аналоги JS10C— стилусные профилометры KLA Tencor (линейка AlphaStep), Bruker (линейка Dektal), Taylor Hobson (линейка Talysurf) и другие.

Ближайшие аналоги JS10С — стилусные профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep и другие.

Воспроизводимость измерения высоты <0.5 нм (при измерении ступени 1 мкм (1σ) при сканировании до 30 раз)

Стилусный профилометр JS10С имеет опциональную пассивную систему виброизоляции, которая повышает точность измерений в условиях вибраций. Профилометр опционально поставляется с программным обеспечением, позволяющим легко анализировать полученные данные. Также доступны опции для интеграции в чистые помещения (FFU-модуль),  автоматизированные линии и стилусные зонды разной конфигурации с алмазным наконечником.

Диаметр скругления зонда ≤ 1 мкм	Диаметр скругления зонда ≥ 2 мкм

Особенности стилусного профилометра серии JS10С:

• Быстрый бесконтактный неразрушающий замер 2D-текстуры образца.
• Измерение шероховатости образца, кривизны поверхности, толщины пленок, анализ дефектов (микротрещины, сколы, царапины) и др.
• Ручной столик для образцов диаметром до 150 мм и толщиной до 50 мм.
• Возможность проведения сканирования образца без необходимости прерывания и сшивки профилей на расстоянии до 55 мм.
• Система постоянного контроля усилия давления стилуса (0.5–50 мг).
• Вертикальное разрешение до 0.05 нм
• Превосходная плоскостность сканирования — менее 20 нм в пределах 2 мм.

Опции:

• Расширенный ЗИП набор (набор опциональных зондов, сервисный набор).
• Тестовая пластина (проверка плоскостности сканирования).
• ИБП On-line типа (время автономной работы: 5 мин.).
• Активная виброизоляционная платформа.

Примеры применения:

Контроль толщины слоя металлизации

Контроль нанесения фоторезиста

Анализ толщины пленки

Внешний вид измерительного ПО:

Интерфейс контрольной CCD камеры

Процесс измерения 2D профиля

Стилусный профилометр серии JS представлен в демонстрационной лаборатории нашей компании. Вы можете ознакомиться с работой профилометра в действии и оценить его ключевые преимущества на практике.

О производителе:

О компании: