Эллипсометры и рефлектометры
Ручной лазерный эллипсометр с фиксированной длиной волны 632.8 нм
Столик для образцов: 4, 6, 8, 12 дюймов.
| Модель | MUL LM |
|---|---|
| Измеряемые параметры | Эллипсометрические углы Ψ и Δ, толщина пленки (d), показатель преломления (n) |
| Точность измерения | Толщина: 0.1 нм, Показатель преломления: 0.001 |
| Длина волны источника | 632.8 нм (гелий-неоновый лазер) |
| Оптическая компенсация | Один компенсатор (одна компенсирующая пластина) |
| Оптическое детектирование | Автоматическая регулировка усиления |
| Скорость измерения (одна точка) | ~1 секунда |
| Опции | Микро-пятно (Micro Spot): 30 мкм;
Столик для образцов: 4, 6, 8, 12 дюймов. |
Лазерный эллипсометр MUL-LM – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Прибор предназначен для использования в учебных, научно-исследовательских лабораториях и на производствах, где требуется гибкость и прямое управление оператора.
Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления *n* и коэффициента экстинкции *k*. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов. Базовая конфигурация ориентирована на ручное размещение образцов и управление.
 |
 |
Фото программного обеспечения системы
Ручное управление: Конфигурация ориентирована на прямое взаимодействие оператора с прибором, что идеально для обучения и исследовательских задач.
Высокая точность: измерение толщины — от 0.1 нм, показателя преломления — от 0.001.
Высокая скорость точечного измерения — около 1 секунды, с возможностью оптимизации.
Оптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.
Современный пользовательский интерфейс, упрощающий проведение измерений и анализ данных.
Ручной столик для размещения образца.
Ручной гониометр с плавной регулировкой угла падения в диапазоне 40° – 90°.
Возможность опционального оснащения системой позиционирования (камера + автофокус).
| Характеристика | MUL-M | MUL-A | MUL-LM | MUL-LA |
|---|---|---|---|---|
| Краткое описание | Спектральный эллипсометр | Одноволновый лазерный эллипсометр | ||
| Автоматический столик | Нет | Да | Нет | Да |
| Камера с автофокусом и объективом | Нет | Да | Нет | Да |
| Опции расширения спектра | BASE: 350 – 1050 нм
UV: 245 – 1050 нм |
BASE: 350 – 1050 нм
UV: 245 – 1050 нм |
Фиксированная длина волны: 632.8 нм | |
| Микро-пятно (Micro Spot) | 30 мкм
(стандарт 200 мкм) |
30 мкм
(стандарт 200 мкм) |
– | |
В запросе укажите Лазерный ручной эллипсометр MUL-LM. Укажите материал и размеры образца, диапазон высот, измеряемые свойства и необходимость автоматического сканирования.
