Эллипсометры и рефлектометры
Автоматический лазерный эллипсометр с фиксированной длиной волны 632.8 нм
Столик для образцов: 4, 6, 8, 12 дюймов.
| Модель | MUL LA |
|---|---|
| Измеряемые параметры | Эллипсометрические углы Ψ и Δ, толщина пленки (d), показатель преломления (n) |
| Точность измерения | Толщина: 0.1 нм, Показатель преломления: 0.001 |
| Длина волны источника | 632.8 нм (гелий-неоновый лазер) |
| Оптическая компенсация | Один компенсатор (одна компенсирующая пластина) |
| Оптическое детектирование | Автоматическая регулировка усиления |
| Скорость измерения (одна точка) | ~1 секунда |
| Опции | Микро-пятно (Micro Spot): 30 мкм;
Столик для образцов: 4, 6, 8, 12 дюймов. |
Лазерный эллипсометр MUL-LA – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Прибор предназначен для интеграции в автоматизированные технологические процессы и системы контроля качества на производстве, обеспечивая высокую пропускную способность.
Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления *n* и коэффициента экстинкции *k*. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов. Конфигурация поддерживает полную автоматизацию измерений.
 |
 |
Фото программного обеспечения системы
Полная автоматизация: Интеграция в автоматические линии с поддержкой систем подачи (конвейерная лента, робот-манипулятор).
Сверхвысокая скорость измерений: Цикл измерений (Cycle Time) может быть оптимизирован до 0.5 секунды на точку.
Оптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.
Координатное сканирование (mapping): Поддержка двух режимов сканирования: по декартовым (X-Y) и полярным (R-θ) координатам.
Промышленная интеграция: Возможность подключения к системам MES (Manufacturing Execution System) и удаленного управления.
Автоматический столик: X-Y или R-θ для сканирования по площади образца.
Ручной гониометр с плавной регулировкой угла падения в диапазоне 40° – 90° (настройка производится оператором).
Возможность оснащения системой позиционирования (камера + автофокус).
| Характеристика | MUL-M | MUL-A | MUL-LM | MUL-LA |
|---|---|---|---|---|
| Краткое описание | Спектральный эллипсометр | Одноволновый лазерный эллипсометр | ||
| Автоматический столик | Нет | Да | Нет | Да |
| Камера с автофокусом и объективом | Нет | Да | Нет | Да |
| Опции расширения спектра | BASE: 350 – 1050 нм
UV: 245 – 1050 нм |
BASE: 350 – 1050 нм
UV: 245 – 1050 нм |
Фиксированная длина волны: 632.8 нм | |
| Микро-пятно (Micro Spot) | 30 мкм
(стандарт 200 мкм) |
30 мкм
(стандарт 200 мкм) |
– | |
В запросе укажите Лазерный автоматический эллипсометр MUL-LA. Укажите материал и размеры образца, диапазон высот, измеряемые свойства и необходимость автоматического сканирования.
