Комбинированные системы напыления
Малогабаритная технологическая платформа PicoVAC для лабораторных, исследовательских и учебных задач нанесения покрытий. Состав процессных устройств выбирается под технологию.
Расположение образцов – лицевой стороной вниз;
| Размер образцов | Обработка образцов диаметром до 100 мм;
Расположение образцов – лицевой стороной вниз; |
|---|---|
| Источники питания | Постоянный ток (DC): мощность 1000-1500 Вт
Индуктивно-связанная плазма (ICP): мощность 600-1000 Вт, частота 13.56 МГц; Электронно-лучевой испаритель: мощность до 6 КВт; |
| Система ионного ассистирования | Мощность до 2 КВт, для повышения плотности и однородности напыляемых покрытий; |
| Нагрев | Ламповый до 350оС, либо до 600оС |
| Давление в камере | Откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
Рабочее давление в реакторе 10-2 – 10-6 торр; Контроль давления – химически стойкие мембранные датчики, блокировка на открытие клапанов; |
| Количество газовых каналов | От одного до четырех, в зависимости от технологического процесса;
Максимальный расход от 20 см3/мин до 100 см3/мин; Электронные регуляторы расхода газов; |
| Управление | Ручное или автоматическое с лицевой панели; |
Вакуумное технологическое оборудование на базе платформы PicoVAC позволяет осуществлять осаждение (Магнетрон, ЭЛИ, ПХТиО и др.) тонкопленочных и многослойных покрытий. Оборудование ориентировано на лабораторное, исследовательское и образовательное применение, а также на мелкосерийное производство.
В запросе укажите Платформа PicoVAC. Укажите материал покрытия и подложки, размер образца, выбранный способ нанесения и требуемую толщину слоя.
