Высоковакуумный диапазон
AIM-S — до 10⁻⁸ мбар, AIM-X — до 10⁻⁹ мбар.
Edwards · Датчики с холодным катодом
Датчики с холодным катодом Edwards AIM
Датчики AIM с холодным катодом для контроля высокого вакуума. Исполнения AIM-S и AIM-X различаются нижней границей измерения; фланец выбирают с учётом монтажа и прогрева камеры.
2Моделей и исполнений
Для каких задач подходит AIM
AIM устанавливают на высоковакуумной стороне системы. Чтобы контролировать весь цикл, от начальной откачки до рабочего давления, его дополняют датчиком форвакуума. Совместно проверяют диапазоны, кабели и входы контроллера.
Модели и технические характеристики
| Модель | Диапазон измерения, мбар |
|---|---|
| AIM-S | 10⁻²…10⁻⁸ |
| AIM-X | 10⁻²…10⁻⁹ |
Подключения и общие условия
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Точность | ±30% |
| Максимальное абсолютное давление | 10 бар |
| Питание | +13,5…36 В DC |
| Потребляемая мощность | 2 Вт |
| Аналоговый выход | 2–10 В номинально |
| Уставка | Открытый коллектор, до 40 В DC / 100 мА |
| Рабочая температура | +5…+60 °C |
| Температура хранения | 0…+70 °C |
| Внутренний объём | 26 см³ |
| Разъём | 8-контактный FCC68 / RJ45 |
| Присоединение | NW25 или DN40CF |
| Масса | 0,81 кг (NW25); 1,09 кг (DN40CF) |
| Прогрев DN40CF | До 300 °C, без электронного блока |
Как работает измерение
В электрическом и магнитном полях возникает газовый разряд. Его ток связан с давлением. Электронный блок преобразует сигнал для контроллера; загрязнения и состав газа учитывают при эксплуатации.
Выбор присоединения
NW25 или DN40CF в зависимости от требований установки.
Прогрев
Для DN40CF электронный блок снимают перед высокотемпературным прогревом.
Что согласовать перед подключением
Нижний предел
Выберите S или X по требуемому диапазону.
Прогрев
Укажите температуру и исполнение вакуумного соединения.
Электроника
Нужны питание, кабель, аналоговый вход и логика уставки.
Применение в вакуумной системе
Высоковакуумные камеры
Измерение давления в рабочем диапазоне установки.
Исследовательские системы
Контроль остаточного давления.
Модернизация измерения
Сопоставление диапазона, фланца и контроллера.
Вопросы при подборе
Можно ли измерять атмосферу?
Нет. Диапазон AIM начинается с 10⁻² мбар в сторону более низкого давления; для атмосферы нужен другой датчик.
Можно ли прогревать датчик с электроникой?
Указанный допуск до 300 °C для DN40CF относится к вакуумной части после снятия электронного блока.
Связанные серии и оборудование
Актуальные предложения и ключевые направления
