Диапазон давления
Укажите давление в начале откачки и во время процесса. Для полного цикла могут потребоваться датчики разных принципов измерения.
Edwards · Каталог оборудования
Вакуумные датчики Edwards
Контроль вакуума от начальной откачки до рабочего давления. Сравните APG, APGX-H и AIM по диапазону и принципу измерения, затем проверьте совместимость с газом и контроллером.
Серии и модели
Начните с технологии или откройте знакомую серию. На страницах моделей собраны характеристики и условия подключения.
Датчики Пирани
Edwards APG / APG100
Датчики Пирани APG и APG100 для наблюдения за форвакуумной откачкой.
Модели и характеристики →
Конвекционный вакуумный датчик
Edwards APGX-H
Конвекционный датчик APGX-H охватывает диапазон от 1333 до 3×10⁻⁴ мбар.
Модели и характеристики →
Датчики с холодным катодом
Edwards AIM
Датчики AIM с холодным катодом для контроля высокого вакуума.
Модели и характеристики →Как сузить выбор
| Задача | Серия | Что проверить |
|---|---|---|
| Форвакуум | Edwards APG / APG100 | Исполнение, нижний предел и состав газа |
| Широкий тепловой диапазон | Edwards APGX-H | 1333…3×10⁻⁴ мбар; питание и преобразование сигнала |
| Высокий вакуум | Edwards AIM | AIM-S до 10⁻⁸, AIM-X до 10⁻⁹ мбар; фланец и прогрев |
Как выбрать датчик для установки
Рабочий газ
Показания зависят от состава газа. Для тепловых датчиков важно учитывать калибровку и поправки.
Контроллер и монтаж
Сообщите модель контроллера, тип фланца и условия прогрева. Это поможет проверить совместимость до заказа.
Быстрый переход к серии и модели
Датчики Пирани Edwards APG / APG100
Датчики Пирани APG и APG100 для наблюдения за форвакуумной откачкой. Сравните диапазоны и исполнения, чтобы выбрать головку для Вашего контроллера и рабочей среды.
Датчики с холодным катодом Edwards AIM
Датчики AIM с холодным катодом для контроля высокого вакуума. Исполнения AIM-S и AIM-X различаются нижней границей измерения; фланец выбирают с учётом монтажа и прогрева камеры.
Конвекционный вакуумный датчик Edwards APGX-H
Конвекционный датчик APGX-H охватывает диапазон от 1333 до 3×10⁻⁴ мбар. Аналоговый выход позволяет включить измерение давления в систему контроля установки.
Что передать для инженерного подбора
Процесс и рабочая среда
Газовый состав, пары воды и растворителей, частицы, температура, непрерывная или циклическая работа.
Вакуумная задача
Объём камеры, начальное и рабочее давление, требуемый цикл, газовый поток и модель высоковакуумной ступени.
Подключения и замена
Фланцы, схема трубопровода, питание, охлаждение, автоматика. Для действующего насоса — фото шильдика.
Вопросы при подборе
Можно ли подобрать замену установленному Edwards?
Да. Для сравнения нужны полное обозначение и рабочие параметры. Помимо быстроты проверяются фланцы, габариты, питание, охлаждение, газ и управление.
Какие данные нужны, если модель ещё не выбрана?
Достаточно начать с описания процесса, объёма камеры, требуемого давления и времени цикла. Состав газа и доступные подключения помогут определить технологию.
Почему сухой насос не всегда лучший выбор?
Выбор зависит от чистоты процесса, газовой нагрузки, требуемого давления и эксплуатации. В ряде задач применяют маслозаполненные насосы; для увеличения потока используют бустерные системы.
Актуальные предложения и ключевые направления
