Вакуумная техника · CBVAC
Подбор насоса, форвакуумной ступени и управления под вашу установку. Сравните MTP на магнитном подвесе, JFB с консистентной смазкой и JZB с выпуском в атмосферу — и выберите направление для проработки технического задания.
Три направления
Для выбора важны газовая нагрузка, требуемое давление, чистота процесса и состав откачной системы. Откройте страницу серии, чтобы перейти к её характеристикам и вариантам подключения.
MTP и JFB подбирают вместе с форвакуумным насосом. JZB — отдельный класс композитных насосов с выпуском в атмосферу; его рабочие характеристики следует рассматривать отдельно.
Тип опоры ротора и устройство откачных ступеней определяют требования к монтажу, охлаждению и обслуживанию.
На узком экране таблицы прокручиваются по горизонтали.
| Направление | Конструктивное отличие | Откачная система | Что учесть при выборе |
|---|---|---|---|
| MTP | Магнитный подвес ротора; встроенный контроллер. | Нужны отдельная форвакуумная ступень и водяное охлаждение. | Газ, фланец, рабочий поток, продувка и температурный режим конкретного исполнения. |
| JFB | Прецизионные керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой. | Нужен форвакуумный насос; охлаждение выбирают по модели и нагрузке. | Скорость по нужному газу, допустимое давление на выпуске, тип уплотнения и обслуживание опор. |
| JZB | Композитная конструкция с выпуском в атмосферу. | Без внешнего форвакуумного насоса; требуется водяное охлаждение. | Рабочая точка на откачной кривой, условия выпуска, питание и вертикальный монтаж. |
Чистоту вакуума оценивают по всей системе: материалам камеры, уплотнениям, форвакуумной ступени и составу газа. Тип подшипника сам по себе не определяет остаточный газовый состав.
Параметры для первичного выбора
Параметры приведены для перечисленных исполнений. Для окончательного выбора сопоставляют кривую скорости с рабочим давлением, составом газа и проводимостью вакуумного тракта.
Скорость зависит от входного фланца: у MTP-3201CT исполнения ISO250F и ISO320F имеют разные значения. Для приведённых моделей предусмотрены встроенное управление и водяное охлаждение.
| Модель | Входной фланец | N₂ | Ar | H₂ | Форвакуумная ступень, л/с |
|---|---|---|---|---|---|
| MTP-2201CT | ISO250F | 2200 | 1900 | 1700 | ≥22 |
| MTP-3201CT | ISO250F | 2650 | 2300 | 2050 | ≥30 |
| MTP-3201CT | ISO320F | 3200 | 2800 | 2300 | ≥30 |
Предельное давление 1 × 10−7 Па указано после прогрева. Это характеристика испытательного режима насоса; достижимое давление в установке зависит также от газовыделения, герметичности и форвакуума.
Компактная конструкция объединяет насос и контроллер. Для указанных моделей используются керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой; скорость по гелию отличается от скорости по азоту.
| Модель | Входной фланец | N₂, л/с | He, л/с | Предельное давление ISO-K/LF / CF, Па | Рекомендуемый форвакуум, л/с |
|---|---|---|---|---|---|
| JFB-63/81 | LF63 / CF63 | 85 | 55 | <8 × 10−6 / <8 × 10−7 | 0,5–2 |
| JFB-100/301 | DN100 ISO-K/LF или CF | 300 | 230 | <5 × 10−6 / <5 × 10−7 | 2–6 |
| JFB-160/401 | DN160 ISO-K/LF или CF | 460 | 380 | <5 × 10−6 / <5 × 10−7 | 2–6 |
| JFB-160/450D | DN160 ISO-K/LF или CF | 380 | 310 | <8 × 10−6 / <8 × 10−7 | 3–8 |
| JFB-160/701 | DN160 ISO-K/LF или CF | 700 | 550 | <5 × 10−6 / <5 × 10−7 | 4–10 |
| JFB-200/1401 | DN200 ISO-K/LF или CF | 1350 | 1200 | <5 × 10−6 / <5 × 10−7 | 8–16 |
| JFB-250/2201 | DN250 ISO-K/LF или CF | 2050 | 1800 | <5 × 10−6 / <5 × 10−7 | 16–24 |
В таблице предельное давление дано отдельно для ISO-K/LF и CF. Рабочую нагрузку и способ охлаждения проверяют по точной модели: одинаковый присоединительный размер не означает одинаковую скорость откачки.
Два исполнения отличаются входным фланцем, быстротой действия и предельным давлением. Значения в м³/ч характеризуют JZB и не образуют прямого сравнения с номинальной скоростью MTP и JFB в молекулярном режиме.
| Модель | Входной фланец | Быстрота действия, м³/ч | Предельное давление, Па | Масса, кг |
|---|---|---|---|---|
| JZB-63/180 | LF63 | 175 | <1 × 10−2 | 45 |
| JZB-160/500 | LF160 | 500 | <1 × 10−4 | 47 |
Для обоих исполнений: водяное охлаждение, монтаж вертикально с отклонением не более ±5°, давление на выпуске свыше 500 и ниже 1200 мбар. Условия выпуска и охлаждения входят в проектирование установки.
Турбомолекулярная ступень передаёт молекулам газа импульс вращающегося ротора и направляет их к выпуску. Рабочий режим обеспечивают согласованные откачка, охлаждение и управление.
Инженерный подбор
Для новой установки достаточно описания процесса и требований. При замене насоса приложите фото шильдика, контроллера, фланцев и схему существующей откачки.
| Исходные данные | Что указать | Для чего нужны |
|---|---|---|
| Процесс и газы | Состав, расход, периодичность подачи, конденсируемые пары и частицы. | Исполнение проточной части, продувка, защита и требования к выпуску. |
| Давление | Рабочее и предельное давление, время откачки, режим напуска. | Рабочая точка насоса и последовательность запуска. |
| Камера и тракт | Объём, материалы, тип и размер фланца, чертёж соединений. | Проводимость тракта, совместимость и монтаж. |
| Форвакуум | Модель имеющегося насоса, его кривая, длина линии выпуска. | Согласование ступеней MTP/JFB и допустимой газовой нагрузки. |
| Чистота | Допуски по углеводородам и частицам, требования к материалам. | Тип уплотнений, компоновка и подготовка системы. |
| Коммуникации | Питание, охлаждающая вода, защитный газ, доступное место. | Возможность установки и состав вспомогательного оборудования. |
| Управление | Контроллер установки, интерфейсы, сигналы и блокировки. | Схема подключения, кабели и интеграция в автоматику. |
| Объём поставки | Документация, монтаж, пусконаладка, обучение, сроки проекта. | Состав предложения и границы выполняемых работ. |
Подбираем оборудование по техническому заданию и согласуем комплектацию: насос, управление, форвакуум, арматуру, датчики и соединительные элементы. Для действующей установки проверяем присоединительные размеры и последовательность управления.
Объём работ согласуем под проект: монтаж, пусконаладка, настройка блокировок, обучение и обслуживание. Для сервисного запроса нужны точная модель, серийный номер, симптомы и история эксплуатации.
Уточняем процесс, газовую нагрузку, давление и условия эксплуатации.
Сопоставляем серии и исполнения, форвакуум, охлаждение и управление.
Фиксируем состав поставки, документацию, стоимость и сроки.
Согласуем запуск, обучение и регламент сопровождения оборудования.
Нужны также рабочее давление, состав и поток газа, проводимость тракта и условия выпуска. Номинальная скорость на входе насоса отличается от эффективной скорости у камеры.
Для MTP и JFB — да. Его выбирают по требованиям конкретной модели и рабочей нагрузке. JZB имеет выпуск в атмосферу и рассматривается как отдельная композитная конструкция.
У них разные способы соединения и уплотнения. В таблицах JFB предельное давление указано отдельно для каждого варианта. Для замены нужны тип фланца, размер и чертёж соединения.
Число в обозначении не заменяет техническую характеристику. Для JFB-160/401 приведена скорость 460 л/с по азоту и 380 л/с по гелию; при подборе используют таблицу и откачную кривую.
Согласуем контроллер, интерфейс, распиновку, кабели и перечень блокировок. Наличие RS-485 или другого интерфейса проверяется для точного исполнения; единого набора подключений для всех серий нет.
Фото шильдика и разъёмов, обозначение контроллера, размеры фланцев, газовый состав и рабочее давление. Также полезны схема откачки и сведения об охлаждении.
От задачи к конфигурации
Пришлите техническое задание или описание процесса. Согласуем модель, форвакуум, управление и состав работ для подготовки коммерческого предложения.
