Гибридные турбомолекулярные насосы CBVAC JZB обеспечивают сухую откачку от атмосферного давления до области высокого вакуума без отдельного форвакуумного насоса. Серия включает JZB-63/180 с максимальной скоростью откачки 175 м³/ч и JZB-160/500 — 500 м³/ч. Прямой выпуск при давлении, близком к атмосферному, позволяет сократить состав насосной системы и упростить её интеграцию в технологическое оборудование.
Гибридная схема откачки
Классический турбомолекулярный насос работает совместно с отдельной форвакуумной ступенью. В насосах JZB используется многоступенчатая гибридная схема, позволяющая начинать откачку при атмосферном давлении и поддерживать на выпуске давление, близкое к атмосферному.
Отдельный форвакуумный насос поддерживает допустимое давление на выпуске турбомолекулярной ступени.
Отдельная форвакуумная машина не требуется. Насос JZB объединяет необходимые ступени откачки в одном агрегате.
Модельный ряд
JZB-63/180 предназначен для систем меньшей производительности и оснащён входным фланцем LF63. JZB-160/500 обеспечивает максимальную скорость откачки 500 м³/ч, использует вход LF160 и достигает более низкого предельного давления.
Гибридный турбомолекулярный насос с входным фланцем LF63
Гибридный турбомолекулярный насос с входным фланцем LF160
Технические характеристики
При выборе типоразмера основными параметрами являются скорость откачки, требуемое предельное давление, присоединительный размер, электрическая нагрузка и динамика выхода на рабочий режим.
| Параметр | JZB-63/180 | JZB-160/500 |
|---|---|---|
| Максимальная скорость откачки м³/ч | 175 | 500 |
| Предельное давление Па / мбар |
<1×10−2 Па
(<1×10−4 мбар) |
<1×10−4 Па
(<1×10−6 мбар) |
| Входной фланец | LF63 | LF160 |
| Масса кг | 45 | 47 |
| Номинальная мощность кВт | 1,4 | 1,6 |
| Максимальный пусковой ток А | 13 | 14 |
| Рабочий ток А | <6 | <6,5 |
| Время разгона мин | ≈2 | ≈3 |
Для присоединения к вакуумной системе необходимо учитывать исполнение ответного фланца, геометрию трубопровода и его фактическую проводимость.
Конструктивные особенности
Насос запускается при атмосферном давлении и не требует отдельного форвакуумного агрегата.
Внутренняя схема обеспечивает переход от атмосферного давления к области высокого вакуума в одном насосном агрегате.
Газовый тракт рассчитан на высоковакуумные процессы, где требуется минимизировать риск загрязнения масляной рабочей жидкостью.
В роторной системе применяются прецизионные керамические шарикоподшипники.
Отсутствие отдельного форвакуумного насоса уменьшает количество активного оборудования в составе вакуумной установки.
Для эксплуатации требуется стабильный контур охлаждения с заданными расходом, температурой и давлением воды.
Технологическая среда
Для насосов JZB предусмотрена опциональная азотная продувка. Она может применяться при откачке водяного пара, слабоагрессивных паров и технологических сред, содержащих частицы.
Подача сухого азота снижает воздействие конденсируемых компонентов и загрязнений на внутренние элементы. Необходимость продувки, её расход и режим работы определяются составом газа и параметрами технологического процесса.
Инженерный подбор
Номинальная скорость откачки не равна фактической производительности вакуумной системы. При расчёте учитываются объём камеры, газовая нагрузка, проводимость вакуумного тракта, рабочее давление, требуемое время откачки и параметры инженерных коммуникаций.
Определяют требуемую эффективную скорость откачки непосредственно у вакуумной камеры.
JZB-160/500 обеспечивает более низкое предельное давление, чем JZB-63/180.
Диаметр, длина трубопровода, клапаны, переходники и геометрия соединений влияют на эффективную скорость откачки у камеры.
Водяной пар, конденсируемые компоненты, химически активные вещества и частицы требуют отдельной оценки.
Необходимо учитывать параметры трёхфазной сети, пусковой ток и подключение дистанционного управления.
Требуется водяной контур с заданными параметрами. Насос устанавливается вертикально с допустимым отклонением ±5°.
Применение
Высоковакуумные подсистемы анализаторов и исследовательских приборов, где важны компактная компоновка и сухая откачка.
Технологические установки подготовки, обработки и нанесения покрытий в вакуумной среде.
Вакуумные камеры и вспомогательные модули исследовательских и технологических комплексов.
Системы, в которых необходимо сократить количество насосного оборудования и занимаемое им пространство.
Криосистемы × CBVAC
При интеграции гибридного турбомолекулярного насоса необходимо проверить параметры камеры, проводимость вакуумного тракта, выпускную линию, охлаждение, электропитание, управление и условия технологической среды.
Связанные решения
Вопросы и ответы
Нет. Гибридные турбомолекулярные насосы JZB рассчитаны на запуск при атмосферном давлении и работу без отдельной форвакуумной ступени. Давление на выпуске должно находиться в допустимом диапазоне более 500 и менее 1200 мбар.
Классический турбомолекулярный насос требует отдельного форвакуумного насоса. В JZB используется гибридная многоступенчатая схема, позволяющая начинать откачку от атмосферного давления и работать с прямым выпуском при давлении, близком к атмосферному.
JZB-63/180 обеспечивает максимальную скорость откачки 175 м³/ч, имеет вход LF63 и предельное давление менее 1×10⁻² Па. JZB-160/500 обеспечивает 500 м³/ч, использует вход LF160 и достигает менее 1×10⁻⁴ Па.
Для процессов с водяным паром предусмотрена опциональная азотная продувка. Необходимый режим зависит от паровой нагрузки, температуры и условий технологического процесса.
Для слабоагрессивных паров может применяться азотная продувка. При работе с коррозионными, химически активными или реакционноспособными средами необходимо отдельно подтвердить совместимость оборудования и условия эксплуатации.
Используется водяное охлаждение. Давление охлаждающей воды должно составлять 0,2–0,7 МПа, температура — 15–35 °C, расход — более 2 л/мин.
Насос устанавливается вертикально. Допустимое отклонение от вертикальной оси составляет ±5°.
Для инженерного подбора необходимо указать объём камеры, начальное, рабочее и требуемое конечное давление, время откачки, состав газовой среды, параметры вакуумного тракта, условия на выпуске, электропитание и параметры системы охлаждения.
Инженер проверит требуемую скорость откачки, конечное давление, проводимость вакуумного тракта, условия на выпуске, параметры охлаждения и характеристики технологической среды.
