Магнитоподвесные молекулярные насосы CBVAC — высокая скорость откачки и надежность для чистых производств

Магнитоподвесные молекулярные насосы CBVAC серии MTP

Молекулярные насосы серии MTP с магнитной подвеской обеспечивают высокую скорость откачки и исключительную чистоту вакуума. Интегрированный контроллер, отсутствие контактов трущихся частей и антикоррозионные материалы делают эту серию оптимальной для чистых технологических процессов.

Насосы MTP находят применение в производстве полупроводников, тонкоплёночных покрытиях, в вакуумной литографии и ионной имплантации. Их отличает стабильность параметров, низкий уровень вибраций и долговечность эксплуатации.

Назначение и особенности конструкции

Магнитоподвесные молекулярные насосы MTP используются для создания высокого и сверхвысокого вакуума без механического контакта внутри камеры откачки. Благодаря использованию активной магнитной подвески, ротор свободно вращается без трения, что минимизирует загрязнение среды и продлевает срок службы оборудования.

Серия MTP оснащена встроенным контроллером и поддерживает интеллектуальное управление, упрощающее интеграцию в автоматизированные системы. Корпус выполнен из антикоррозионных материалов, устойчивых к агрессивным газовым средам, включая кислород и галогены.

Технические характеристики моделей MTP-2201CT и MTP-3201CT
Модель	MTP-2201CT	MTP-3201CT
Размер фланца	Входной: ISO250F Выходной: KF40	Входной: ISO250F / ISO320F Выходной: KF40
Скорость откачки (Л/с) N₂ / Ar / H₂	N₂: 2200 Ar: 1900 H₂: 1700	N₂: 2650 / 3200 Ar: 2300 / 2800 H₂: 2050 / 2300
Коэффициент сжатия N₂ / H₂	N₂: ≥10⁸ H₂: >1.0×10⁴	N₂: ≥10⁸ H₂: >2.0×10⁴
Предельное давление (Па) (после прокалки)	10⁻⁷	10⁻⁷
Поток азота для продувки (SCCM)	50 ±10	50
Номинальная скорость (об/мин)	27000	27700
Минимальная скорость для работы при отключении питания (об/мин)	Около 5000	Около 5000
Время запуска (мин)	< 8	< 10
Время остановки (мин)	< 11	< 16
Уровень шума (дБ)	< 55 (27000 об/мин)	< 55 (27700 об/мин)
Система температурного контроля	Поддерживается	Поддерживается
Температура прокалки входного фланца (°C)	< 120	< 120
Угол установки	Любой	Любой
Метод охлаждения	Водяное охлаждение	Водяное охлаждение
Скорость откачки форвакуумного насоса (Л/с)	>1300	>1300
Вес (кг)	62	82 / 87
Степень защиты (пыле- и влагозащита)	IP54	IP54
Температура эксплуатации (°C)	0–40	0–40
Температура хранения (°C)	-25–55	-25–55

Технические преимущества

Высокая скорость откачки до нескольких сотен литров в секунду;
Абсолютная чистота откачиваемого объема благодаря отсутствию масел и смазок;
Коррозионная стойкость (в том числе к плазменной среде);
Компактность и модульность — простая установка и замена;
Низкий уровень вибраций и шума, что критично в нанотехнологиях.

Опыт ГК «Криосистемы» во внедрении решений CBVAC

Мы предлагаем полную линейку насосов CBVAC с прямым приводом, включая адаптацию под конкретные производственные процессы. «Криосистемы» предоставляет:

подбор насосов по технологическим условиям;
техподдержку на этапе проектирования;
обучение операторов;
сервис и ремонт на сертифицированной базе.

Оборудование соответствует требованиям ГОСТ и нормам ISO 14644 и ISO 27891.

Оставьте заявку на подбор оборудования

Оставьте заявку — мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение с учётом ваших технических требований, сроков и бюджета.

Мы работаем с комплексными и нестандартными задачами для промышленности, науки и высокотехнологичных отраслей.

Инженер компании внимательно изучит вашу заявку, свяжется для уточнения деталей, проведёт предварительную консультацию и, при необходимости, поможет сформулировать техническое задание.

Наши эксперты обеспечат:

подбор оптимального оборудования из ассортимента собственного и партнёрского производства;
расчёт стоимости, сроков поставки и вариантов комплектации;
оперативную подготовку индивидуального предложения для вашего проекта;
сопровождение на всех этапах — от консультации до пусконаладочных работ и сервисного обслуживания.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ КОНТАКТЫ

Наши преимущества — ваш технологический результат

«Криосистемы» — это инженерная экспертиза, персонализированные решения и надёжное сопровождение на всех этапах работы с вакуумным и криогенным оборудованием. Мы не просто поставляем оборудование — мы проектируем системы, которые решают задачи вашего бизнеса. От подбора модели до пуско-наладочных работ и сервисной поддержки — работаем как единая команда с вашими техническими специалистами.

Профильная инженерная экспертиза

20+ лет в вакуумной и криогенной отрасли. Узкоспециализированные инженеры подбирают решения под конкретные задачи, понимая технические нюансы каждого проекта.

Подбор и проектирование под ТЗ

Разрабатываем системы под технические требования заказчика: от выбора оборудования до проектирования полной вакуумной системы любой сложности.

Индивидуальное производство

Собственная инженерная служба, выезд на объект, запуск, шеф-монтаж и обучение персонала. Работаем с нестандартными задачами и создаём решения «под ключ».

Эксклюзивные поставки

Поставляем оборудование от мировых лидеров:
Brooks Automation, Shimadzu, Anest Iwata, Kashiyama, Janis и др.
Эксклюзивные контракты гарантируют конкурентные условия и прямую техническую поддержку.

Надёжная логистика по РФ и СНГ

Контроль доставки, работа с проверенными ТК, отслеживание на каждом этапе, соблюдение сроков и бюджета.

Сервисная поддержка

Сертифицированный сервис-центр в Москве.
Обслуживаем, консультируем, ремонтируем — удалённо или на месте. Решаем задачи в короткие сроки, без простоев.