При штатном вращении ротор удерживается магнитной системой без механического контакта рабочих опор. Это исключает контактное трение в этих узлах.
CBVAC · серия MTP
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе CBVAC серии MTP
Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы CBVAC MTP предназначены для высоковакуумных технологических установок с высокой газовой нагрузкой. В рабочем режиме ротор удерживается системой магнитного подвеса без контактного трения в рабочих опорах. Серия включает модели MTP-2201CT и MTP-3201CT со скоростью откачки по азоту от 2200 до 3200 л/с. Контроллер магнитной системы интегрирован в насосный модуль.
2200–3200 л/с
скорость откачки по азоту
1×10−7 Па
предельное давление после прогрева
<55 дБ
уровень шума при номинальной частоте вращения
ISO250F / ISO320F
входные фланцы модельного ряда
Конструкция
Магнитная подвеска ротора
В рабочем режиме положение ротора поддерживается системой магнитных опор. Контактное трение в рабочих подшипниковых узлах отсутствует, поэтому для них не требуется масляная смазка. Система управления магнитным подвесом является частью насосного модуля.
Контроллер системы магнитного подвеса интегрирован в конструкцию насоса, что упрощает компоновку высоковакуумного узла и его подключение.
В зависимости от модели, входного фланца и молекулярной массы газа паспортная скорость откачки составляет от 1700 до 3200 л/с.
Производитель допускает установку насосов MTP в произвольном положении. При проектировании необходимо учитывать механическую нагрузку на вакуумный фланец и присоединённые элементы.
Модельный ряд
MTP-2201CT и MTP-3201CT
MTP-2201CT выпускается с входным фланцем ISO250F. Для MTP-3201CT предусмотрены исполнения ISO250F и ISO320F. Увеличенное проходное сечение ISO320F обеспечивает более высокую паспортную скорость откачки.
MTP · ISO250F
MTP-2201CT
Вход ISO250F · выход KF40
2200 л/с
скорость откачки N₂
1900 л/с
скорость откачки Ar
1700 л/с
скорость откачки H₂
62 кг
масса насоса
Требуемая скорость форвакуумной откачки —
не менее 22 л/с.
MTP · ISO250F / ISO320F
MTP-3201CT
Два исполнения входного фланца · выход KF40
2650 / 3200 л/с
N₂ · ISO250F / ISO320F
2300 / 2800 л/с
Ar · ISO250F / ISO320F
2050 / 2300 л/с
H₂ · ISO250F / ISO320F
82 / 87 кг
ISO250F / ISO320F
Требуемая скорость форвакуумной откачки —
не менее 30 л/с.
Технические характеристики
Сравнение MTP-2201CT и MTP-3201CT
Для MTP-3201CT характеристики скорости откачки и массы зависят от размера входного фланца. Поэтому исполнения ISO250F и ISO320F приведены отдельно внутри соответствующих параметров.
| Параметр | MTP-2201CT | MTP-3201CT |
|---|---|---|
| Входной фланец | ISO250F | ISO250F или ISO320F |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 |
| Скорость откачки N₂ л/с | 2200 |
ISO250F
2650
ISO320F
3200
|
| Скорость откачки Ar л/с | 1900 |
ISO250F
2300
ISO320F
2800
|
| Скорость откачки H₂ л/с | 1700 |
ISO250F
2050
ISO320F
2300
|
| Коэффициент сжатия N₂ | >1×108 | >1×108 |
| Коэффициент сжатия H₂ | >1×104 | >2×103 |
| Предельное давление после прогрева Па | 1×10−7 | 1×10−7 |
| Расход продувочного азота sccm | 50 | 50 |
| Номинальная частота вращения об/мин | 27 000 | 27 700 |
| Время запуска мин | ≤8 | ≤10 |
| Время остановки мин | ≤11 | ≤16 |
| Минимальная скорость форвакуумной откачки л/с | ≥22 | ≥30 |
| Масса кг | 62 |
ISO250F
82
ISO320F
87
|
Общие параметры
Уровень шума
<55 дБ
при номинальной частоте вращения
Температурное управление
TMS
поддерживается
Допустимый прогрев входного фланца
<120 °C
Монтажное положение
Произвольное
Охлаждение
Водяное
Степень защиты
IP54
Контроллер
Интегрированный
Работа после пропадания питания
≈5000 об/мин
минимальная частота вращения,
указанная производителем
Паспортное предельное давление указано для условий после прогрева. Давление, достигаемое непосредственно в вакуумной камере, зависит также от герметичности, газовыделения поверхностей, проводимости соединительного тракта и характеристик форвакуумной системы.
Форвакуумная ступень
Требования к форвакуумной откачке
Турбомолекулярные насосы серии MTP работают совместно с отдельной форвакуумной ступенью. Производительность форвакуумного насоса должна соответствовать выбранному типоразмеру MTP и реальной газовой нагрузке технологической установки.
Минимальная скорость форвакуумной откачки
Значения ниже относятся к паспортным требованиям серии. При высокой технологической газовой нагрузке требуемая производительность форвакуумной ступени может определяться расчётом всей системы.
≥22 л/с
MTP-2201CT
· эквивалентно примерно 79 м³/ч
≥30 л/с
MTP-3201CT
· эквивалентно примерно 108 м³/ч
Эксплуатационные условия
Продувка, температурный режим и технологическая среда
Для производственной вакуумной системы важны не только скорость откачки и предельное давление насоса. При подборе MTP необходимо учитывать состав технологических газов, тепловую нагрузку, необходимость продувки и режим охлаждения.
Паспортный расход продувочного азота составляет 50 sccm. Необходимость применения продувки определяется составом откачиваемой среды и режимом процесса.
Серия поддерживает систему температурного управления. Требуемый температурный режим согласуется с газовой нагрузкой и параметрами технологического процесса.
Производитель указывает коррозионную стойкость как одну из особенностей серии MTP. Совместимость с конкретными технологическими газами должна проверяться отдельно.
Насосы используют водяное охлаждение. Стабильность параметров охлаждающего контура необходимо обеспечить при проектировании установки.
Важно:
указание производителя
на коррозионную стойкость
не означает универсальную совместимость
со всеми коррозионными,
реакционноспособными,
токсичными
или конденсируемыми газами.
Рабочая среда должна быть проверена
при выборе конфигурации насоса
и всей вакуумной системы.
Инженерный подбор
Критерии выбора насоса серии MTP
Паспортная скорость насоса и эффективная скорость откачки непосредственно у вакуумной камеры — разные величины. Реальная производительность определяется насосом, проводимостью тракта, газовой нагрузкой и характеристиками форвакуумной ступени.
Производительность MTP различается для N₂, Ar и H₂. В технологической установке необходимо учитывать реальные расходы всех газов.
Выбор выполняется по рабочему диапазону давления, а не только по паспортному предельному значению.
Диаметр, длина, клапаны, изгибы и переходные фланцы определяют проводимость между насосом и камерой.
Для MTP-3201CT исполнение ISO320F обеспечивает более высокую паспортную скорость откачки, но реализовать её можно только при достаточной проводимости вакуумного тракта.
Для MTP-2201CT требуется не менее 22 л/с, для MTP-3201CT — не менее 30 л/с. При высокой газовой нагрузке выполняется дополнительный расчёт.
Проверяются охлаждение, продувочный газ, монтажное положение, механическая нагрузка, питание и сигналы управления.
Применение
Применение насосов MTP в технологическом оборудовании
Серия ориентирована прежде всего на высоковакуумные технологические процессы с высокой требуемой скоростью откачки.
Осаждение тонких плёнок
Вакуумные подсистемы оборудования PVD, CVD и других процессов формирования функциональных тонкоплёночных слоёв.
Травление
Вакуумные системы технологического оборудования для сухого и плазменного травления.
Ионная имплантация
Высоковакуумные узлы установок, где необходимы высокая скорость откачки и стабильное поддержание технологического вакуума.
Полупроводниковое производство
Насосы MTP применяются в вакуумных подсистемах оборудования для производства полупроводниковых изделий.
Криосистемы × CBVAC
Подбор, интеграция и сервис насосов CBVAC MTP
При проектировании высоковакуумной системы необходимо согласовать турбомолекулярную и форвакуумную ступени, параметры вакуумного тракта, охлаждение, продувку и условия технологического процесса.
Связанные решения
Оборудование для высоковакуумных систем
Вопросы и ответы
Частые вопросы о турбомолекулярных насосах MTP
В чём особенность магнитного подвеса MTP?
В рабочем режиме ротор поддерживается магнитной системой без контактного трения в рабочих опорах. Контроллер магнитной системы интегрирован в насосный модуль.
Требуется ли для MTP форвакуумный насос?
Да. Для MTP-2201CT производитель указывает форвакуумную скорость не менее 22 л/с, для MTP-3201CT — не менее 30 л/с. Конкретный форвакуумный насос выбирается с учётом газовой нагрузки установки.
Чем MTP-2201CT отличается от MTP-3201CT?
MTP-2201CT имеет вход ISO250F и скорость откачки по азоту 2200 л/с. MTP-3201CT выпускается с входом ISO250F или ISO320F и обеспечивает соответственно 2650 или 3200 л/с по азоту.
Почему у MTP-3201CT указаны две скорости откачки?
Значение зависит от исполнения входного фланца. Для ISO250F скорость по азоту составляет 2650 л/с, для ISO320F — 3200 л/с. Аналогичная зависимость предусмотрена для Ar и H₂.
Какое предельное давление указано для MTP?
Для обеих моделей производитель указывает предельное давление 1×10⁻⁷ Па после прогрева. Давление непосредственно в реальной установке зависит от характеристик всей вакуумной системы.
Можно ли устанавливать MTP горизонтально?
Да. В технических характеристиках серии указано произвольное монтажное положение. При проектировании необходимо обеспечить допустимую механическую нагрузку на присоединительный фланец.
Предусмотрена ли азотная продувка?
Да. Для обеих моделей указан расход продувочного азота 50 sccm. Необходимость продувки определяется условиями конкретного технологического процесса.
Чем MTP отличается от серии JZB?
MTP — турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе, работающие совместно с форвакуумной ступенью. Гибридные турбомолекулярные насосы JZB рассчитаны на откачку от атмосферного давления без отдельного форвакуумного насоса.
Какие данные нужны для подбора MTP?
Для подбора необходимо указать объём камеры, рабочее и требуемое конечное давление, состав и расход технологических газов, время откачки, размеры вакуумного тракта, характеристики форвакуумного насоса, условия охлаждения и особенности технологического процесса.
Подберём CBVAC MTP под параметры Вашей вакуумной системы
Инженер проверит рабочий диапазон давления, состав и расход технологических газов, эффективную скорость у камеры, проводимость вакуумного тракта, параметры форвакуумной ступени и требования к охлаждению.
Актуальные предложения и ключевые направления
