Магнитоподвесные молекулярные насосы CBVAC серии MTP

Молекулярные насосы серии MTP с магнитной подвеской обеспечивают высокую скорость откачки и исключительную чистоту вакуума. Интегрированный контроллер, отсутствие контактов трущихся частей и антикоррозионные материалы делают эту серию оптимальной для чистых технологических процессов.

Насосы MTP находят применение в производстве полупроводников, тонкоплёночных покрытиях, в вакуумной литографии и ионной имплантации. Их отличает стабильность параметров, низкий уровень вибраций и долговечность эксплуатации.

Назначение и особенности конструкции

Магнитоподвесные молекулярные насосы MTP используются для создания высокого и сверхвысокого вакуума без механического контакта внутри камеры откачки. Благодаря использованию активной магнитной подвески, ротор свободно вращается без трения, что минимизирует загрязнение среды и продлевает срок службы оборудования.

Серия MTP оснащена встроенным контроллером и поддерживает интеллектуальное управление, упрощающее интеграцию в автоматизированные системы. Корпус выполнен из антикоррозионных материалов, устойчивых к агрессивным газовым средам, включая кислород и галогены.
Технические характеристики моделей MTP-2201CT и MTP-3201CT
Модель MTP-2201CT MTP-3201CT
Размер фланца Входной: ISO250F
Выходной: KF40
Входной: ISO250F / ISO320F
Выходной: KF40
Скорость откачки (Л/с)
N₂ / Ar / H₂
N₂: 2200
Ar: 1900
H₂: 1700
N₂: 2650 / 3200
Ar: 2300 / 2800
H₂: 2050 / 2300
Коэффициент сжатия
N₂ / H₂
N₂: ≥10⁸
H₂: >1.0×10⁴
N₂: ≥10⁸
H₂: >2.0×10⁴
Предельное давление (Па)
(после прокалки)
10⁻⁷ 10⁻⁷
Поток азота для продувки (SCCM) 50 ±10 50
Номинальная скорость (об/мин) 27000 27700
Минимальная скорость для работы при отключении питания (об/мин) Около 5000 Около 5000
Время запуска (мин) < 8 < 10
Время остановки (мин) < 11 < 16
Уровень шума (дБ) < 55 (27000 об/мин) < 55 (27700 об/мин)
Система температурного контроля Поддерживается Поддерживается
Температура прокалки входного фланца (°C) < 120 < 120
Угол установки Любой Любой
Метод охлаждения Водяное охлаждение Водяное охлаждение
Скорость откачки форвакуумного насоса (Л/с) >1300 >1300
Вес (кг) 62 82 / 87
Степень защиты (пыле- и влагозащита) IP54 IP54
Температура эксплуатации (°C) 0–40 0–40
Температура хранения (°C) -25–55 -25–55

Технические преимущества

  • Высокая скорость откачки до нескольких сотен литров в секунду;
  • Абсолютная чистота откачиваемого объема благодаря отсутствию масел и смазок;
  • Коррозионная стойкость (в том числе к плазменной среде);
  • Компактность и модульность — простая установка и замена;
  • Низкий уровень вибраций и шума, что критично в нанотехнологиях.

Опыт ГК «Криосистемы» во внедрении решений CBVAC

Мы предлагаем полную линейку насосов CBVAC с прямым приводом, включая адаптацию под конкретные производственные процессы. «Криосистемы» предоставляет:

  • подбор насосов по технологическим условиям;
  • техподдержку на этапе проектирования;
  • обучение операторов;
  • сервис и ремонт на сертифицированной базе.

Оборудование соответствует требованиям ГОСТ и нормам ISO 14644 и ISO 27891.

Оставьте заявку на подбор оборудования

Оставьте заявку — мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение с учётом ваших технических требований, сроков и бюджета. 

Мы работаем с комплексными и нестандартными задачами для промышленности, науки и высокотехнологичных отраслей. 

Инженер компании внимательно изучит вашу заявку, свяжется для уточнения деталей, проведёт предварительную консультацию и, при необходимости, поможет сформулировать техническое задание.

Наши эксперты обеспечат:

  • подбор оптимального оборудования из ассортимента собственного и партнёрского производства;
  • расчёт стоимости, сроков поставки и вариантов комплектации;
  • оперативную подготовку индивидуального предложения для вашего проекта;
  • сопровождение на всех этапах — от консультации до пусконаладочных работ и сервисного обслуживания.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУКОНТАКТЫ

Наши преимущества — ваш технологический результат

«Криосистемы» — это инженерная экспертиза, персонализированные решения и надёжное сопровождение на всех этапах работы с вакуумным и криогенным оборудованием. Мы не просто поставляем оборудование — мы проектируем системы, которые решают задачи вашего бизнеса. От подбора модели до пуско-наладочных работ и сервисной поддержки — работаем как единая команда с вашими техническими специалистами.
Профильная инженерная экспертиза

20+ лет в вакуумной и криогенной отрасли. Узкоспециализированные инженеры подбирают решения под конкретные задачи, понимая технические нюансы каждого проекта.

Подбор и проектирование под ТЗ

Разрабатываем системы под технические требования заказчика: от выбора оборудования до проектирования полной вакуумной системы любой сложности.

Индивидуальное производство

Собственная инженерная служба, выезд на объект, запуск, шеф-монтаж и обучение персонала. Работаем с нестандартными задачами и создаём решения «под ключ».

Эксклюзивные поставки

Поставляем оборудование от мировых лидеров:
Brooks Automation, Shimadzu, Anest Iwata, Kashiyama, Janis и др.
Эксклюзивные контракты гарантируют конкурентные условия и прямую техническую поддержку.

Надёжная логистика по РФ и СНГ

Контроль доставки, работа с проверенными ТК, отслеживание на каждом этапе, соблюдение сроков и бюджета.

Сервисная поддержка

Сертифицированный сервис-центр в Москве.
Обслуживаем, консультируем, ремонтируем — удалённо или на месте. Решаем задачи в короткие сроки, без простоев.

Надёжный партнёр в B2B

Нам доверяют ведущие промышленные и научные предприятия России и СНГ. Долгосрочное сотрудничество — наш главный показатель качества.

Cookie-файлы
Настройка cookie-файлов
Детальная информация о целях обработки данных и поставщиках, которые мы используем на наших сайтах
Аналитические Cookie-файлы Отключить все
Технические Cookie-файлы
Другие Cookie-файлы
Мы используем файлы Cookie для улучшения работы, персонализации и повышения удобства пользования нашим сайтом. Продолжая посещать сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов Cookie. Подробнее о нашей политике в отношении Cookie.
Понятно Подробнее
Cookies