Для большинства моделей серии применяются керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой.
CBVAC · JFB Series
Турбомолекулярные насосы CBVAC серии JFB на керамических подшипниках
Серия JFB объединяет турбомолекулярные насосы CBVAC с керамическими шарикоподшипниками для получения высокого и сверхвысокого вакуума. Линейка включает модели с основными входными фланцами от DN63 до DN400 и скоростью откачки по азоту от 85 до 4800 л/с.
9 моделей
диапазон производительности серии
DN63–DN400
основные входные фланцы
до 4800 л/с
скорость откачки по N₂
<5×10−7 Па
предельное давление большинства CF-исполнений
Серия JFB
Турбомолекулярные насосы для различных классов вакуумных систем
Производительность турбомолекулярного насоса определяется не только номинальной скоростью откачки. На рабочие характеристики системы влияют проводимость вакуумного тракта, тип газа, форвакуумное давление, размер входного соединения, режим охлаждения и условия эксплуатации.
Керамические подшипники и широкий диапазон типоразмеров
В насосах серии JFB применяются керамические шарикоподшипники. Для большинства моделей используется консистентная смазка. Типоразмеры охватывают компактные решения с входом DN63 и высокопроизводительные насосы DN400 со скоростью откачки по азоту до 4800 л/с.
Различные типоразмеры
DN63, DN100, DN160,
DN200, DN250 и DN400.
ISO-K и CF
Варианты соединений
для высокого
и сверхвысокого вакуума.
Интеграция в автоматику
Интерфейс RS-485
для управления
и обмена данными.
Модельный ряд
Ключевые параметры насосов серии JFB
Модели различаются условным проходом, скоростью откачки, предельным давлением и требованиями к форвакуумной ступени. Для предварительного выбора в первую очередь следует определить требуемую производительность и присоединительный размер.
JFB-63/81
Входной фланец
DN63 ISO-K / DN63 CF / DN40 KF
Скорость N₂ / He
85 / 55 л/с — ISO-K, CF
38 / 35 л/с — KF
38 / 35 л/с — KF
Предельное давление
ISO-K, KF: <8×10−6 Па
CF: <8×10−7 Па
CF: <8×10−7 Па
Форвакуум
0,5–2 л/с
JFB-100/251
Входной фланец
DN100 ISO-K / DN100 CF
Скорость N₂ / He
250 / 200 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
1–4 л/с
JFB-100/301
Входной фланец
DN100 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
300 / 230 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
2–6 л/с
JFB-160/401
Входной фланец
DN160 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
460 / 380 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
2–6 л/с
JFB-160/450D
Входной фланец
DN160 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
380 / 310 л/с
Предельное давление
ISO-K: <8×10−6 Па
CF: <8×10−7 Па
CF: <8×10−7 Па
Форвакуум
3–8 л/с
JFB-160/701
Входной фланец
DN160 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
650 / 550 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
4–10 л/с
JFB-200/1401
Входной фланец
DN200 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
1350 / 1200 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
8–16 л/с
JFB-250/2201
Входной фланец
DN250 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
2050 / 1800 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
16–24 л/с
JFB-400/4500
Входной фланец
DN400 ISO-K / CF
Скорость N₂ / He
4800 / 3500 л/с
Предельное давление
ISO-K: <5×10−6 Па
CF: <5×10−7 Па
CF: <5×10−7 Па
Форвакуум
30–70 л/с
Технические характеристики
Полные характеристики моделей JFB
| Параметр | Ед. | JFB-63/81 | JFB-100/251 | JFB-100/301 | JFB-160/401 | JFB-160/450D |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Внешний вид | — |
|
|
|
|
|
| Входной фланец | — | DN63 ISO-K / DN63 CF / DN40 KF |
DN100 ISO-K / DN100 CF |
DN100 ISO-K / CF | DN160 ISO-K / CF | DN160 ISO-K / CF |
| Выходной фланец | — | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF (опц. KF25) |
DN25 ISO-KF (опц. KF40) |
DN25 ISO-KF (опц. KF40) |
DN25 ISO-KF (опц. KF40) |
| Скорость откачки (N₂ / He) | л/с | ISO-K, CF: 85 / 55 KF: 38 / 35 |
250 / 200 | 300 / 230 | 460 / 380 | 380 / 310 |
| Предельное давление | Па | ISO-K: <8×10⁻⁶ CF: <8×10⁻⁷ KF: <8×10⁻⁶ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <8×10⁻⁶ CF: <8×10⁻⁷ |
| Коэффициент сжатия (N₂ / He) | — | 10⁸ / 10⁶ | 1×10⁸ | >1×10¹⁰ / >5×10³ | >1×10¹⁰ / >5×10³ | >1×10⁸ / >1×10³ |
| Подшипники | — | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой |
| Макс. длительное давление на входе (N₂ / He) | Па | 2 / 4 | 2 | 10 / 2 | 10 / 2 | 20 / 5 |
| Макс. длительное давление на выходе (N₂ / He) | Па | 650 / 300 | 1200 | 300 / 200 | 300 / 200 | 20 / 10 |
| Критическое давление на выходе (N₂ / He) | Па | 950 / 500 | 2200 | 1000 / 500 | 1000 / 500 | 50 / 20 |
| Скорость вращения | об/мин | 75 000 (1250 Гц) регулировка 600–1250 Гц |
54 000 (900 Гц) | 48 300 (805 Гц) | 48 300 (805 Гц) | 36 000 (600 Гц) |
| Время запуска | мин | ≤2,5 | 3 | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| Тип охлаждения | — | Воздух / вода либо естественная конвекция | Воздух / вода | Воздух / вода | Воздух / вода | Воздух / вода |
| Расход охлаждающей воды | л/мин | 1 | ≥1 | ≥1 | ≥1 | ≥1 |
| Температура охлаждающей воды | °C | 15–25 | 15–25 | 15–25 | 15–25 | 15–25 |
| Температура среды (возд. охл. / вод. охл.) | °C | 0–35 / 0–40 | 0–35 / 0–40 | 0–35 / 0–40 | 0–35 / 0–40 | 0–35 / 0–40 |
| Напряжение питания | В | DC24 ±5 % | DC48 ±2 % (JFB-II mini) / AC220 (JFD-II) |
DC48 ±2 % (JFB-II) / AC220 (JFD-II) |
DC48 ±2 % (JFB-II) / AC220 (JFD-II) |
DC48 ±2 % (JFB-II) / AC220 (JFD-II) |
| Макс. потребляемая мощность | Вт | 100 | 300 | 400 | 400 | 400 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | л/с | 0,5–2 | 1–4 | 2–6 | 2–6 | 3–8 |
| Вес | кг | 2,5 (ISO-K) / 3,7 (CF) / 2,5 (KF) |
6 (ISO-K) / 7,9 (CF) | 9,6 (ISO-K) / 10 (CF) | 9,6 (ISO-K) / 10 (CF) | 10 (ISO-K) / 11 (CF) |
| Порт продувки | — | KF16 | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF |
| Вибрация | мкм | ≤0,05 | ≤0,05 | ≤0,05 | ≤0,05 | ≤0,05 |
| Уровень шума | дБ | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| Угол установки | — | Любой | Любой | Любой | Любой | Любой |
| Протокол связи | — | RS-485, Modbus RTU | RS-485, Modbus RTU | RS-485, Modbus RTU | RS-485, Modbus RTU | RS-485, Modbus RTU |
| Параметр | Ед. | JFB-160/701 | JFB-200/1401 | JFB-250/2201 | JFB-400/4500 |
|---|---|---|---|---|---|
| Внешний вид | — |
|
|
|
|
| Входной фланец | — | DN160 ISO-K / CF | DN200 ISO-K / CF | DN250 ISO-K / CF | DN400 ISO-K / CF |
| Выходной фланец | — | DN25 (опц. KF40) |
DN40 (опц. KF50) |
DN40 (опц. KF50) |
DN100 ISO-K (опц. KF50) |
| Скорость откачки (N₂ / He) | л/с | 650 / 550 | 1350 / 1200 | 2050 / 1800 | 4800 / 3500 |
| Предельное давление | Па | ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
ISO-K: <5×10⁻⁶ CF: <5×10⁻⁷ |
| Коэффициент сжатия (N₂ / He) | — | >1×10¹¹ / >1×10⁴ | >1×10¹¹ / >1×10⁴ | >1×10¹⁰ / >1×10⁴ | >1×10⁸ / >8×10² |
| Подшипники | — | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой | Керамические шарикоподшипники |
| Макс. длительное давление на входе (N₂ / He) | Па | 2 / 1 | 2 / 1 | 2 / 1 | 0,03 / 0,01 |
| Макс. длительное давление на выходе (N₂ / He) | Па | 300 / 200 | 300 / 200 | 200 / 100 | 40 / 30 |
| Критическое давление на выходе (N₂ / He) | Па | 1000 / 500 | 1000 / 500 | 500 / 200 | 160 / 80 |
| Скорость вращения | об/мин | 36 000 ±0,1 % | 30 000 ±0,1 % | 24 000 ±0,1 % | 16 200 ±0,1 % |
| Время запуска | мин | 3–5 | 6 | 7–8 | 9–10 |
| Тип охлаждения | — | Воздух / вода | Воздух / вода | Воздух / вода | Вода |
| Расход охлаждающей воды | л/мин | ≥1,5 | ≥1,5 | ≥1,5 | ≥3 |
| Температура охлаждающей воды | °C | 15–25 | 15–25 | 15–25 | — |
| Температура среды (возд. охл. / вод. охл.) | °C | 5–35 / 5–40 | 5–35 / 5–40 | 5–35 / 5–40 | — / 5–40 |
| Напряжение питания | В | 220 ±10 %, 50/60 Гц | 220 ±10 %, 50/60 Гц | 220 ±10 %, 50/60 Гц | 220 ±10 %, 50/60 Гц |
| Макс. потребляемая мощность | Вт | 400 | 1000 | 1000 | 1500 |
| Модель контроллера | — | Встроенный: JFB-III (вкл. JFB-III-A) Выносной: JFB-III-B (2U) |
Встроенный: JFB-III (вкл. JFB-III-A) Выносной: JFB-III-B (2U) |
Встроенный: JFB-III (вкл. JFB-III-A) Выносной: JFB-III-B (2U) |
Выносной: JFB-IV (4U) 440 × 350 × 177 мм |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | л/с | 4–10 | 8–16 | 16–24 | 30–70 |
| Вес | кг | 20 (ISO-K) / 23 (CF) | 30 (ISO-K) / 34 (CF) | 40 (ISO-K) / 45 (CF) | ≈83 (ISO-K) / ≈88 (CF) |
| Порт продувки | — | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF | DN16 ISO-KF |
| Вибрация | мкм | ≤0,05 | ≤0,05 | ≤0,05 | ≤0,3 |
| Уровень шума | дБ | ≤60 | ≤60 | ≤60 | ≤60 |
| Угол установки | — | Любой | Любой | Любой | Вертикально ±5° |
| Протокол связи | — | RS-485 | RS-485 | RS-485 | RS-485 |
| Способ управления | — | Кнопки на контроллере / RS-485 / DB15 |
Кнопки на контроллере / RS-485 / DB15 |
Кнопки на контроллере / RS-485 / DB15 |
Кнопки на контроллере / RS-485 / DB15 |
Значения для газов приведены в порядке N₂ / He. «—» — параметр не нормируется.
Конструкция и эксплуатация
Особенности турбомолекулярных насосов JFB
Модели до JFB-250/2201 включительно допускают установку в любом пространственном положении.
Для большинства моделей предусмотрены оба способа охлаждения. JFB-400/4500 рассчитан на водяное охлаждение.
Интерфейс RS-485 позволяет использовать насосы в составе автоматизированного технологического оборудования.
Скорость откачки по азоту возрастает от 85 л/с у компактных моделей до 4800 л/с у JFB-400/4500.
Требуемая производительность форвакуумной ступени увеличивается вместе с типоразмером турбомолекулярного насоса.
JFB-160/450D
При входном соединении DN160 модель имеет скорость откачки 380 / 310 л/с и отличается от JFB-160/401 допустимыми давлениями. Максимальное длительное давление на входе составляет 20 / 5 Па, а допустимое давление на выходе — 20 / 10 Па.
JFB-400/4500
Модель DN400 обеспечивает скорость откачки 4800 / 3500 л/с, требует водяного охлаждения с расходом не менее 3 л/мин, вертикального монтажа ±5° и используется с выносным контроллером JFB-IV.
Инженерный подбор
Критерии выбора модели JFB
Номинальная скорость откачки не определяет фактическую производительность вакуумной системы. При подборе учитываются объём камеры, газовая нагрузка, проводимость трубопровода, рабочее давление, характеристики форвакуумной ступени и режим эксплуатации.
Входные соединения серии охватывают DN63–DN400. Размер должен соответствовать вакуумной камере и проводимости тракта.
Производительность выбирается с учётом объёма камеры, газовой нагрузки, рабочего давления и требуемого времени процесса.
Производительность форвакуумного насоса должна соответствовать выбранной модели JFB и условиям процесса.
Учитываются предельное давление, длительное давление на входе и допустимое давление на выходе насоса.
Необходимо проверить доступность водяного контура, температуру охлаждающей среды и условия окружающей среды.
Учитываются пространственная ориентация, питание, тип контроллера и интерфейсы автоматизации.
Форвакуумная ступень
Подбор форвакуумного насоса для серии JFB
Форвакуумная ступень обеспечивает требуемое давление на выходе турбомолекулярного насоса и влияет на устойчивость работы всей откачной системы. Её производительность подбирается вместе с JFB, а не как независимый компонент.
Применение
Применение турбомолекулярных насосов серии JFB
Вакуумные камеры
Высоковакуумные исследовательские и технологические установки.
Тонкоплёночные технологии
Вакуумные процессы нанесения и обработки покрытий.
Полупроводниковые процессы
Технологическое оборудование с контролируемой высоковакуумной средой.
Аналитические приборы
Высоковакуумные узлы измерительных и исследовательских комплексов.
Научные установки
Экспериментальные стенды, лабораторные комплексы и исследовательская инфраструктура.
Промышленные вакуумные системы
Интеграция в автоматизированные технологические комплексы.
Связанные решения
Оборудование для комплектации высоковакуумной системы
Вопросы и ответы
Частые вопросы о турбомолекулярных насосах JFB
Какие модели входят в серию JFB?
Серия включает JFB-63/81, JFB-100/251, JFB-100/301, JFB-160/401, JFB-160/450D, JFB-160/701, JFB-200/1401, JFB-250/2201 и JFB-400/4500.
Чем JFB-100/251 отличается от JFB-100/301?
Обе модели имеют вход DN100. JFB-100/301 обеспечивает скорость откачки 300 / 230 л/с, а JFB-100/251 — 250 / 200 л/с. Также различаются выходные соединения, мощность, допустимые давления и требования к форвакуумной ступени.
Чем отличаются модели JFB с входом DN160?
JFB-160/401, JFB-160/450D и JFB-160/701 различаются скоростью откачки, допустимыми давлениями, массой, мощностью и требованиями к форвакуумному насосу. Совпадение условного прохода DN160 не означает взаимозаменяемость моделей.
Какой тип входного фланца выбрать — ISO-K или CF?
Выбор зависит от конструкции вакуумной системы, рабочего диапазона давления и требований технологического процесса. Для CF-исполнений большинства моделей JFB заявлено более низкое предельное давление, чем для ISO-K.
Можно ли устанавливать насос JFB в любом положении?
Модели от JFB-63/81 до JFB-250/2201 включительно допускают установку в любом положении. JFB-400/4500 устанавливается вертикально с допустимым отклонением ±5°.
Какое охлаждение требуется насосам JFB?
Для большинства моделей предусмотрено воздушное или водяное охлаждение. JFB-63/81 также допускает естественную конвекцию. JFB-400/4500 требует водяного охлаждения с расходом не менее 3 л/мин.
Как подобрать форвакуумный насос для JFB?
Производительность форвакуумной ступени зависит от модели JFB и условий эксплуатации. При расчёте учитываются объём камеры, газовая нагрузка, время откачки, рабочее давление и проводимость вакуумного тракта.
Можно ли интегрировать JFB в автоматизированную систему?
Насосы серии поддерживают RS-485. Для JFB-160/701, JFB-200/1401, JFB-250/2201 и JFB-400/4500 также предусмотрено управление через контроллер и интерфейс DB15.
Какие данные нужны для подбора модели JFB?
Для инженерного расчёта желательно указать объём вакуумной камеры, начальное, рабочее и требуемое предельное давление, состав газа, газовую нагрузку, время откачки, размер вакуумного тракта, параметры форвакуумного насоса, требования к охлаждению и системе управления.
Подберём JFB и форвакуумную ступень под параметры Вашей системы
Передайте объём камеры, рабочее давление, газовую нагрузку, время откачки, присоединительные размеры и параметры существующего оборудования. Инженер рассчитает конфигурацию, проверит требования к форвакууму, охлаждению и системе управления.
Актуальные предложения и ключевые направления
