LM и LMC
Оба исполнения используют водяное охлаждение. C обозначает защитное исполнение для согласованной газовой среды. У TMP-1303 и TMP-1503 допустимый поток Ar для LM — до 500 SCCM, для LMC — до 800 SCCM.
Shimadzu · магнитный подвес · водяное охлаждение
Турбомолекулярные насосы Shimadzu для больших потоков газа
Серии TMP-1303, 1503, 2404, 2804, 3304, 3804, 4304 и 5305 для процессов с постоянной газовой нагрузкой: производства дисплейных панелей и нанесения покрытий на стекло. Подберите насос по газу, рабочему давлению, фланцу и возможностям охлаждения.
Скорость откачки и входные фланцы
Параметры приведены для указанных LMC, включая версии (0) у TMP-1303 и TMP-3304. Скорости по газам — без защитной сетки; влияние сетки по N₂ показано отдельно. У TMP-2804 вход VG250 и ISO250B даёт разные характеристики.
| Модель LMC | Входной фланец | N₂ | Ar | He | H₂ | N₂ с сеткой | Выпуск |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TMP-1303LMC(0) | VG200 / ICF253 / ISO200B | 1300 | — | 1050 | 750 | 1130 | KF40 |
| TMP-1503LMC | VG250 / ICF305 / ISO250B | 1500 | — | 1200 | 800 | 1380 | KF40 |
| TMP-2404LMC | VG250 / ISO250B | 2100 | 2000 | 2240 | 1770 | 2000 | KF40 |
| TMP-2804LMC | VG250 | 2800 | 2700 | 2800 | 2100 | 2550 | KF40 |
| TMP-2804LMC | ISO250B | 2500 | 2400 | 2600 | 2000 | 2300 | KF40 |
| TMP-3304LMC(0) | VG300, версия (0) | 3200 | 3100 | 3100 | 2200 | 2900 | KF40 |
| TMP-3804LMC | VG300 / ISO320B | 3800 | 3400 | — | 2500 | 3450 VG / 3600 ISO | KF40 |
| TMP-4304LMC | VG350 | 4400 | 4200 | — | 2600 | 4000 | KF40 |
| TMP-5305LMC | VG400 / ISO400B | 5300 | 5100 | — | 3200 | 4950 | KF63 |
На узком экране прокручивайте таблицу по горизонтали. «—» означает, что значение для этого газа не приведено в модельной спецификации. ICF обозначает наружный размер CF-фланца; совместимость проверяют по чертежу и артикулу.
Большая скорость и большой поток — разные требования. Например, TMP-2404LMC имеет скорость по N₂ 2100 л/с и допустимый поток Ar до 2800 SCCM. У TMP-4304LMC скорость по N₂ выше — 4400 л/с, при этом допустимый поток Ar — до 2200 SCCM. Рабочую точку выбирают по характеристикам конкретного газа и условиям процесса.
Допустимый поток газа и параметры охлаждения
В таблице — LMC. Расход Ar и продувка указаны в SCCM: мл/мин при 0 °C и 1 атм. Допустимый поток зависит от газа, давления на выпуске, продувки, температуры клапана регулирования давления APC и теплового режима.
| Модель | Ar, до SCCM | Вход, до Па | Форнасос при продувке, от л/мин | Продувка, SCCM | Вода: л/мин · МПа · °C |
|---|---|---|---|---|---|
| TMP-1303LMC(0) | 800 | 133 | 600 | 20–30 | 1–3 · 0,2–0,5 · 5–30 |
| TMP-1503LMC | 800 | 133 | 600 | 20–30 | 1–3 · 0,2–0,5 · 5–30 |
| TMP-2404LMC | 2800 | 40 | 1300 | 30–100 | 2–4 · 0,2–0,5 · 5–25 |
| TMP-2804LMC | 1900 | 40 | 1500 | 30 | 2–4 · 0,2–0,5 · 5–25 |
| TMP-3304LMC(0) | 1900 | 40 | 1500 | 30 | 2–4 · 0,2–0,5 · 5–25 |
| TMP-3804LMC | 2200 | 40 | 1500 | 30 | 2–4 · 0,2–0,5 · 5–25 |
| TMP-4304LMC | 2200 | 40 | 1500 | 30 | 2–4 · 0,2–0,5 · 5–25 |
| TMP-5305LMC | 2250 | 15 | 10000 | 30–100 | 4–6 · 0,2–0,4 · 5–25 |
Прокручивайте таблицу по горизонтали на узком экране. Предельное давление после прогрева для перечисленных LMC — порядка 10−7 Па. Максимальное давление на выпуске при непрерывной работе — 270 Па. Скорость форнасоса указана как рекомендация производителя при продувке; его рабочую характеристику и проводимость линии проверяют по реальному потоку.
Исполнение LMTC
Температурное управление выбирают отдельно. Для поддерживающих его серий LMTC используются уставки 65 или 75 °C и собственные ограничения потока, воды и контроллера. Их проверяют по полному индексу насоса.
Химическая совместимость
Согласуют газы, пары, концентрацию, расход и продукты реакции. Защитное покрытие, продувка и температурный режим подбираются под процесс. Для конденсируемых сред важны температура тракта и условия останова.
Как связать насос с режимом установки
Газовая нагрузка
Для стационарной рабочей точки используют Q = p × Sэфф: давление p в Па, эффективная скорость у камеры Sэфф в л/с, поток Q в Па·л/с. Подачу в SCCM пересчитывают с учётом условий приведения.
Проводимость тракта
Клапан, переходник, сетка и длина трубопровода влияют на скорость у камеры. Требуемую производительность сопоставляют с рабочими кривыми при выбранном фланце и давлении.
Тепловая нагрузка
Проверяют расход и температуру воды, длительность подачи газа, продувку и давление форлинии. Для циклического процесса учитывают пики нагрузки, разгон, останов и напуск.
Для перечисленных LMC: окружающая температура 0–40 °C; допустимое внешнее магнитное поле — 3 мТ радиально и 15 мТ аксиально. Прогрев входного фланца согласуют по модели: для TMP-1303(0) и TMP-1503 производитель указывает до 120 °C. Время выхода насоса на режим в карточках относится к его разгону; время откачки камеры рассчитывают отдельно.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-1303
Вход ISO200B или фланцевое исполнение CF/VG200. Для LM и LMC различаются предельное давление и допустимый расход аргона; контроллер подбирают с учётом версии (0).
TMP-1303LMTMP-1303LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- 6×10⁸ / 1×10⁴ / 1×10³
- Частота вращения
- 30 300 об/мин
- Масса
- 39 кг
- Выход на режим
- Не более 7 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Для TMP-1303LM(0) предельное давление после прогрева — порядка 10⁻⁸ Па, для LMC(0) — порядка 10⁻⁷ Па. Эти уровни относятся к металлическому уплотнению; для O-ring производитель указывает порядок 10⁻⁷ Па. CF-исполнение выбирают по ICF253, наружному диаметру 253 мм и полному артикулу.
Чертежи и рабочие кривые TMP-1303
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-1503
Серия с входом ISO250B, VG250 или ICF305. Скорость по азоту — 1500 л/с без защитной сетки; LM и LMC используют водяное охлаждение.
TMP-1503LMTMP-1503LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- 6×10⁸ / 1×10⁴ / 1×10³
- Частота вращения
- 30 300 об/мин
- Масса
- 42 кг
- Выход на режим
- Не более 7 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Предельное давление после прогрева: LM — порядка 10⁻⁸ Па, LMC — порядка 10⁻⁷ Па при металлическом входном уплотнении. Для O-ring указан порядок 10⁻⁷ Па. Допустимый поток Ar: 500 SCCM для LM и 800 SCCM для LMC, при условиях производителя.
Чертежи и рабочие кривые TMP-1503
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-2404
LMC с входом VG250 или ISO250B и высоким допустимым потоком аргона. Выбор определяется газовой нагрузкой, охлаждением и давлением в форвакуумной линии.
TMP-2404LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- 1×10⁹ / 7×10⁴ / 3×10³
- Частота вращения
- 27 000 об/мин
- Масса
- 70 кг
- Выход на режим
- Не более 11 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Для LMC приведены 2100 л/с по N₂ без сетки и допустимый поток Ar до 2800 SCCM при паспортных условиях. Обозначение TMP-2404LM встречается у ранних исполнений: при замене его проверяют отдельно, без автоматического переноса параметров LMC.
Чертежи и рабочие кривые TMP-2404
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-2804
У TMP-2804LMC скорость зависит от входного фланца: 2800 л/с по N₂ для VG250 и 2500 л/с для ISO250B. Геометрия входа учитывается до выбора номинала.
TMP-2804LMTMP-2804LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- ≥ 1×10⁹ / 1×10⁵ / 6×10³
- Частота вращения
- 27 600 об/мин
- Масса
- 84 кг
- Выход на режим
- Не более 12 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Для ISO250B с защитной сеткой скорость по N₂ — 2300 л/с, для VG250 — 2550 л/с. На монтажном чертеже ниже представлены исполнения LM/LMC с ISO250B. Параметры раннего LM проверяют по его шильдику и руководству; числовое сравнение выше относится к LMC.
Чертежи и рабочие кривые TMP-2804
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-3304
В числовом сравнении — TMP-3304LMC(0) с VG300. Для существующих установок также важны ранние LM/LMC с ISO320B: различие присоединений учитывают при замене.
TMP-3304LMTMP-3304LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- ≥ 1×10⁹ / 1×10⁵ / 6×10³
- Частота вращения
- 27 600 об/мин
- Масса
- 84 кг
- Выход на режим
- Не более 12 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
VG300 и ISO320B не считаются взаимозаменяемыми по одному названию серии. Чертёж ниже относится к ISO320B и содержит собственные артикулы; параметры и контроллер такого исполнения согласуют по его полной документации.
Чертежи и рабочие кривые TMP-3304
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-3804
Исполнение LMC со скоростью по N₂ 3800 л/с без сетки, входом VG300 или ISO320B. Для тяжёлого насоса проверяют крепление камеры и доступ к водяному контуру.
TMP-3804LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- ≥ 1×10⁹ / 3×10⁴ / 2×10³
- Частота вращения
- 24 000 об/мин
- Масса
- 115 кг
- Выход на режим
- Не более 18 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Числа 3800 л/с по N₂ и 3400 л/с по Ar относятся к LMC. Исполнение LMTC имеет отдельные параметры: значения его фланцевых вариантов не переносят на LMC. Скорость по N₂ с сеткой — 3450 л/с для VG300 и 3600 л/с для ISO320B.
Чертежи и рабочие кривые TMP-3804
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-4304
Вход VG350, скорость по азоту 4400 л/с без сетки и 4000 л/с с ней. Более высокая скорость относительно TMP-3804 не увеличивает автоматически допустимый поток газа.
TMP-4304LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- ≥ 1×10⁹ / 3×10⁴ / 2×10³
- Частота вращения
- 24 000 об/мин
- Масса
- 105 кг
- Выход на режим
- Не более 18 мин
- Монтаж
- Любое направление по руководству
- Контроллер для LMC
- EI-R04M
Допустимый поток Ar для LMC — до 2200 SCCM при условиях производителя, как и у TMP-3804LMC. Выбор между сериями зависит также от входа камеры, проводимости тракта и требуемой эффективной скорости.
Чертежи и рабочие кривые TMP-4304
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Магнитный подвес · водяное охлаждение
Серия TMP-5305
Крупнейшая серия в этой подборке: 5300 л/с по N₂ без сетки, вход VG400 или ISO400B, выпуск KF63. Монтаж разрешён только вертикально.
TMP-5305LMC
- Степень сжатия N₂ / He / H₂
- 3×10⁸ / — / 2×10³
- Частота вращения
- 20 580 об/мин
- Масса
- 160 кг
- Выход на режим
- 12 мин по спецификации
- Монтаж
- Только вертикальное положение
- Контроллер для LMC
- EI-A05M
Форнасос при продувке — от 10 000 л/мин; вода — 4–6 л/мин при 0,2–0,4 МПа и 5–25 °C для LMC. Блок управления EI-A05M отличается от EI-R04M меньших серий. Монтаж рассчитывают с учётом массы 160 кг.
Чертежи TMP-5305
Нажмите на чертёж или график, чтобы открыть изображение крупнее.
Контроллеры и электрическое подключение
Для LMC используются выносные блоки питания. Совместимость определяется полной моделью насоса, контроллера и кабеля. У LMC и LMTC могут различаться мощность и функции управления температурой.
| Насосы | Блок питания | Максимальная входная мощность | Управление |
|---|---|---|---|
| TMP-1303LMC(0), TMP-1503LMC | EI-R04M | 1,0 кВ·А | REMOTE, RS-232C, RS-485 |
| TMP-2404 / 2804 / 3304(0) / 3804 / 4304 LMC | EI-R04M | 1,5 кВ·А | REMOTE, RS-232C, RS-485 |
| TMP-5305LMC | EI-A05M | 2,4 кВ·А | REMOTE, RS-232C, RS-485; EtherCAT — опция по исполнению |
Прокручивайте таблицу по горизонтали. Питание — однофазное AC 200–240 В, 50/60 Гц по паспорту блока. Указана максимальная полная входная мощность, а не постоянное потребление в рабочей точке.
Команды и состояния
Через REMOTE передают START, STOP, RESET и LOW SPEED; контролируют разгон, нормальную работу, торможение, предупреждения и аварии. Распиновку согласуют по руководству контроллера.
Частота вращения
Поддерживаемый диапазон задания — 25–100% номинальной частоты. Скорость откачки при сниженных оборотах определяют по рабочим характеристикам насоса.
Блокировки установки
В схеме управления учитывают готовность форнасоса, давление форлинии, воду, продувку, положение арматуры и условия безопасного напуска. Протокол обмена и кабели выбирают до поставки.
Комплектация системы для большого потока
Насос и монтаж
- Полный индекс и входной фланец.
- Уплотнение, защитная сетка, крепёж.
- Выпуск KF40 или KF63 по серии.
- Допустимая ориентация и опоры.
Форвакуум и газовый тракт
- Форнасос с запасом по реальному потоку.
- Проводимость и химическая стойкость форлинии.
- Продувка и контур охлаждения.
- Обработка выходящих газов по процессу.
Управление и обслуживание
- Контроллер, кабели и интерфейс установки.
- Вакуумметры, клапаны и блокировки.
- Порядок запуска, останова и напуска.
- Документация и пусконаладка по проекту.
Винтовые форвакуумные насосы · Вакуумметры · Вакуумная арматура · Индивидуальные откачные посты
Вопросы о насосах для больших газовых потоков
Как выбрать насос по заданному расходу газа?
Нужны вид газа, расход с условиями приведения, давление процесса и длительность подачи. Рабочую точку сопоставляют с кривыми насоса, тепловыми ограничениями, давлением на выпуске и характеристикой форнасоса. Номинальная скорость по азоту — только один из параметров выбора.
Чем SCCM отличается от л/с в таблицах?
Скорость откачки в л/с характеризует объём газа при давлении на входе насоса. SCCM — объёмный расход, приведённый к заданным стандартным условиям. На этой странице расход Ar и продувка приведены к 0 °C и 1 атм. Сравнивать эти величины напрямую нельзя.
Почему TMP-2804LMC имеет две строки характеристик?
У VG250 и ISO250B различаются входные условия: по N₂ без сетки производитель указывает соответственно 2800 и 2500 л/с. С сеткой — 2550 и 2300 л/с. Поэтому при замене нужно учитывать фактический фланец и сетку.
Подойдёт ли LMC для коррозионного газа?
Проверяют полный состав среды, пары, концентрацию, расход, температуру и продукты реакции. Защитное исполнение согласуют вместе с продувкой и режимом охлаждения. Для конденсируемых газов также рассматривают температурное управление и требования к останову.
Можно ли установить насос горизонтально?
Для перечисленных серий до TMP-4304 производитель допускает любое направление при соблюдении руководства конкретного исполнения и требований к креплению. TMP-5305 устанавливают только вертикально. Массу насоса и нагрузки на камеру учитывают при проектировании.
Какой форвакуумный насос потребуется?
Минимальные рекомендации при продувке приведены в таблице, но подбор выполняют по потоку и рабочему давлению в линии. У TMP-5305LMC рекомендация составляет от 10 000 л/мин; для меньших серий значения другие. Указанный на графике форнасос может отличаться от минимальной рекомендации.
Нужен ли отдельный контроллер?
Да, представленные модели рассчитаны на выносной блок управления. Для меньших LMC используется семейство EI-R04M, для TMP-5305LMC — EI-A05M. Совместимость, мощность, кабели и интерфейсы проверяют для полного артикула; LMTC имеет свои требования.
Что отправить для подбора или замены насоса?
ТЗ или схему откачки, газы и расходы, рабочее давление, объём камеры, фланцы, форнасос, параметры воды и питания. Для замены нужны фотографии шильдиков насоса и контроллера, кабели и монтажный чертёж. Цена и срок определяются согласованной спецификацией.
Подбор по технической задаче
Подобрать Shimadzu под Ваш газовый процесс
Передайте техническое задание, схему или данные действующего насоса. Согласуем рабочую точку, исполнение, форвакуум и управление. Цена и условия поставки определяются полной моделью и составом комплекта.
Какие данные подготовить
- Газы, пары, расходы и длительность подачи.
- Давление процесса и объём камеры.
- Схему тракта, фланцы и положение насоса.
- Модель и характеристику форнасоса.
- Параметры воды, продувки и питания.
- Шильдики насоса и контроллера при замене.
Актуальные предложения и ключевые направления
