Коэффициент K₀
При нулевом потоке K₀ — отношение парциального давления одного газа на выпуске к его парциальному давлению на входе. Это безразмерная величина. Для H₂, He и N₂ значения различаются.
Shimadzu · лёгкие газы · магнитный подвес
Турбомолекулярные насосы Shimadzu с высокой степенью сжатия
TMP-1103 и TMP-H3153LMC для задач откачки водорода и гелия, а также TMP-W2404LMC для работы при повышенном противодавлении. Выбор включает скорость по рабочему газу, коэффициент сжатия, давление в форлинии и условия охлаждения.
Почему для лёгких газов важна степень сжатия
Давление в форлинии
Давление и состав газа на выпуске влияют на достижимое давление на входе. Для водорода и гелия важно учитывать характеристику форнасоса и сопротивление соединительного тракта.
Работа под потоком
При подаче газа рабочую точку выбирают по кривым откачки, тепловой нагрузке и противодавлению. Коэффициент при нулевом потоке и номинальная скорость описывают разные стороны работы насоса.
Измерение предельного давления и рабочие зависимости
Нажмите на графики, чтобы открыть изображение крупнее.
Скорость по газам и степень сжатия
Сопоставляйте характеристики по рабочему газу и полному исполнению. Для TMP-1103 скорости приведены без защитной сетки. Для TMP-W2404LMC и TMP-H3153LMC параметры ниже относятся к указанным входным исполнениям; сетку и условия рабочей точки согласуют по артикулу.
| Серия / исполнение | N₂, л/с | He, л/с | H₂, л/с | K по He | K по H₂ | Вход |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TMP-1103MP / MPC / LMP / LMPC | 1080 | 1040 | 800 | 1×10⁷ | 1×10⁶ | VG200 / ICF253 / ISO200B |
| TMP-W2404LMC | 2100 | 2240 | 1770 | 1×10⁶ | 4×10⁴ | ISO250B |
| TMP-H3153LMC | 2950 | 3000 | 3000 | 1×10⁶ | 1×10⁵ | ISO320B |
На узком экране прокручивайте таблицу по горизонтали. У TMP-1103 коэффициенты N₂ / He / H₂ — 10⁹ / 10⁷ / 10⁶. Предельное давление камеры зависит также от газа в форлинии, уплотнений, прогрева, газовыделения и течей.
Как читать обозначение исполнения
- M
- Воздушное охлаждение
- LM
- Водяное охлаждение
- P
- Исполнение с высокой степенью сжатия
- C
- Защитное покрытие ротора; совместимость с газом согласуют
- W
- Широкий рабочий диапазон; серия для повышенного противодавления
TMP-1103: давление и выбор охлаждения
Вход VG200, ICF253 или ISO200B, выпуск KF40. Водяные и воздушные исполнения имеют разные пределы непрерывной откачки. Предельное давление после прогрева зависит также от защитного покрытия и типа уплотнения.
| Исполнение | Охлаждение | После прогрева, порядок Па | Вход N₂, до Па | Выпуск, до Па | Покрытие ротора |
|---|---|---|---|---|---|
| TMP-1103MP | Воздушное | 10−9 | 1,3 | 270 | Нет |
| TMP-1103MPC | Воздушное | 10−8 | 1,3 | 270 | Есть |
| TMP-1103LMP | Водяное | 10−9 | 70 | 800 | Нет |
| TMP-1103LMPC | Водяное | 10−8 | 70 | 800 | Есть |
Прокручивайте таблицу на узком экране. Значения после прогрева относятся к металлическому уплотнению входа. При O-ring производитель указывает порядок 10−7 Па. Рабочие допуски применяют вместе с газовой нагрузкой, охлаждением и режимом откачки.
Вода для LMP / LMPC
Расход 1–3 л/мин, давление 0,2–0,5 МПа, температура 5–30 °C. Для воздушных MP/MPC обеспечивают вентиляцию и подключение соответствующего вентилятора.
Размещение и прогрев
Окружающая температура 0–40 °C. Прогрев входного фланца — до 120 °C. Монтаж допускается в любом направлении при соблюдении руководства и требований к креплению.
Продувка и магнитное поле
Продувка 20–30 SCCM при 0 °C и 1 атм. Внешнее магнитное поле: до 3 мТ радиально и 15 мТ аксиально. Расход и газ продувки согласуют с рабочей средой.
Высокая степень сжатия лёгких газов
Серия TMP-1103
Серия с магнитным подвесом, выносным контроллером и воздушным или водяным охлаждением. Степень сжатия по H₂ — 10⁶; режим и предельное давление зависят от исполнения и входного уплотнения.
TMP-1103MPTMP-1103MPCTMP-1103LMPTMP-1103LMPC
- Сжатие N₂ / He / H₂
- 1×10⁹ / 1×10⁷ / 1×10⁶
- Вход / выпуск
- VG200 / ICF253 / ISO200B / KF40
- Масса
- Не более 32 кг
- Выход на режим
- Не более 5 мин
- Охлаждение
- Воздушное или водяное по исполнению
- Управление
- Выносной EI-R04M
Номинальная частота вращения TMP-1103 — 36 000 об/мин. Покрытие ротора есть у MPC/LMPC; химическую совместимость согласуют по составу газа и режиму. Скорости и рабочие пределы серии приведены в таблицах выше.
Монтажный чертёж TMP-1103
Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.
Работа при повышенном противодавлении
TMP-W2404LMC
Водяное исполнение с магнитным подвесом и входом ISO250B. Серия W рассчитана на задачи с повышенным давлением в форвакуумной линии; подбор учитывает характеристики конкретного газа.
TMP-W2404LMC
- Сжатие N₂ / He / H₂
- 1×10¹⁰ / 1×10⁶ / 4×10⁴
- Вход / выпуск
- ISO250B / KF40
- Масса
- 70 кг для указанного исполнения
- Выход на режим
- Менее 11 мин по исполнению
- Охлаждение
- Водяное
- Управление
- Выносной блок, комплект по артикулу
Для TMP-W2404LMC важна зависимость входного давления от противодавления при заданном газовом потоке. Состав среды, охлаждение, продувку и контроллер согласуют по полному индексу. Защитное исполнение C выбирают под процесс.
Монтажный чертёж TMP-W2404LMC
Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.
Откачка лёгких газов с большим входом
TMP-H3153LMC
Водяное исполнение с магнитным подвесом и входным фланцем ISO320B. Выбор для водорода и гелия включает степень сжатия, скорость по газу и давление на выпуске.
TMP-H3153LMC
- Сжатие N₂ / He / H₂
- > 1×10⁷ / 1×10⁶ / 1×10⁵
- Вход / выпуск
- ISO320B / KF40
- Масса
- 80 кг для указанного исполнения
- Выход на режим
- Менее 18 мин по исполнению
- Охлаждение
- Водяное
- Управление
- Выносной блок, комплект по артикулу
Для TMP-H3153LMC отдельно оценивают откачку водорода и гелия, давление форлинии и проводимость входного тракта. Сетку, прогрев, продувку, блок питания и условия охлаждения согласуют для конкретного артикула.
Монтажный чертёж TMP-H3153LMC
Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.
Контроллеры и форвакуумная ступень
Управление TMP-1103
Выносной EI-R04M: REMOTE, RS-232C и RS-485. Питание AC 200–240 В ±10%, 50/60 Гц, максимальная входная мощность 1,0 кВ·А. Частота вращения регулируется в пределах 25–100% номинальной.
Замена W2404 и H3153
Согласуют полный индекс насоса, модель и версию блока питания, магнитный кабель и разъёмы. Общий тип фланца или похожий корпус не подтверждают взаимозаменяемость управления.
Выбор форнасоса
Учитывают расход, парциальное давление лёгкого газа, предельное давление форнасоса и проводимость линии. Высокое сжатие может изменить требуемый состав форвакуумной ступени; её производительность проверяют расчётом режима.
Для H₂ выбирают совместимые с газом оборудование, материалы и схему отвода. Параметры охлаждения, продувки, запуска и останова включают в общую спецификацию установки.
Комплект для откачки лёгких газов
Вакуумный тракт
- Насос с полным индексом.
- Фланец, уплотнение, сетка и крепёж.
- Форнасос и соединительная линия.
- Клапаны, напуск и измерение давления.
Вспомогательные системы
- Охлаждение по исполнению.
- Продувка по газовой среде.
- Совместимый контроллер и кабели.
- Питание и блокировки установки.
Подбор и обслуживание
- Проверка скорости и сжатия по газу.
- Расчёт рабочей точки и проводимости.
- Согласование прогрева и уплотнений.
- Документация, пуск и сервис по проекту.
Спиральные форвакуумные насосы · Вакуумметры · Вакуумная арматура · Индивидуальные откачные посты
Вопросы о высокой степени сжатия
Чем степень сжатия отличается от скорости откачки?
Скорость в л/с описывает способность откачивать газ при заданном давлении. Коэффициент сжатия безразмерный и связывает давления одного газа на выпуске и входе при заданных условиях. Для выбора важны обе характеристики, особенно по H₂ и He.
Почему высокая степень сжатия по N₂ не гарантирует результат по H₂?
У лёгких газов другие рабочие характеристики. Для TMP-1103 производитель указывает по N₂ 10⁹, по He 10⁷, по H₂ 10⁶. Сравнивать модели нужно по газу процесса, а не по наибольшему числу в таблице.
Можно ли уменьшить форвакуумный насос?
Это проверяют по потоку, парциальному давлению газа в форлинии, предельному давлению форнасоса и сопротивлению соединений. Высокое сжатие может дать больше свободы выбора, но требуемую производительность форвакуумной ступени определяет рабочий режим.
Чем воздушные и водяные TMP-1103 отличаются по давлению?
Для MP/MPC указаны непрерывный вход N₂ до 1,3 Па и выпуск до 270 Па. Для LMP/LMPC — вход до 70 Па и выпуск до 800 Па. При этом сохраняются требования к газовой нагрузке, охлаждению и выбранному исполнению.
Как влияет входное уплотнение TMP-1103?
Предельные давления после прогрева порядка 10⁻⁹ Па для MP/LMP и 10⁻⁸ Па для MPC/LMPC относятся к металлической прокладке. С O-ring производитель указывает порядок 10⁻⁷ Па. Давление камеры дополнительно зависит от её состояния и газовой нагрузки.
Для чего выбирают TMP-W2404LMC?
Серия W относится к исполнению для повышенного противодавления. Важна рабочая характеристика по конкретному газу, особенно при подаче лёгких газов. Её не выбирают только по номинальной скорости или числу модели обычного TMP-2404.
Что означает C в индексе?
Защитное покрытие ротора соответствующего исполнения. Проверяют газы, пары, расход, температуру, продукты реакции и продувку. Химическую совместимость нельзя подтвердить одним суффиксом модели.
Какие данные нужны для подбора или замены?
Состав газа с долями H₂ и He, расход и цикл, давление процесса и требуемое остаточное давление, объём камеры, схема тракта, форнасос, фланцы, охлаждение и питание. Для замены — шильдики насоса, контроллера и данные кабелей.
Подбор по технической задаче
Подобрать насос для H₂, He и Вашего режима откачки
Передайте состав газа, расход и требования к давлению. Согласуем исполнение, форвакуумную ступень, управление и охлаждение. Цена и условия поставки определяются выбранной моделью и комплектом.
Какие данные подготовить
- Газы, их доли, расходы и длительность подачи.
- Рабочее и требуемое остаточное давление.
- Объём камеры, фланцы и схему тракта.
- Форнасос и давление в форлинии.
- Охлаждение, прогрев и тип уплотнений.
- Шильдики насоса и контроллера при замене.
Актуальные предложения и ключевые направления
