Shimadzu · встроенное управление

Турбомолекулярные насосы Shimadzu со встроенным контроллером

Серии TMP-V1704, TMP-V2304 и TMP-V3304 с магнитным подвесом, а также компактный TMP-B300 с комбинированными подшипниками. Встроенное управление сокращает число соединений между насосом и отдельной стойкой контроллеров и помогает организовать управление вакуумной системой.

Сравнить серии

Сравнение серий V с магнитным подвесом

Скорость откачки указана отдельно по N₂ и Ar без защитной сетки. Варианты LM предназначены для некоррозионных газов. TMP-B300 имеет другую конструкцию подшипников и приведён в собственном разделе.

Скорость откачки, л/с; присоединения LM
Модель	N₂	Ar	N₂ с сеткой	Входной фланец	Выпуск
TMP-V1704LM	1400	1350	1300	VG200 / ISO200B	KF40
TMP-V2304LM	2100	2000	1950	VG250 / ISO250B	KF40
TMP-V3304LM(0) / LM	3200	3100	2900	VG300 для LM(0); ISO320B / VG350 для LM	KF40

На узком экране прокручивайте таблицу по горизонтали. Обозначение серии не равно её паспортной скорости. У TMP-V3304 версия (0) и ранние варианты различаются входным присоединением.

Рабочие пределы и охлаждение серий V

Допуски LM и LM(0): непрерывная откачка N₂ и поток Ar
Модель	Ar, до SCCM	Вход N₂, до Па	Выпуск N₂, до Па	Масса, кг	Разгон, до мин
TMP-V1704LM	600	4,5	200	60	9
TMP-V2304LM	600	4,5	200	56	9
TMP-V3304LM(0) / LM	1500	7	270	94	16

Расход Ar для серий V приведён к 0 °C и 1 атм. Допустимый поток зависит от газа, температуры клапана APC, продувки и давления на выпуске. Предельное давление после прогрева — порядка 10⁻⁷ Па. Время разгона насоса и время откачки камеры рассчитывают раздельно.

Водяной контур

Для указанных LM: расход 3–4 л/мин, давление 0,2–0,4 МПа, температура 19–30 °C и выше точки росы. Параметры воды проверяют до выбора компоновки.

Форвакуум и продувка

Продувка — 30 SCCM. Рекомендуемая скорость форнасоса при продувке — от 1500 л/мин. Подбор включает реальный газовый поток, проводимость и допустимое давление форлинии.

Условия размещения

Окружающая температура 10–40 °C. Допустимое внешнее магнитное поле: 3 мТ радиально и 15 мТ аксиально. Обеспечивают крепление, доступ к разъёмам и обслуживание водяных подключений.

Выбор газовой среды. Производитель запрещает применять перечисленные LM с коррозионными газами. Для защитных исполнений, включая TMP-V3304LMC, отдельно согласуют полный индекс, состав среды, рабочие пределы и документацию. Наличие буквы C не заменяет проверку химической совместимости.

Магнитный подвес · водяное охлаждение

Серия TMP-V1704

Магнитный подвес, водяное охлаждение и встроенный силовой блок. Вход VG200 или ISO200B; скорость по N₂ — 1400 л/с без защитной сетки.

К сравнению серий ↑

TMP-V1704LM

Сжатие N₂ / He / H₂: ≥ 1×10⁸ / 5×10³ / 9×10²
Обороты: 33 700 об/мин
Масса: 60 кг
Разгон: Не более 9 мин
Монтаж: Любое направление по руководству
Максимальная входная мощность: 1,2 кВ·А

TMP-V1704LM рассчитан на некоррозионные газы. С защитной сеткой скорость по N₂ составляет 1300 л/с. Полный артикул определяет входное присоединение и монтажные размеры.

Монтажный чертёж TMP-V1704

Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.

TMP-V1704 — габариты и монтаж — Монтажный чертёж TMP-V1704LM с таблицей размеров и артикулов. Водяные патрубки, входной фланец, разъёмы питания и управления сверяют по исполнению.

Магнитный подвес · водяное охлаждение

Серия TMP-V2304

Вход VG250 или ISO250B, скорость по N₂ — 2100 л/с без сетки. Компоновку выбирают вместе с водяным контуром и интерфейсом управления установкой.

К сравнению серий ↑

TMP-V2304LM

Сжатие N₂ / He / H₂: ≥ 1×10⁸ / 5×10³ / 9×10²
Обороты: 33 700 об/мин
Масса: 56 кг
Разгон: Не более 9 мин
Монтаж: Любое направление по руководству
Максимальная входная мощность: 1,2 кВ·А

Для непрерывной откачки N₂ указаны пределы 4,5 Па на входе и 200 Па на выпуске. Защитная сетка снижает номинальную скорость по N₂ до 1950 л/с. Применение коррозионных газов для LM не допускается производителем.

Монтажный чертёж TMP-V2304

Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.

TMP-V2304 — габариты и монтаж — Габариты TMP-V2304LM: вход, выпуск KF40, водяные подключения и встроенное управление. Таблица чертежа относится к указанным в ней артикулам.

Магнитный подвес · водяное охлаждение

Серия TMP-V3304

Серия с различными входами: VG300 у TMP-V3304LM(0), ISO320B или VG350 у TMP-V3304LM. Скорость по N₂ — 3200 л/с без защитной сетки.

К сравнению серий ↑

TMP-V3304LMTMP-V3304LMC

Сжатие N₂ / He / H₂: ≥ 1×10⁹ / 1×10⁵ / 6×10³
Обороты: 27 600 об/мин
Масса: 94 кг
Разгон: Не более 16 мин
Монтаж: Любое направление по руководству
Максимальная входная мощность: 1,2 кВ·А

Числа в таблицах относятся к LM и LM(0). Для TMP-V3304LMC газовую совместимость, рабочие пределы и артикул согласуют отдельно. Параметры LM не переносят на LMC; LM производитель запрещает использовать с коррозионными газами.

Монтажный чертёж TMP-V3304

Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Размеры в мм.

TMP-V3304 — габариты и монтаж — Чертёж TMP-V3304LM(F) / TMP-V3304LMC(F) с ISO320B; артикулы 263-18493-08 / 263-18493-28. Размеры этого исполнения не подменяют документацию LM(0) с VG300.

Комбинированные подшипники · встроенный контроллер

TMP-B300

Компактный гибридный турбомолекулярный насос с активным магнитным подшипником и керамическим шарикоподшипником. Поддерживает монтаж в вертикальном, горизонтальном и перевёрнутом положении при соблюдении руководства.

К сравнению серий ↑

TMP-B300 со встроенным контроллером — TMP-B300: компактная компоновка со встроенным управлением.

N₂ / He / H₂, без сетки: 280 / 270 / 220 л/с
Сжатие N₂ / He / H₂: > 1×10⁹ / 7×10⁶ / 1×10⁵
Вход / выпуск: VG100, ICF152, ISO100 / KF16
Питание / мощность: DC 24 В ±5% / до 180 Вт
Номинальные обороты: 60 000 об/мин
Разгон до 80% оборотов: 3,5 мин

С защитной сеткой скорость по N₂ — 260 л/с. У ISO100 на чертеже ниже высота составляет 195 мм. Уровень шума <50 дБ(A) указан по методике производителя для ISO-исполнения.

Контроллер поддерживает местные команды запуска, останова и сброса, RS-485 и дискретные сигналы REMOTE. Источник DC 24 В и кабельный комплект выбирают по системе.

Охлаждение и допустимое противодавление TMP-B300

Рабочие пределы по N₂ в зависимости от охлаждения
Охлаждение	Выпуск при нулевой подаче на вход, до Па	Непрерывный поток N₂, SCCM	Масса ISO / VG / ICF, кг
Естественное воздушное	100 при T ≤35 °C	10 при T =25 °C; 4 при T =35 °C	6,0 / 6,3 / 9,4
Принудительное воздушное	1000 при T ≤25 °C; 930 при T ≤35 °C	100 при T =25 °C; 40 при T =35 °C	6,3 / 6,6 / 9,7
Водяное	1300 при T ≤40 °C	240 при T ≤40 °C	6,7 / 7,0 / 10,1

На узком экране прокручивайте таблицу. T — температура окружающей среды. Максимумы давления на выпуске указаны при нулевом потоке газа через вход; их нельзя использовать как совместную гарантию с максимальным расходом. Критическое противодавление — 1300 Па, рабочую точку выбирают по режиму охлаждения и газовой нагрузке.

Прогрев и предельное давление B300. До прогрева указан порядок 10⁻⁶ Па. Порядок 10⁻⁸ Па после прогрева относится к ICF с принудительным воздушным или водяным охлаждением, при использовании указанного производителем двухступенчатого масляного форнасоса. Для воды: 1 л/мин, температура выше точки росы и ниже 28 °C. Возможность работы с малым сухим форнасосом оценивают отдельно по его характеристике.

Монтажный чертёж TMP-B300 с ISO100

Нажмите на чертёж, чтобы открыть его крупнее. Вход ISO100, выпуск KF16; размеры в мм.

TMP-B300 с ISO100 — монтажный чертёж — Исполнение ISO100 высотой 195 мм. Вход, выпуск KF16 и вспомогательные подключения сверяют по руководству конкретного насоса.

Управление и подключение к установке

Серии V: интерфейсы

REMOTE, RS-232C и RS-485 обеспечивают команды и мониторинг. Profibus выбирают как опцию по исполнению и спецификации. Программное обеспечение и сеть управления согласуют отдельно.

Серии V: питание

Однофазное AC 200–240 В, 50/60 Гц; максимальная полная входная мощность 1,2 кВ·А. Частота вращения регулируется в пределах 25–100% номинальной с шагом задания 0,1%.

Состояния и блокировки

Контролируют разгон, нормальную работу, торможение, предупреждения и аварии. В схеме учитывают готовность форнасоса, давление, охлаждение, продувку, арматуру и условия напуска.

У встроенного управления сохраняется потребность во внешнем питании и согласованной кабельной обвязке. Для замены раннего комплекта V проверяют сетевой кабель, включая встречающийся артикул 262-76773-05 длиной 5 м на 200 В AC. Его применимость подтверждают по насосу и комплекту поставки.

Что включить в комплект

Насос и монтаж

Модель, версия и входной фланец.
Ответная часть, уплотнение и сетка.
Выпуск KF40 для V или KF16 для B300.
Крепёж, ориентация и доступ к разъёмам.

Вспомогательные системы

Форнасос и проводимость линии.
Вода или воздушное охлаждение по модели.
Продувка и газовая совместимость.
Питание, силовые кабели и защита.

Интеграция и сервис

Протокол обмена и REMOTE-подключение.
Вакуумметры, клапаны и блокировки.
Процедуры запуска, останова и напуска.
Обслуживание по режиму и руководству.

Спиральные форвакуумные насосы · Вакуумметры · Вакуумная арматура · Индивидуальные откачные посты

Вопросы о встроенном контроллере

Чем встроенный контроллер отличается от выносного?

Силовой и управляющий узлы размещены на насосе; отдельная стойка контроллера не требуется для этой компоновки. При этом остаются подключения питания, интерфейсов, форвакуума и охлаждения. Выбор зависит от размещения насоса и схемы обслуживания.

Можно ли использовать LM с коррозионными газами?

Производитель запрещает это для указанных TMP-V1704LM, V2304LM и V3304LM. Защитное исполнение выбирают по полной модели, газовой среде и режиму. Параметры LM не переносят автоматически на LMC.

Profibus входит в каждый комплект?

Нет. Это опция, которую подтверждают в спецификации выбранного исполнения. Для серий V приведены REMOTE, RS-232C и RS-485. Для TMP-B300 отдельно проверяют его интерфейсы, источник DC 24 В и комплект кабелей.

Почему B300 выделен отдельно от серий V?

B300 имеет комбинированные активный магнитный и керамический шариковый подшипники. Он отличается скоростью, питанием DC 24 В, вариантами охлаждения и выпуском KF16. У серий V используется магнитный подвес, водяное охлаждение и питание AC 200–240 В.

Можно ли считать 1300 Па рабочим пределом любого B300?

Нет. Это критическое противодавление. Для непрерывного режима важны охлаждение, температура и газовый поток. В таблице значения давления на выпуске даны при нулевой подаче через вход; естественное и принудительное воздушное охлаждение имеют разные пределы.

Как получить предельное давление, указанное для B300?

Нужно учесть фланец, охлаждение, прогрев и вспомогательный насос. Порядок 10⁻⁸ Па после прогрева указан для ICF с принудительным воздушным или водяным охлаждением и соответствующим двухступенчатым масляным форнасосом. Давление конкретной камеры зависит также от уплотнений, газовыделения и течей.

В каком положении устанавливают эти насосы?

Для перечисленных серий допускаются разные направления монтажа при соблюдении руководства и требований к креплению. Проверяют массу, нагрузки на фланец, разъёмы и водяные подключения. Размеры определяют по полному артикулу и чертежу.

Что отправить для подбора и замены?

Газы и расходы, рабочее давление, объём камеры, схему откачки, фланцы, форнасос, питание, охлаждение и интерфейс управления. При замене нужны шильдики насоса, кабелей и источника питания, а также доступные монтажные чертежи.

Подбор по технической задаче

Подобрать насос со встроенным управлением

Передайте параметры установки или данные действующего насоса. Согласуем модель, охлаждение, питание и интерфейсы. Цена и условия поставки определяются полной спецификацией комплекта.

Посмотреть контакты