Стандартные TMP
Для исследовательских и технологических вакуумных систем. Воздушное или водяное охлаждение, исполнения по газовой среде.
TMP-203, TMP-303, TMP-403, TMP-803, TMP-1003, TMP-3403.
Сравнить стандартные серии →Shimadzu · высоковакуумная откачка
Турбомолекулярные насосы Shimadzu
Насосы на магнитном подвесе для научных приборов, вакуумных камер и технологических процессов. Подбираем модель, форвакуумную ступень, охлаждение и управление под рабочие газы и режим Вашей установки.
Стандартные TMP, исполнения для больших газовых потоков и лёгких газов, насосы со встроенным контроллером. Для компактных систем — TMP-B300 с магнитной опорой и керамическим подшипником.
190–5300 л/спо N₂ для представленных магнитоподвесных моделей без защитной сетки
4 направленияподбор по газовой нагрузке, степени сжатия и компоновке
Насос + системасогласование форвакуума, контроллера, арматуры и измерений
Серии турбомолекулярных насосов Shimadzu
Начните с задачи: исследовательский вакуум, непрерывный поток технологического газа, подавление обратного переноса лёгких газов или компактная установка со встроенным управлением.
Большие потоки газа
Для процессов с непрерывной газовой нагрузкой. Важны отвод тепла, допустимый поток, продувка и продукты реакции.
TMP-1303, TMP-1503, TMP-2404, TMP-2804, TMP-3304, TMP-3804, TMP-4304, TMP-5305.
Модели для больших потоков →
Высокая степень сжатия
Для лёгких газов и задач с ограничениями по фону. Сравнивают скорость и степень сжатия именно по рабочему газу.
TMP-1103MP/MPC/LMP/LMPC, TMP-W2404LMC, TMP-H3153LMC.
Исполнения для лёгких газов →
Встроенный контроллер
Для компактной компоновки без отдельной стойки управления. TMP-V и TMP-B300 используют разные схемы опор.
TMP-V1704LM, TMP-V2304LM, TMP-V3304LM/LMC; отдельно — TMP-B300.
Модели со встроенным управлением →Замена действующего насоса. Передайте полное обозначение с суффиксами, фото шильдика, модель блока питания и схему подключения. Номер серии без исполнения не определяет совместимость контроллера, кабелей и фланцев.
Что даёт магнитный подвес
Ротор без контакта в рабочих опорах
Радиальные и осевые магнитные опоры удерживают вал во время работы. Посадочные подшипники предусмотрены для остановки и защитных режимов; их состояние учитывают при обслуживании.
Контроль состояния при откачке
Контроллер управляет разгоном и торможением, отслеживает режим и выводит предупреждения. Защиты и сигналы включают в логику установки вместе с измерением давления и охлаждением.
Разные решения для разных газов
Возможности по водороду, коррозионным средам и продуктам реакции зависят от модели. Покрытие ротора, продувка и температурное управление выбираются под состав и расход газа.
Ориентиры для сравнения моделей
Скорость ниже приведена по азоту без защитной сетки. Значения с сеткой указаны отдельно. Одинаковая скорость не означает одинаковую газовую нагрузку, степень сжатия или требования к форвакууму.
| Модель | N₂, л/с | Контроллер / опоры | Охлаждение | Входной фланец | Условия выбора |
|---|---|---|---|---|---|
| TMP-203LM | 190180 с сеткой | Выносной; магнитный подвес | Вода | VG100 / ICF152 / ISO100B / ISO100C | Воздушные M/MC и химические LMC — отдельные исполнения. |
| TMP-1003LM | 1080970 с сеткой | Выносной; магнитный подвес | Вода | VG200 / ICF253 / ISO200B | Предельное давление зависит от прогрева и уплотнения. |
| TMP-1103LMP | 1080 | Выносной; магнитный подвес | Вода | VG200 / ICF253 / ISO200B | Степень сжатия по H₂ — 10⁶. |
| TMP-B300 | 280260 с сеткой | Встроенный; магнитная + керамическая опора | Зависит от исполнения | VG100 / ICF152 / ISO100 | Компактная комбинированная схема; питание DC 24 В. |
| TMP-V1704LM | 14001300 с сеткой | Встроенный; магнитный подвес | Вода | VG200 / ISO200B | Для некоррозионных газов; LM не равно LMC. |
| TMP-V2304LM | 21001950 с сеткой | Встроенный; магнитный подвес | Вода | VG250 / ISO250B | Поток и форвакуум согласуют под режим. |
| TMP-V3304LM | 32002900 с сеткой | Встроенный; магнитный подвес | Вода | ISO320B / VG350 | Обозначение (0) относится к другому варианту входа. |
| TMP-5305LMC | 53004950 с сеткой | Выносной; магнитный подвес | Вода | VG400 / ISO400B | Монтаж только вертикальный; газ и поток по исполнению. |
На узком экране прокручивайте таблицу по горизонтали. Для предельного давления, потока и запуска используют паспорт выбранного исполнения, тип уплотнения и условия прогрева.
Фланец и сетка влияют на откачку. Например, у TMP-B300 скорость по N₂ составляет 280 л/с без сетки и 260 л/с с ней. Эффективная скорость у камеры дополнительно зависит от проходного сечения клапана и проводимости соединительного участка.
Охлаждение, газовая среда и монтаж
- M / MC
- В стандартных сериях — воздушное охлаждение. Для MC предусмотрено исполнение с коррозионно-стойким покрытием; допустимые газы и поток определяют по модели.
- LM / LMC
- Водяное охлаждение; LMC — специальное исполнение для соответствующей газовой среды. Параметры LM нельзя автоматически переносить на LMC.
- P
- Исполнение с повышенной степенью сжатия: например, TMP-1103LMP для задач с лёгкими газами.
- V / B
- TMP-V — магнитоподвесные модели со встроенным управлением. TMP-B300 использует комбинированные магнитные и керамические опоры.
Ориентация определяется моделью
Многие стандартные TMP и модели TMP-V допускают монтаж в любом направлении. Для TMP-5305 производитель указывает только вертикальное положение. Проверяют также крепление к камере, доступ к разъёмам и трассу охлаждающей воды.
Химическая стойкость — часть исполнения
Для CVD и травления нужны состав газа, расход, температура и возможные продукты реакции. Стандартные TMP-V1704LM, V2304LM и V3304LM не предназначены для коррозионных газов. Защитную продувку и нагрев согласуют по документации подходящей модификации.
Конструкция магнитоподвесного насоса
Лопатки ротора передают импульс молекулам газа, неподвижные ступени направляют поток к выпуску. Магнитные опоры и датчики положения обеспечивают управление валом.
Основные узлы на схеме
- Высокочастотный электродвигатель.
- Разъём питающего кабеля.
- Вал.
- Лопатки ротора.
- Лопатки статора.
- Распорные элементы.
- Радиальные магнитные подшипники.
- Осевые магнитные подшипники.
- Посадочные подшипники.
- Датчики положения.
- Входной фланец.
- Выходной фланец.
- Защитная сетка.
- Патрубок охлаждающей воды.
Форвакуумный насос отводит газ с выпуска ТМН. Его выбирают по потоку и допустимому рабочему давлению на выпуске, включая продувку и сопротивление форлинии.
Контроллеры и дистанционное управление
Блок управления связывает насос с автоматикой установки: запуск и останов, контроль оборотов, состояния и аварий. В моделях с выносным контроллером согласуют насос, блок питания и кабельный комплект; встроенное управление уменьшает число внешних соединений.
- RS-232C / RS-485: команды, мониторинг и чтение истории для совместимых контроллеров.
- До 32 насосов: мониторинг с одного компьютера по RS-485 при соответствующей конфигурации и программном обеспечении.
- Изменение частоты вращения: у поддерживаемых серий — от 25 до 100% номинальной; это не линейный диапазон регулирования скорости откачки для любого газа.
- Сеть и дискретные сигналы: протокол, разъёмы и доступные опции определяются конкретным контроллером.
Блоки питания стандартных TMP · Модели со встроенным управлением
Предельное давление и условия его достижения
Для TMP-1003LM производитель указывает давление порядка 10−9 Па после прогрева с металлическим уплотнением входного фланца. Для уплотнения O-ring указан порядок 10−7 Па. Результат всей установки зависит также от течей, газовыделения, материалов камеры и форвакуумной системы.
Применения насосов Shimadzu
Аналитические приборы
Масс-спектрометры и гелиевые течеискатели. Проверяют фоновое давление, лёгкие газы, компактность и режим запуска.
Микроскопия и анализ поверхности
Электронные микроскопы и установки исследования поверхности. Важны вибрации, чистота и расположение насоса относительно чувствительных узлов.
Научные вакуумные системы
Ускорители частиц, имитаторы космического пространства и исследовательские камеры. Учитывают объём, прогрев, состав остаточного газа и непрерывность работы.
Полупроводники и покрытия
Ионная имплантация, плазменное травление, PVD и CVD. Модель выбирают по составу среды, допустимому потоку, продувке и температурному режиму.
Комплектация насосной системы
В спецификации фиксируют полный состав и совместимость узлов. Выносной контроллер, встроенный блок и источник питания постоянного тока требуют разной схемы подключения.
Насос и соединения
- Точное обозначение модели и исполнения.
- Входной фланец ISO, CF или VG по модели.
- Фланец выпуска и соединение с форлинией.
- Уплотнения, защитная сетка и крепёж.
Питание и управление
- Совместимый контроллер либо встроенный блок.
- Кабели насоса, привода и питания по схеме модели.
- Необходимая длина кабелей и допустимая трасса.
- Интерфейсы, сигналы готовности и блокировки.
Рабочая инфраструктура
- Форвакуумный насос и линия выпуска.
- Вентилятор или контур охлаждающей воды.
- Продувка и температурное управление при необходимости.
- Документация, монтаж и пусконаладочные работы по проекту.
Питание согласуют по комплекту. Для TMP-B300 предусмотрено DC 24 В ±5%; для ряда контроллеров магнитоподвесных TMP — однофазная сеть AC 200–240 В, 50/60 Гц. Источник питания и допустимые отклонения выбирают по документации конкретной модели.
Спиральные форвакуумные насосы · Вакуумметры · Вакуумная арматура
Подбор, интеграция и обслуживание
Расчёт комплекта
Согласование насоса, форвакуума, измерений и арматуры по требуемому давлению, нагрузке и циклу работы.
Индивидуальные откачные постыПодключение к установке
Монтажная схема, охлаждение, электрические цепи и последовательность запуска. Состав работ определяется проектом.
Монтаж и пусконаладкаДействующая система
Диагностика, согласование замены, возможного ремонта и запасных частей по модели, комплекту и состоянию оборудования.
Сервисное сопровождениеСравнить направления турбомолекулярной откачки · Устройство и принцип работы ТМН
Вопросы при подборе Shimadzu
Все ли насосы Shimadzu работают на полном магнитном подвесе?
Нет. Стандартные магнитоподвесные TMP и TMP-V нужно отличать от TMP-B300, в котором магнитные опоры сочетаются с керамическим подшипником. При замене сравнивают конструкцию, контроллер и условия эксплуатации конкретных моделей.
Можно ли установить насос горизонтально?
У многих стандартных TMP и TMP-V допускается произвольная ориентация. Но для TMP-5305 разрешён только вертикальный монтаж. Решение принимают по руководству выбранного исполнения и монтажному чертежу камеры.
Какой форвакуумный насос нужен?
Он должен отводить газовую нагрузку и продувку при допустимом длительном давлении на выпуске ТМН. Сравнивают производительность в рабочей точке, проводимость форлинии и совместимость с газом. Подбор только по объёму камеры или номинальной скорости ТМН недостаточен.
Подойдёт ли исполнение LM для травления или CVD?
LM само по себе не подтверждает химическую стойкость. Для технологической среды проверяют точное исполнение, покрытия, продувку, температурный режим и допустимые продукты реакции. Стандартные TMP-V1704LM, V2304LM и V3304LM нельзя применять с коррозионными газами.
Гарантирует ли насос давление 10⁻⁹ Па в моей камере?
Паспортные показатели относятся к определённым условиям, включая прогрев и уплотнение. Давление системы зависит от газовыделения, течей, остаточного газа, проводимости и форвакуума. Для TMP-1003LM применение O-ring вместо металлического входного уплотнения меняет указанный производителем уровень предельного давления.
Можно ли оставить старый контроллер при замене?
Только после проверки совместимости насоса, версии блока питания, кабелей и интерфейсов. Одинаковый разъём не подтверждает совместимость. Для подбора замены нужны шильдики всех основных узлов и существующая схема подключения.
Что происходит при отключении питания?
У поддерживаемых магнитоподвесных серий регенерируемая при торможении энергия используется для поддержания магнитной левитации. Это не заменяет блокировок установки: порядок закрытия клапанов, напуска и остановки форвакуума задают по документации комплекта.
От чего зависят цена и состав поставки?
От модели и газового исполнения, фланца, контроллера, кабелей, охлаждения, продувки и требуемых работ. Для сопоставимого предложения укажите, нужен ли отдельный насос, замена действующего узла или полностью согласованная насосная система.
Подбор по технической задаче
Подобрать насос Shimadzu для Вашей системы
Передайте параметры процесса или данные действующего оборудования. Согласуем модель, совместимые узлы и состав поставки. Цена, сроки и гарантийные условия определяются выбранным комплектом и договором.
Какие данные подготовить
- Объём камеры и схему тракта.
- Рабочее и предельное давление.
- Газы, пары, примеси и расходы.
- Непрерывный или циклический режим.
- Фланцы и положение насоса.
- Охлаждение и питание.
- Форнасос и интерфейсы управления.
- При замене — шильдики насоса и контроллера.
Актуальные предложения и ключевые направления
