Инспекционные и исследовательские микроскопы
Микроскоп для инспекции пластин и крупных образцов
614×711×507 мм (MX63L)
≈44 кг (MX63L)
| Оптическая система | |
|---|---|
| Оптическая схема | Коррекция бесконечности UIS2 |
| Поле зрения окуляров | 22 мм (стандартное), 26.5 мм (сверхширокопольное) |
| Система освещения | |
| Источник отраженного света | Светодиод, галогенная лампа 100Вт, ртутная лампа 100Вт |
| Источник проходящего света | Галогенная лампа 12В/100Вт (опционально) |
| Регулировка интенсивности | Плавная электронная регулировка |
| Столик и позиционирование | |
| Максимальный размер образца | 300 мм |
| Перемещение столика | 158×158 мм;
210×210 мм; 356×305 мм |
| Точность позиционирования | Минимальная градуировка: 1 мкм |
| Максимальная нагрузка | 8 кг (MX63), 15 кг (MX63L) |
| Система фокусировки | |
| Ход фокусировки | 32 мм |
| Точность фокусировки | 100 мкм за один оборот, минимальная градуировка 1 мкм |
| Револьверная головка | |
| Количество объективов | 5- или 6-позиционные приводные головки |
| Типы головок | Для светлого поля, светлого/темного поля, с слотами для DIC |
| Электрические характеристики | |
| Питание | 100-120 В/220-240 В перем. тока, 50/60 Гц |
| Потребляемая мощность | 1.9/0.9 А (основная система) |
| Механические характеристики | |
| Вес системы | ≈35.6 кг (MX63);
≈44 кг (MX63L) |
| Габаритные размеры | 509×537×594 мм (MX63);
614×711×507 мм (MX63L) |
Промышленный микроскоп Olympus MX63 представляет собой высокотехнологичную систему для макро- и микроанализа крупногабаритных образцов, включая полупроводниковые пластины диаметром до 300 мм, панели плоских дисплеев и печатные платы. Модульная конструкция микроскопа обеспечивает адаптацию под различные технологические задачи, а эргономичный дизайн и интеллектуальное программное обеспечение делают процесс инспекции эффективным и воспроизводимым.
Ключевым преимуществом системы является технология MIX, позволяющая одновременно комбинировать несколько методов наблюдения. Сочетание светлого и темного поля, флуоресценции или поляризации выявляет дефекты, невидимые при стандартной микроскопии. Круговая светодиодная подсветка с функцией направленного темного поля минимизирует ореолы вокруг образца, обеспечивая точную передачу текстуры поверхности.
 |
 |
|
Флуоресценция
(Сам образец не виден)
|
Темное поле
(Остаточное вещество отображается нечетко)
|
MIX: Флуоресценция + темное поле
(Четко представлен образец ИС и остаточное вещество)
Система оснащена модулем автоматической сшивки изображений (MIA), создающим панорамные изображения без использования приводных столиков. Функция расширенного фокального изображения (EFI) объединяет серию снимков с разным фокусом в единое изображение с полной глубиной резкости, что незаменимо при анализе рельефных поверхностей. Технология высокого динамического диапазона (HDR) регулирует контрастность, сохраняя детализацию в светлых и темных участках.
Программное обеспечение OLYMPUS Stream обеспечивает полный контроль над процессами инспекции — от автоматической настройки параметров изображения до генерации отчетов. Микроскоп соответствует стандартам чистых помещений, включая нормы SEMI S2/S8, что исключает риск загрязнения образцов.
Эргономичная конструкция включает коаксиальные рукоятки управления, вынесенные элементы настройки диафрагмы и смены объективов, а также систему защиты от дыхания. Совместимость с устройством автоматической подачи пластин AL120 обеспечивает безопасную загрузку образцов без использования щипцов.
Оптические компоненты и методы контрастирования
Система поддерживает широкий спектр методов визуализации, включая DIC, поляризацию, флуоресценцию и ИК-наблюдение. Доступны специализированные объективы с увеличением от 1.25× до 100×, тубусы различных конфигураций и оптические фильтры для конкретных задач. Технология MIX позволяет одновременно комбинировать несколько методов наблюдения для выявления скрытых дефектов.
Системы освещения и визуализации
Конфигурация включает светодиодные, галогенные и ртутные источники освещения с электронной регулировкой интенсивности. Для документирования предлагаются цифровые камеры с различными размерами сенсоров и специализированное ПО OLYMPUS Stream, обеспечивающее автоматическое панорамирование, расширенный фокус и анализ изображений.
Столики и специализированные аксессуары
Доступны столики размером от 150×150 мм до 360×300 мм с грубой и точной регулировкой, включая моторизованные версии. Специализированные держатели поддерживают пластины диаметром до 300 мм, а система автоматической подачи AL120 обеспечивает безопасную работу с образцами в условиях чистых помещений.
В запросе укажите Инспекционный микроскоп МХ63. Укажите тип и размеры образца, методы контрастирования, необходимость моторизации и регистрации изображений.
