Инспекционный микроскоп Eclipse L300

Инспекционные микроскопы Nikon Eclipse L300N и L300ND представляют собой исследовательскую платформу для контроля качества интегральных схем, фотошаблонов и полупроводниковых подложек большого формата. Ключевое отличие серии L300 от модели L200 заключается в увеличенной площади предметного столика, что позволяет проводить инспекцию пластин диаметром до 300 мм без переустановки образца. Микроскоп оснащен оптической системой CFI60 LU / L, обеспечивающей высокую контрастность и разрешение изображения. Модель L300N поддерживает работу в отраженном свете, тогда как L300ND дополнена диаскопическим освещением для исследований на просвет. Специальное антистатическое покрытие корпуса минимизирует риск загрязнения образцов инородными частицами, что соответствует требованиям чистых производственных помещений.

Принцип работы

Инспекция проводится с использованием эпископического (отраженного) света для модели L300N или комбинации эпископического и диаскопического (проходящего) света для модели L300ND. Система поддерживает методы светлого и темного поля, поляризованного света и дифференциально-интерференционного контраста (DIC). Образец размещается на специализированном предметном столике с ходом по осям X-Y 354 × 302 мм, что обеспечивает полное покрытие рабочей области пластин диаметром до 300 мм и крупных фотошаблонов. Фокусировка осуществляется с шагом 1 мкм при общем ходе механизма 29 мм, позволяя точно исследовать рельефные структуры. Управление освещением, револьвером и диафрагмами вынесено на переднюю панель для эргономичной работы оператора без отрыва от наблюдения. Обработка изображений выполняется через цифровые камеры серии Digital Sight и ПО NIS-Elements.

Особенности и преимущества

• Работа с пластинами 300 мм: Увеличенный предметный столик с ходом 354 × 302 мм позволяет инспектировать пластины диаметром до 300 мм без ручного смещения образца.
• Оптическая система CFI60: Объективы серии CFI60 LU / L обеспечивают высокую разрешающую способность и яркость в режиме темного поля до 3 раз выше предыдущих поколений.
• Увеличенное рабочее расстояние: Конструкция оптики позволяет работать с большими рабочими расстояниями при сохранении высокого качества изображения.
• Эргономика управления: Все органы управления (столик, фокусировка, освещение) сгруппированы на передней панели для работы одной рукой.
• Антистатическая защита: Специальное покрытие корпуса предотвращает накопление статического заряда и притяжение пыли к образцу.
• Гибкость освещения: Поддержка галогенных ламп 100 Вт (150 Вт) и опциональная установка ксеноновой лампы 75 Вт для различных методов контраста.
• Моторизированный револьвер: 6-позиционная головка с центровкой объективов минимизирует смещение изображения при смене увеличения.
• Прецизионная фокусировка: Механизм фокусировки с шагом 1 мкм и регулировкой усилия обеспечивает точную работу с чувствительными образцами.
• Программная интеграция: Совместимость с ПО NIS-Elements для автоматических измерений, классификации дефектов и экспорта данных.

Примеры применения