Вакуумный криогенный насос
KDCP-8 предназначен для получения безмасляного высокого вакуума. При подборе учитывают состав откачиваемой среды, требуемую скорость откачки, газопоглощающую ёмкость, режим регенерации, присоединение и состав криогенной системы.
Насос применяют в системах, где требуется безмасляный высокий вакуум: установках напыления и испарения, электронно-лучевых системах, установках ионной имплантации, имитаторах космического пространства, ускорительной технике и другом исследовательском или технологическом оборудовании.
Состав поставки и длину соединительных линий необходимо подтвердить для конкретной конфигурации и числа одновременно работающих насосов.
Параметры приведены для модели KDCP-8. Перед включением в проект необходимо подтвердить режим работы, вакуумную камеру, фланцевое соединение и состав совместимого оборудования.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Скорость откачки H2 | 2300 л/с |
| Скорость откачки Ar | 1300 л/с |
| Скорость откачки H2O | 4000 л/с |
| Скорость откачки N2 | 1500 л/с |
| Предельное давление | 5 × 10−7 Па |
| Газопоглощающая ёмкость по Ar | 1200 станд. л |
| Газопоглощающая ёмкость по H2 | 12 станд. л |
| Максимальный расход Ar | 700 sccm |
| Время захолаживания | 60 мин |
| Время быстрой регенерации | 35 мин |
| Время полной регенерации | 100 мин |
| Параметр перехода (crossover) | 220 Па·л |
| Управление | Ручное управление или дистанционное управление по RS-232 |
| Присоединительный фланец | ISO / CF 200 |
| Межсервисный интервал | 15 000 ч |
Передайте параметры вакуумной камеры, состав рабочей среды, требуемое давление, режим регенерации и особенности подключения. Инженеры ГК «Криосистемы» проверят конфигурацию оборудования под вашу задачу.
